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真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。 立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。 卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好，苏州无油真空泵供应商。一般大、中型泵多采用此种结构。 泵的两个转子轴与水平面垂直安装，苏州无油真空泵供应商。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小，苏州无油真空泵供应商。但泵重心较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。真空泵运行必须安装电机保护开关。苏州无油真空泵供应商

真空泵使用方法和注意事项： 1.三相电机要注意电机旋转方向应与泵支架上的箭头方向一致。或在连接管道之前，先接线试车然后用手堵住进气口，看是否有吸力，若是有吸力，则接线正确，不然调换任意的两根接线即可以改变其转向（注：对三相电机确定转向时，必须在瞬间进行）； 2.检查所有阀门开关是否处于关闭状态，确认关闭后通电试车； 3.通电起动真空泵后，从真空泵较近的阀门开关开始，依次打开阀门开关； 4.真空泵的工作环境温度：-50C—400C范围内，相对湿度小于85%，进气口压力小于一个大气压力条件下工作。如果环境温度过低于真空泵则难以起动、过高会影响真空度；如果相对湿度较高，可以考虑在进入真空泵之前使用干燥过滤器，以防止大量的水分进入真空泵，从而造成影响真空度； 5.真空泵抽气口连续敞通大气运转，不得超过2分钟（油泵润滑除外）； 6.真空泵必须安装在通风并且使泵体保持一定的水平，确保真空泵运转平稳、振动小的位置； 7.在真空泵的排气咀上，较好用皮管接到室外，以免油蒸汽污染环境，同时也可降低。苏州无油真空泵供应商气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵。

真空泵的两个转子通过一对高精度齿轮执行相对同步的操作。驱动轴通过联轴器连接到电机。传动结构设计一种是电动机和齿轮放在转子的同一侧。当然，这种传输方式也有缺点：a.驱动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和组装难度，拆卸和调节齿轮不方便；b.整体结构不均匀，泵的重心偏向电机和变速箱一侧。 在日常使用中，我们可以定期通过油位视窗观察油位来确定是否需要加真空泵专门用油，通过观察油位视窗及油路循环管来确认真空泵油颜色及状态，如出现真空泵专门用油颜色较深或黏稠情况时需及时更换真空泵专门用油及滤芯，并清洁真空泵，进行真空泵保养。 单级旋片真空泵的常规保养维护主要对机械泵腔室、进气口以及机械泵油过滤器以及真空泵专门用油保养。 单级旋片真空泵的保养流程为：放油→过滤器拆卸→进气口清洁→机械泵腔室内清洁→油滤更换→真空泵专门用油更换。

真空泵按其结构特点分为如下形式： a旋片式真空泵：转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近，在转子槽内装有两个（或两个以上）旋片，当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触，此旋片随转子一起旋转，可将泵腔分成几个可变容积。 b.滑阀式真空泵：在偏心转子外部装有一个滑阀，转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动，滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动，而泵腔分成两个可变容积。 c.定片式真空泵：在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上下滑动将泵腔分成两个可变容积。 d.余摆线式真空泵：在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。 e.多室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个单独工作室的旋片真空泵。近年来， 伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头。

分子真空泵的应用情况： 分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。 由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。真空泵结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感。苏州无油真空泵供应商

要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。苏州无油真空泵供应商

随着真空技术对其在生产和科学研究领域中应用压力范围的要求越来越普遍，它们中的大多数必须由几个真空泵组成以形成一个系统以达到科学研究和生产过程的要求。常用的真空泵包括：干螺杆真空泵，水环泵，往复泵，滑阀泵，旋片泵，罗茨泵和扩散泵等。这些泵是真空泵技术在我国国民经济的泵类各行业中应用的主要力量。 真空泵体的结构分为：垂直结构和水平结构。垂直结构：进气口和排气口水平放置，因此易于安装和连接管道。但是，该泵的重心较高，在高速运转时稳定性较差，因此主要用于小型泵。水平结构：泵的进气口在顶部，排气口在底部。有时，为了方便真空系统管道的安装和连接，可以从水平方向连接排气口，即进气口和出气口的方向相互垂直。苏州无油真空泵供应商

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