正压氦质谱检漏设备生产厂家-华诚浩达真空设备公司

检漏的重要性

氦质谱检漏仪是一种精度很高的不停机查漏仪器，具有灵敏度高、抗干扰、不污染环境(以前的卤素检漏污染环境)、不危及安全生产(以前的烛光法不适用于氢冷发电机)等优点。泄漏和密封相对应，很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等)，需要在真空条件下工作，正压氦质谱检漏设备生产厂家，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等)，要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

氦质谱检漏仪特点

1，正压氦质谱检漏设备生产厂家，气路设计，提高了对氦的抽速，正压氦质谱检漏设备生产厂家，缩短了清氦本底时间，有效防止氦污染。2，检漏口配备：定制精密过滤装置，可有效避免杂物颗粒或铜粉进入仪器内部。3，多模式功能输入、输出，轻松连接各种自动化设备。4，机械与电路有效分开，避免了温度、电磁场等彼此干扰，氦质谱检漏设备生产厂家，使检漏仪运行更加稳定、可靠。5，可检漏率低，灵敏度高，检测量程达到11级。

氦质谱检漏仪的结构

氦质谱检漏仪的电气部分。氦质谱检漏仪除了主机供电部件和主机控制部件外，还有几组主要电路：

1、离子源电源。为离子源提供加速、聚集、拒斥电压。

2、发射电流稳定电路。稳定和调节发射电流。

3、离子流放大器和单响报警器。将离子流进行放大并将输出信号送入输出仪表或显示器和音响报警器。

4、真空测量电路。一般用热偶计测量低真空，用冷阴极磁控放电真空计测量高真空。

5、灯丝保护电路。当质谱室正常工作压力被破坏后，立即切断灯丝供电回路，以保护灯丝。

6、其他电路。不同型号的氦质谱检漏仪所具有的功能不尽相同，所以电路也有不少差别，这在各自的说明书中都有说明。

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