分子真空泵的应用情况: 分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。 由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长,杭州减压蒸馏真空泵哪家好。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,杭州减压蒸馏真空泵哪家好,杭州减压蒸馏真空泵哪家好,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。由于真空泵要求真空度很高,一般用石蜡基窄馏分润滑油。杭州减压蒸馏真空泵哪家好
直联旋片真空泵的应用情况: 随着真空技术在各个应用领域的不断扩大,直联旋片泵的需求量越来越大。由于这种泵数量很多,加工装配工作量很大,价格又很低,所以有的国外真空厂商在中国建立专业厂。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关,价格又远比国外的泵便宜,所以国产泵仍然有竞争优势,关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题,确保直联泵在高速、高温下性能稳定和运行可靠,同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。杭州减压蒸馏真空泵哪家好只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求,使用不同类型的真空泵。
真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。 立式结构的进、排气口水平设置,装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高,在高速运转时稳定性差,故这种型式多用于小泵。 卧式泵的进气口在上,排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便,可将排气口从水平方向接出,即进、排气方向是相互垂直的。此时,排气口可以从左或右两个方向开口,除接排气管道一端外,另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低,高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。 泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制,转子装配方便,泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不便,润滑机构也相对复杂。
低温泵是利用低温表面捕集气体的真空泵。按其真空度可以分为:粗真空、高真空、超高真空三大类。 真空泵的机械安装: 1.按电动机标牌规定连接电源,并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。 2.真空泵通电试运转时,须取下电机皮带,确认真空泵转向符合规定方向方可投入使用,以防真空泵反转喷油。(转向按防护罩指示方向) 3.对于有冷却水的真空泵,按规定接通冷却水。 4.如真空泵口安装电磁阀时,阀与真空泵应同时动作。 5.当真空泵排出气体影响工作环境时,可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。有时选用一种真空泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。
真空泵的分类: 气体传输泵: 气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出,借以达到抽气目的的真空泵,这种泵基本上有两种类型: 变容真空泵: 利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵,气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋片式两种: (1) 往复式真空泵:是利用泵腔内活塞做往复式运动,将气体吸入、压缩并排出。因此,又称为活塞式真空泵。 (2) 旋片式真空泵:是利用泵腔内活塞做旋转运动,将气体吸入、压缩并排出。 动量传输泵:这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。近年来, 伴随着我国经济持续高速发展,真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头。杭州减压蒸馏真空泵哪家好
气体捕集泵是真空泵的一种。杭州减压蒸馏真空泵哪家好
为达到较佳配置,选择真空系统时,真空泵选型应考虑下述各点: 1.当您选择油封泵时,您应该首先了解您的真空系统是否对油污染有要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、挡油阱、挡板等,也能达到清洁真空要求。 2.了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸汽,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。 3.当选择油封真空泵时,要考虑真空泵排出来的油蒸汽(油烟)对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,应该选无油真空泵,或者把油蒸汽排到室外。杭州减压蒸馏真空泵哪家好
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