沃证(VIACERT)SEMI团队可以帮助企业地解决半导体设备的安全问题,助力半导体企业满足的SEMI评估要求并**SEMI认可报告,顺利打开半导体市场。
沃证十多年来一直为所有适用的SEMI认证指南提供全面的咨询,评估和测试服务。我们的在使用SEMI准则方面知识渊博,经验丰富,通常执行SEMI评估的时间**过10年。我们的评估方法旨在以合理的成本提供全面的S2评估,并且对机器开发和构造过程的影响小。我们的报告内容详尽,以清晰,简明的方式清楚地解释您的机器设计以及对SEMI指南的符合性。
是否有描述CE符合性的SEMI CE标记标准?
SEMI标准不涵盖CE标记。CE标志是欧洲联盟指令规定的。
欧盟指令
1995年1月1日,一套欧盟指令生效,要求进入欧盟成员国的各种产品必须带有“ CE”标志。术语“欧盟”是指欧共体,欧共体或共同市场。向欧洲联盟的变更是《马斯特里赫特条约》的结果。
欧盟指令的目的是消除非关税贸易壁垒,并确保流经欧盟的产品符合一般安全和环境规范。欧盟指令设定了规范。成员国有执行指令的法律义务。
SEMI一直遵循影响SEMI成员和业务分支机构的欧洲指令。我们一直遵循的要求CE标志的主要欧洲指令是:
三个主要指令:
机械指令
电磁兼容指令
低压指令
SEMI –半导体材料和设备**准则和标准
安全指引
SEMI S1-070a E设备安全标签安全指南
S EMI S2- 0 712a半导体制造设备的环境,健康和安全指南
SEMI 53-1211工艺液体加热系统安全准则
SEMI S4-0304分配柜中化学瓶分离的安全指南
SEMI S5-0310用于确定和识别气瓶阀限流装置的安全指南
SEMI S6-0707 E EHS半导体制造设备排气通风指南
SEMI S7-0310人员评估和公司评估安全指南
SEMI S8-0712半导体制造设备人体工程学安全指南
SEMI S10-0307 E 风险评估和风险评估流程安全指南
SEMI S12-0211制造设备消毒的环境,健康和安全指南
SEMI S13-0305环境,健康和安全指南,提供给设备用户以供半导体制造使用的文件
SEMI S14-0309半导体制造设备火灾风险评估和缓解的安全准则
SEMI S16-0307(重新批准0812)半导体制造设备设计指南,以减少使用寿命终止时对环境的影响
SEMI S17-0311无人运输工具(UTV)系统安全指南
SEMI S18-0312易燃硅化合物的环境,健康和安全指南
SEMI S19-0311半导体制造设备安装,维护和服务人员培训的安全指南
SEMI S21-1106 E(0612重新批准)工人保护安全指南
SEMI S22-0712半导体制造设备的电气设计安全准则
SEMI S23-0311半导体制造设备使用的能源,公用事业和材料节约指南
SEMI S24-0306(重新批准0811)多雇主工作区安全指南
SEMI S25-0706过氧化氢储存和处理系统安全准则
SEMI S26-0811 FPD制造系统的环境,健康和安全指南
SEMI S27-0310环境,安全和健康(ESH)评估报告内容的安全指南
SEMI S28-1011适用于半导体制造设备中的机器人和装载口的安全指南
SEMI S29-0712氟化温室气体(F-GHG)排放特征和减少指南
SEMI是否有无尘室标准?
除了SEMI F21-清洁环境中空气中分子污染物水平的分类外,SEMI没有洁净室的任何规范。
SEMI标准中引用的两个常见的无尘室规范是:
ISO 14644-洁净室和相关的受控环境*1部分:空气清洁度分类
联邦标准209E-洁净室和工作站的要求,受控环境
某些标准中仍然引用了联邦标准209E-洁净室和工作站的要求,受控环境。但是,请注意,美国总务管理局(US General Services Administration)于2001年11月发布了该文档的取消通知。该通知中包含ISO 14644*1部分(空气清洁度分类)和*2部分(测试和监视规范,以其持续符合)。尤其提到了ISO 14644-1)作为FED-STD-209E的替代。
为了快速浏览,SEMI S2涵盖了半导体制造机器评估中的以下一些主题:
危险警示标签(与SEMI S1有关)
安全联锁系统
紧急关机
电气设计
*保护
工艺液体加热系统(与SEMI S3有关)
人机工程学和人为因素(与SEMI S8有关)
危险能量隔离
雷射
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