分辨率:金相显微镜因为光的干涉与衍射作用,分辨率只能局限于0.2-0.5um之间。扫描电镜因为采用电子束作为光源,其分辨率可达到1-3nm之间,因此金相显微镜的组织观察属于微米级分析,扫描电镜的组织观测属于纳米级分析。景深:一般金相显微镜的景深在2-3um之间,因此对样品的表面光滑程度具有极高的要求,所以制样过程相对比较复杂。扫描电镜的景深则可高达几个。
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由于其尺寸较小,台式扫描电镜(SEM)更加便携,可任意放置在实验室中;与传统的落地式扫描电镜相比,台式扫描电镜(SEM)不需要过多的设置时间和维护;台式扫描电镜(SEM)更快,与传统的落地式扫描电镜相比,它将加载时间缩短;因此,台式扫描电镜(SEM)是一种更实惠,更小型,更便捷的扫描电镜,并且,研究人员可以自己操作,更易于管理,这对于操作员来说可以节省大量时间。
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