河南洁净室检测机构- 武汉世纪久海公司

——空气过滤器检漏方法——

PAO/DOP过滤器检漏

气胶光度计测试法是早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计（Aerosol Photometer）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。DOP是一种油性化学物质，加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。

1 泄漏的定义是泄漏出上游浓度万分之一，洁净室检测机构，由于气胶光度计可以直接显示上下游微粒浓度的比值，因此扫描滤网非常方便。也正因其准确、**，美国食品与药品管制局（FDA）规定，在其管辖范围内（食品加工场所与制药场所），所有的滤网泄漏测试**使用DOP与气胶光度计。近年来由于人们怀疑DOP会导致，因此多改用PAO。PAO和DOP的特性类似，使用上无多大差异。

——如何对清洁车间进行洁净室检测——

在对净化车间进行洁净室检测时，尽管规定了空气的采样量，但在实际工作中介绍我们应在**小采样量前提条件下，根据已有的检测设备尽量采用大流量的尘埃粒子计数器。

1、 检测仪器的选用

尽管对净化车间内的洁净度的测量可以采用净化工程光散射粒子计数器、凝结粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜但目前用得的为光散射粒子计数器。由于此种粒子计数器在使用中可以对室内空气的含尘量进行自动、连续、及时地对应测量并且可以直接显示瞬时的含尘浓度也可以对不同粒径的含尘浓度进行测量使用简单、方便、及时、灵活。计数器大体上可分这两种类型一种是照射系统光轴与检测系统光轴交叉布置的侧向散射型;另一种是两光轴布置在同一直线上的前向散射型。

——高空气过滤器检漏检测方法——

气溶胶光度计测试法

气胶光度计测试法是早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计（ Aerosol Photometer ）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。 DOP 是一种油性化学物质，现改用PAO，加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来模拟无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。 微粒计数器测试法

半导体业方面，早期也是使用 DOP/PAO 与气胶光度计，但是随着制造精密度增加，油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用，因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒，在上游施放，然后用微粒计数器在下游扫描，寻找泄漏，基本概念*相同。经过科学家一步步研究结果，发现 PSL 因为微粒的粒径与浓度可以控制，因此是目前为使用的标准微粒。使用时只要把 PSL 溶液雾化，导入滤网上游即可

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