如果您在半导体行业工作,通常会听到提到“ SEMI安全准则”作为行业的基本要求。
SEMI安全指南是由同名行业协会发布的:SEMI(半导体设备和材料**组织),这是微电子和纳米电子工业制造商的**网络。这些安全指南的制定旨在以合理的价格和稳定的供应来提高产品质量和可靠性。
有许多SEMI标准涵盖不同领域,例如:化学危害,设备跟踪,人机界面,传感器执行器网络;但在其中,SEMI S2是用于环境,健康和安全(EHS)的半导体制造设备中的标准。
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是否有描述CE符合性的SEMI CE标记标准?
SEMI标准不涵盖CE标记。CE标志是欧洲联盟指令规定的。
欧盟指令
1995年1月1日,一套欧盟指令生效,要求进入欧盟成员国的各种产品必须带有“ CE”标志。术语“欧盟”是指欧共体,欧共体或共同市场。向欧洲联盟的变更是《马斯特里赫特条约》的结果。
欧盟指令的目的是消除非关税贸易壁垒,并确保流经欧盟的产品符合一般安全和环境规范。欧盟指令设定了规范。成员国有执行指令的法律义务。
SEMI一直遵循影响SEMI成员和业务分支机构的欧洲指令。我们一直遵循的要求CE标志的主要欧洲指令是:
三个主要指令:
机械指令
电磁兼容指令
低压指令
S EMI S2和SEMI S2- 0 712a半导体制造设备的环境,健康和安全指南。该标准的先前版本包括SEMI S2-0200,SEMI S2-0302,SEMI S2-1102和SEMI S2-0303,SEMI S2-0703 SEMI S2-93,SEMI S2-93A。
设备类型;SEMI S2适用于所有类型的半导体制造设备。SEMI S2适用于离子植入机,光刻设备,湿式工作台。SEMI S2适用于蚀刻机,掩模对准器,CVD,锯,旋涂机和Fab中的任何其他设备。蚀刻机,植入机,清洁轨道,化学分配系统,散装气体分配,煤气柜,气源柜,计量系统,测试系统,CMP系统,炉,子系统,工业激光器
SEMI –半导体材料和设备**准则和标准
安全指引
SEMI S1-070a E设备安全标签安全指南
S EMI S2- 0 712a半导体制造设备的环境,健康和安全指南
SEMI 53-1211工艺液体加热系统安全准则
SEMI S4-0304分配柜中化学瓶分离的安全指南
SEMI S5-0310用于确定和识别气瓶阀限流装置的安全指南
SEMI S6-0707 E EHS半导体制造设备排气通风指南
SEMI S7-0310人员评估和公司评估安全指南
SEMI S8-0712半导体制造设备人体工程学安全指南
SEMI S10-0307 E 风险评估和风险评估流程安全指南
SEMI S12-0211制造设备消毒的环境,健康和安全指南
SEMI S13-0305环境,健康和安全指南,提供给设备用户以供半导体制造使用的文件
SEMI S14-0309半导体制造设备火灾风险评估和缓解的安全准则
SEMI S16-0307(重新批准0812)半导体制造设备设计指南,以减少使用寿命终止时对环境的影响
SEMI S17-0311无人运输工具(UTV)系统安全指南
SEMI S18-0312易燃硅化合物的环境,健康和安全指南
SEMI S19-0311半导体制造设备安装,维护和服务人员培训的安全指南
SEMI S21-1106 E(0612重新批准)工人保护安全指南
SEMI S22-0712半导体制造设备的电气设计安全准则
SEMI S23-0311半导体制造设备使用的能源,公用事业和材料节约指南
SEMI S24-0306(重新批准0811)多雇主工作区安全指南
SEMI S25-0706过氧化氢储存和处理系统安全准则
SEMI S26-0811 FPD制造系统的环境,健康和安全指南
SEMI S27-0310环境,安全和健康(ESH)评估报告内容的安全指南
SEMI S28-1011适用于半导体制造设备中的机器人和装载口的安全指南
SEMI S29-0712氟化温室气体(F-GHG)排放特征和减少指南
什么是SEMI?
半导体设备和材料**组织(SEMI)是一个**性行业协会,其成员来自半导体及相关行业的所有领域。SEMI**标准部内的环境健康与安全(EHS)会制定了行业标准和准则,这些准则和准则已被**公认,以确保水平的安全和质量。
SEMI标准已经由SEMI**标准计划及其行业成员开发,审查和较新,他们致力于降造成本,发展新兴产业并保证存在开放市场。SEMI S2是SEMI安全文件群的基础指南,它定义了半导体产品所需的安全要求。符合SEMI S2有助于提高产品的适销性和效率,并提高业务利润。此外,大多数半导体和平板制造和检查工具的购买者将需要符合SEMI S2要求
除了SEMI S2准则外,还有其他SEMI安全准则,例如用于火灾风险的SEMI S14,用于加热浴的SEMI S3和用于半导体人体工程学的SEMI S8,仅举几例。
在许多情况下,客户可能在合同上要求遵守SEMI S2准则。此外,一些地方当局还使用SEMI S2指南的某些部分,以确保设备符合电气和消防安全要求。
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