有几个单的行业特定准则,涉及半导体制造设备(SME)的环境,健康和安全(EHS)和SME的其他支持设备。SME应符合终用户要求的一些适用准则。SME还必须遵守使用地点适用的法规和规范。
上海沃证不仅按照SEMI S2指南进行EHS不合格验证,而且还以集成的安全设计为目标,以进行**产品合格性评估。
为了快速浏览,SEMI S2涵盖了半导体制造机器评估中的以下一些主题:
危险警示标签(与SEMI S1有关)
安全联锁系统
紧急关机
电气设计
*保护
工艺液体加热系统(与SEMI S3有关)
人机工程学和人为因素(与SEMI S8有关)
危险能量隔离
雷射
SEMI S2是针对制程设备供货商所规范的基本健康和安全要求安全标准,符合SEMI S2不仅符合了**相关规定,也是半导体产业的保险公司所要求的必要条件之一。SEMI S2认证涵盖半导体制造设备的环境、健康及安全条件,涉及电气、机械、*、化学、辐射、噪音和防震等各方面的安全领域。SEMI认证流程大体为递交技术资料和认证申请、确认标准及报价、准备资料,样品及测试费用、收到样品后准备测试计划、测试,如不通过则进行产品修改、、审核并出具。
安全验证测试:机器和设备安全设计的验证测试
1.电气安全验证测试–根据IEC,UL和SEMI S22标准对您的产品进行现场EMC测试。
2.空气中浓度测量/非易燃气体评估测试/气体测试–通过测量操作期间或设备单点故障时设备泄漏的化学的化学暴露量,进行化学暴露安全性的验证测试。
3.各种辐射安全验证测试–通过测量操作期间设备泄漏的电磁,UV,IR,激光和电离辐射**暴露量,进行物理暴露安全性验证测试。
4.符合SEMI F47的电压暂降抗扰度测试
SEMI –半导体材料和设备**准则和标准
安全指引
SEMI S1-070a E设备安全标签安全指南
S EMI S2- 0 712a半导体制造设备的环境,健康和安全指南
SEMI 53-1211工艺液体加热系统安全准则
SEMI S4-0304分配柜中化学瓶分离的安全指南
SEMI S5-0310用于确定和识别气瓶阀限流装置的安全指南
SEMI S6-0707 E EHS半导体制造设备排气通风指南
SEMI S7-0310人员评估和公司评估安全指南
SEMI S8-0712半导体制造设备人体工程学安全指南
SEMI S10-0307 E 风险评估和风险评估流程安全指南
SEMI S12-0211制造设备消毒的环境,健康和安全指南
SEMI S13-0305环境,健康和安全指南,提供给设备用户以供半导体制造使用的文件
SEMI S14-0309半导体制造设备火灾风险评估和缓解的安全准则
SEMI S16-0307(重新批准0812)半导体制造设备设计指南,以减少使用寿命终止时对环境的影响
SEMI S17-0311无人运输工具(UTV)系统安全指南
SEMI S18-0312易燃硅化合物的环境,健康和安全指南
SEMI S19-0311半导体制造设备安装,维护和服务人员培训的安全指南
SEMI S21-1106 E(0612重新批准)工人保护安全指南
SEMI S22-0712半导体制造设备的电气设计安全准则
SEMI S23-0311半导体制造设备使用的能源,公用事业和材料节约指南
SEMI S24-0306(重新批准0811)多雇主工作区安全指南
SEMI S25-0706过氧化氢储存和处理系统安全准则
SEMI S26-0811 FPD制造系统的环境,健康和安全指南
SEMI S27-0310环境,安全和健康(ESH)评估报告内容的安全指南
SEMI S28-1011适用于半导体制造设备中的机器人和装载口的安全指南
SEMI S29-0712氟化温室气体(F-GHG)排放特征和减少指南
上海沃证机电技术服务有限公司服务让我们成为您的合作伙伴,我们将持续为您提供SEMI认证技术支持。上海沃证机电技术服务有限公司一站式的技术咨询服务, 大程度为客户降低测试和认证的成本,全面提供以客户为导向的服务,与客户协商并确定良好技术方案是我们的服务宗旨, 确保客户在快的时间获取SEMI认证。
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