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薄膜均匀性概念 1.厚度上的均匀性，也可以理解为粗糙度，在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位，约为100A)，真空镀膜的均匀性已经相当好，可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，也就是说对于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何障碍。 但是如果是指原子层尺度上的均匀度，也就是说要实现10A甚至1A的表面平整，具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。 2.化学组分上的均匀性: 就是说在薄膜中，化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性，SiTiO3薄膜，如果镀膜过程不科学，那么实际表面的组分并不是SiTiO3，无锡磁控镀膜机报价，无锡磁控镀膜机报价，无锡磁控镀膜机报价，而可能是其他的比例，镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也是真空镀膜的技术含量所在。 具体因素也在下面给出。 3.格有序度的均匀性: 这决定了薄膜是单晶，多晶，非晶，是真空镀膜技术中的热点问题， 主要分类有两个大种类: 蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜，具体则包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，溶胶凝胶法等等。溅射产额随入射离子能量变化的简单示意图，简称溅射曲线。无锡磁控镀膜机报价

高真空离子镀是常见的塑胶产品电镀技术中的目前市场新兴兴起的一种技术。高真空离子镀，又称高真空镀膜加工。如今高真空电镀的做法现在是一种相来说比较盛行的一种做法，做出来的商品金属质感强，表面亮度高.而相对别的的镀膜法来说，成本较低，对环境的污染小，可选择原料种类多，这也是近年来一些电镀加工厂比较推崇的镀膜电镀技术。 高真空离子镀适用范围比较广，如ABS料、ABS+PC料、PC料的商品。传统水电镀技术流程杂乱、环境污染大、设备成本高、对作业人员身体伤害大，电镀出来产品外观损坏大，产品稳定性差。而高真空离子镀它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体（称基板、基片或基体）上凝固并沉积的方法，也就是我们俗称的真空镀膜。徐州磁控镀膜机厂家哪家好真空蒸发镀膜机设备运行过程中，从膜材表面蒸发的粒子在空间沿直线运动，直到与其他粒子碰撞为止。

真空镀膜机电真空器件的常用检漏方法 根据电真空器件的结构特点及测量精度要求，常用的有两种检漏方法，即氦罩法和喷吹法(这两种检漏方法详细介绍可见：氦罩法和喷吹法的氦质谱检漏仪检漏常见方法)。检漏时，先用氦罩法进行总漏率的测定，当总漏率超出允许值后再用喷吹法进行漏孔的准确定位。 1、氦罩法测总漏率 氦罩法是被检件与检漏仪连接抽真空达到检漏状态后，用一个充满氦气的检验罩，把被检件整体或局部的外表面包围起来，如图4所示。检验罩充氦时先将罩内空气排出再充氦，以保证罩内氦浓度尽可能接近，被检件上任何地方有泄露，检漏仪都会有漏率值变化，显示出漏率值。氦罩时间也要持续3~5倍检漏仪响应时间。ASM192T2氦质谱检漏仪反应时间小于0.5s，因此氦罩时间30s即可。氦罩法可快捷地测定被检件总漏率，不会漏掉任何一处漏点，但不能确定漏孔位置。 2、喷吹法确定漏孔位置 喷吹法是将被检件与仪器的真空系统相连，对被检件抽真空后用喷枪向可疑漏孔处吹喷氦气。当有漏孔存在时，氦气就通过漏孔进入质谱仪被检测出，喷吹法弥补了氦罩法不能定位的缺陷。

伴随碰撞频次的增多，电子能量会逐渐变弱，电子也慢慢远离靶面。低能电子会沿着磁力线来回振荡，直至电子能量快耗尽的时候，受电场影响而终会沉积于基材上。因为该电子的能量较弱，所以传给基材的能量较低，基材的温升作用不大。位于磁极轴线处的电场跟磁场相互间平行，第二类电子将直接飞向基片。但是，在磁控溅射镀膜设备中，磁极轴线处离子电流密度低，所以对于第二类包括电子数据很少，让基片温升效果较差。磁控溅射镀膜设备的基本原理是通过磁场使电子运动的方向改变，通过对电子的运动路径的延长及区域范围束缚，来增加电子的电离概率，更好地使电子的能量利用更有效，这便是磁控溅射技术的“高速”和“低温”的特性机理。设备始于1974年时J. 产品的研发成果，当时磁控溅射镀膜设备一经研发，其相较于别的镀膜工艺显得优越性较为突出，设备适用范围极广，可在任何基材上镀上任何物料的膜层。磁控溅射镀膜在相互垂直的磁场和电场的双重作用下，沉积速度快，膜层致密且与基片附着性好。

间冷式的适合于气密性较差的靶材, 功率要小一些。靶内磁体目前更多采用的是钕铁硼永磁体, 只要保证磁场的均匀, 再在工作气体的布气装置上采用合理的方式, 在整个靶面的区域内, 实践证明均能获得均匀的溅射刻蚀。这是膜层横向均匀性的重要保证。考虑到靶的两端所产生的边缘效应, 为使基片的两端也获得与中间部分相同的膜厚, 靶的两端要伸出基片边缘足够的长度。高真空的背景是溅射沉积的必要条件, 所以溅射室对称设置有高真空机组。目前采用的大多是扩散泵机组。进口设备中, 配置涡轮分子泵的, 但维修麻烦, 更换轴承需由厂家进行；配置扩散泵的还加有液氮冷阱, 这样有更好的挡油效果, 但维持费用高。这种泵用于进片室可以免油蒸汽对基片的污染, 并可防止活性气体周期性的混入镀膜室内。磁控溅射工艺可利用阳极导走放电时产生的电子，而不必借助基材支架接地来完成。徐州磁控镀膜机厂家哪家好

PVD镀膜已经成为五金行业表面处理的发展方向。无锡磁控镀膜机报价

磁控溅射镀膜要点： 影响磁控溅射镀膜结果的因素 1、溅射功率的影响,在基体和涂层材料确定的情况下,工艺参数的选择对于涂层生长速率和涂层质量都有很大的影响.其中溅射功率的设定对这两方面都有极大的影响. 2、气压的影响,磁控溅射是在低气压下进行高速溅射,为此需要提高气体的离化率,使气体形成等离子体.在保证溅射功率固定的情况下,分析气压对于磁控溅射的影响. 磁控溅射镀膜的产品优点 1、几乎所有材料都可以通过磁控溅射沉积,而不论其熔化温度如何;2、可以根据基材和涂层的要求缩放光源并将其放置在腔室中的任何位置;3、可以沉积合金和化合物的薄膜,同时保持与原始材料相似的组成。无锡磁控镀膜机报价

无锡光润真空科技有限公司(简称“光润真空”)是从事研发、设计、销售、制造、服务真空镀膜设备于一体的综合性科技公司。

　　光润真空技术团队具有20多年从事真空技术应用设备研制、工艺开发的深厚资历，在与国际国内外一等研发机构合作的基础上，公司开发的硬质镀膜设备、卷绕镀膜设备以及光学镀膜设备等在国内处于水平。公司产品覆盖蒸发镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、多弧离子真空镀膜设备、DLC和硬质膜层设备等。相关产品在国内有很强的市场影响力，也出口巴基斯坦、越南、印度、印尼、韩国、泰国、法国、土耳其、巴西等地。

　　光润真空建立有镀膜膜层研究实验室，具有各种类型装饰膜层以及功能性膜层应用领域的研发能力。研究实验室拥有膜层应用领域实验设备及各种技术性能参数检测设备，是国内为数不多的能包工艺的真空镀膜制造生产公司。

　　光润真空拥有完善的生产制造体系，在完成产品设计后，从零件的生产制造到全套设备的总装、调试，产品生产的每一个环节均受到公司质量管理系统的监控，从而保证了产品的整体高质量。

　　公司坚持“表面处理整体解决供应商”的经营战略，推行“诚信、创新、环保”的经