为了确保整个行业以及**范围内的安全标准,半导体设备行业制定了SEMI S2 / S8指南。它们涵盖了广泛的安全和健康规定,例如法规要求,电气和化学危害,紧急停机和排气规范。上海沃证是的SEMI认证技术服务机构,提供一站式SEMI认证服务,欢迎咨询。
SEMI –半导体材料和设备**准则和标准
安全指引
SEMI S1-070a E设备安全标签安全指南
S EMI S2- 0 712a半导体制造设备的环境,健康和安全指南
SEMI 53-1211工艺液体加热系统安全准则
SEMI S4-0304分配柜中化学瓶分离的安全指南
SEMI S5-0310用于确定和识别气瓶阀限流装置的安全指南
SEMI S6-0707 E EHS半导体制造设备排气通风指南
SEMI S7-0310人员评估和公司评估安全指南
SEMI S8-0712半导体制造设备人体工程学安全指南
SEMI S10-0307 E 风险评估和风险评估流程安全指南
SEMI S12-0211制造设备消毒的环境,健康和安全指南
SEMI S13-0305环境,健康和安全指南,提供给设备用户以供半导体制造使用的文件
SEMI S14-0309半导体制造设备火灾风险评估和缓解的安全准则
SEMI S16-0307(重新批准0812)半导体制造设备设计指南,以减少使用寿命终止时对环境的影响
SEMI S17-0311无人运输工具(UTV)系统安全指南
SEMI S18-0312易燃硅化合物的环境,健康和安全指南
SEMI S19-0311半导体制造设备安装,维护和服务人员培训的安全指南
SEMI S21-1106 E(0612重新批准)工人保护安全指南
SEMI S22-0712半导体制造设备的电气设计安全准则
SEMI S23-0311半导体制造设备使用的能源,公用事业和材料节约指南
SEMI S24-0306(重新批准0811)多雇主工作区安全指南
SEMI S25-0706过氧化氢储存和处理系统安全准则
SEMI S26-0811 FPD制造系统的环境,健康和安全指南
SEMI S27-0310环境,安全和健康(ESH)评估报告内容的安全指南
SEMI S28-1011适用于半导体制造设备中的机器人和装载口的安全指南
SEMI S29-0712氟化温室气体(F-GHG)排放特征和减少指南
有条形码的SEMI标准吗?
以下SEMI标准与条形码有关:
SEMI G71-包装材料中间容器的条形码标记规范
本规范描述了用于半导体包装的中间材料容器上印刷的机器可读标签的通用格式,内容,大小和位置。该规范提供了从现有的可追溯性和标记程序到未来所设想的全面统一系统的平稳过渡。
SEMI G83-产品包装的条形码标记规范
该规范描述了添加条形码所需的区域,条形码规范以及用于半导体包装的直接和间接材料产品包装(单位包装)的代码符号格式。以下是本规范的目标:使用计算机进行质量控制;防止人为错误造成的错误;生产现场的物料控制。以下不是本规范的目标:采购控制。
其他相关标准:
SEMI M12-晶片正面的连续字母数字标记 规范SEMI M13-硅晶片的字母数字标记规范 SEMI T8-带有二维矩阵符号的玻璃平板显示基板 的标记规范SEMI T9-标记规范二维数据矩阵符号 SEMI T11的金属引线框架条的制作-硬质表面掩模版基板的标记规范
SEMI是否有无尘室标准?
除了SEMI F21-清洁环境中空气中分子污染物水平的分类外,SEMI没有洁净室的任何规范。
SEMI标准中引用的两个常见的无尘室规范是:
ISO 14644-洁净室和相关的受控环境*1部分:空气清洁度分类
联邦标准209E-洁净室和工作站的要求,受控环境
某些标准中仍然引用了联邦标准209E-洁净室和工作站的要求,受控环境。但是,请注意,美国总务管理局(US General Services Administration)于2001年11月发布了该文档的取消通知。该通知中包含ISO 14644*1部分(空气清洁度分类)和*2部分(测试和监视规范,以其持续符合)。尤其提到了ISO 14644-1)作为FED-STD-209E的替代。
是否有描述CE符合性的SEMI CE标记标准?
SEMI标准不涵盖CE标记。CE标志是欧洲联盟指令规定的。
欧盟指令
1995年1月1日,一套欧盟指令生效,要求进入欧盟成员国的各种产品必须带有“ CE”标志。术语“欧盟”是指欧共体,欧共体或共同市场。向欧洲联盟的变更是《马斯特里赫特条约》的结果。
欧盟指令的目的是消除非关税贸易壁垒,并确保流经欧盟的产品符合一般安全和环境规范。欧盟指令设定了规范。成员国有执行指令的法律义务。
SEMI一直遵循影响SEMI成员和业务分支机构的欧洲指令。我们一直遵循的要求CE标志的主要欧洲指令是:
三个主要指令:
机械指令
电磁兼容指令
低压指令
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