洁净厂房内部的洁净操作空间,因受区域划分、房间组合、管道敷设以及构造装修等各方面的具体条件限制,往往难于直接利用厂房的外壳作为洁净室的大部分围护结构,绝大多数还要附加顶棚、隔断以及靠近厂房外墙设置某些附加构造层,来作为洁净宰的围护结构。所以洁净厂房的装配化实际上包含两部分各自立的内容,一是厂房外壳和主体结构的装配化,二是厂房内部洁净室围护结构的装配化。厂房内部洁净室围护结构的装配化是充分利用洁净厂房外壳和主体结构作为洁净室围护结构的支承物,把洁净室围护结构—顶棚、隔墙、门窗等配件和构造纳入整个洁净厂房的内装修而实现装配化。
在装配化的洁净室中一般采用金属壁板(彩钢夹芯板或简称彩钢板)组装墙板、顶棚。对墙板的要求是:洁净室内墙面应光滑,能以清洗剂清洁;墙板接缝气密性能好;墙体结构应具有良好的隔热、隔声性能;用于微电子行业的墙板要求具有防静电措施;用于制药行业的墙板具有防止微生物孳生、繁殖的功能;墙体结构应便于安装和拆除;墙体结构应具有一定的灵活性,并能适应不同表面材料、门窗构造的需要。对顶棚的要求是:顶棚结构应能适应各种空气洁净度洁净室的需要,适应安装各种类型的空气过滤器或过滤机组;顶棚接缝应气密性能好;能适应安装过滤器、灯具、电气布线等需要;便于安装、拆除;微电子行业用顶棚应考虑隔振的要求等。
洁净室(区)的内表面应平整光滑、无裂缝、接口严密、无颗粒物脱落,并能耐受消毒,墙壁与地面交界宜成弧形或采取其他措施,以减少灰尘积聚和便于清洁。洁净室的构造处理和材料选择应按不同的洁净度等级、结构形式和室内建筑设计的要求进行; 除一般的要满足保温隔热、隔音防振等的要求外,重要的关键是要保证其气密性和建筑材料表面不发尘、不滞留微粒、不积尘的要求;要注意装修及人体产生的静电效应,所有的构造设计要力求简洁,尽量减少凹凸和不必要的装饰,表面要具有光滑、不产尘、不聚尘和易清扫的特点。
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气体管道是直径较小的压力金属管,一般不设坡度,通常可以同水系统的压力管道共用支架,但是须与电气线路有一定的隔离;在洁净厂房内,由于环境的净化要求,即便使用高纯气瓶,也不允许直接放在洁净室内生产设备近处,而应设置集中供气气源室以减少搬运以及对洁净室的污染和减少污染,从厂房内的气体室或气体纯化站送出的气体系统的干管,进入所需房间顶棚以上空间或者经过竖井进入所在多层厂房各层洁净室顶棚以上的空间进行布线,再分支向下送到用气点或者用气点附近的过滤装置。
动力配电箱是将来自低压配电室的电源分配送给车间内各项用电设备的枢纽,虽然箱体不大,但设备较重,往往落地放置,可以根据用电设备的位置把配电箱布置在负荷中心,使线路尽量短直,减少线材与电耗,水平布设的电缆采用电缆桥架敷设,这些桥架可以沿墙固定、可以悬吊,也可以自带小柱。车间照明电源用导线,从厂房的低压配电室引出后先送至照明箱,这一段干线的材料与敷设基本同动力布线,从照明配电箱引出的支线再去连通开关及灯具;照明配电箱由于灯具的所在位置而往往设在顶棚以上的技术夹层或技术夹道内,箱体的尺寸不大,通常挂墙固定,设在顶棚以上夹层容易接近负荷中心,水平布线简短,利于隐蔽。
电力、自控、照明等布线可以在顶棚以上统一安排,为了避免干扰,当电线无屏蔽时,弱电布线须与强电隔开一定距离;在水平布线中,一般敷设在其他管道特别是水管的上方较为安全,防止水管漏水造成漏电;无论蒸气管道与电气线路的相对位置关系如何,都要求蒸气管道有良好的保温和防漏措施,以免造成电线温升影响其载流量;在水平管线的综合布置中,虽然理论上宜将电气部分敷设在上部位,但往往因风管断面较大,为了便利导线的维修只得敷设在风管的下方。
位于车间上下夹层内的水平管线,都要转向为竖向管线才能送至送回风口或使用点。这些竖向管线中,部分电气线路可以敷设在套管中暗埋的墙体内,其余的气体管、水管、风管由于断面太大或安全方面的因素以及大部分管线出于适应工艺变动的灵活性要求等,都需要明敷在隐蔽在空间中。由于洁净室与各机房在位置上的组合不同,街景社区生产特点和工艺设备位置也各不一样,因而竖向管线的隐蔽方式虽然总的来说都是以垂直构件分隔构成的技术夹道或竖井,仅技术夹道来说,在具体工程中都会出现多种多样的建筑方案。
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洁净室内生产设备和产品生产过程的产尘量主要取决于产品生产过程的特点、选用的设备状况及其采取的技术措施、选用的原料辅料、工艺介质的纯度及其输送系统等;近年来由于采取了各种技术措施,降低了这类产尘量,如采用封闭隔断及局部排风措施等,使产尘区域相对于周围空间又一定的负压,防止粉尘扩散开来,以至危害其他工序的洁净度;采取排风罩等措施将工艺产尘排走,尽可能减少扩散到生产车间的粉尘量;车间机械设备的轴承、齿轮、传动皮带等运动部件在工作过程中,由于润滑油升温炭化及机械磨损等原因而散发到空气中的尘埃,越来越引起某些高洁净度工艺的关注;在集成电路生产中,随着集成度的提高,要求生产环境控制0.1μm尘粒达到1级或较严的洁净度,为了减少洁净室建造费用并可靠地达到别要求,目前许多大规模集成电路工厂采用微环境技术和生产工艺自动化技术,采用机械手、机器人,从而减少了室内人员等因素,使室内产尘总量下降。但一般洁净在通常情况下,室内主要的污染源仍然是人。
为保证产品生产环境或其他用途的洁净室所要求的空气洁净度,要采取多种综合技术措施才能达到要求。这些综合技术措施包括:应采用产生污染物少的生产工艺及设备,或采取必要的隔离和负压措施防止生产工艺产生的污染物质向周围扩散,采用产尘少、不易滋生微生物的室内装修材料及工器具;减少人员及物料带入室内的污染物质;维持生产环境相对于室外或空气洁净度等级要求低的邻室有一定的正压,防止室外防止室外或邻室的空气携带污染物质通过门窗或其他缝隙孔洞侵入;加强洁净室的管理,按规定进行清扫、灭菌等。
洁净室的空气净化处理就是根据房间不同的洁净度等级要求,采用不同方式送入经过处理的数量不等的清洁空气,同时排走相应数量的携带有在室内所产生的污染物质沾污的脏空气,靠这样的动态平衡,使室内环境维持在所需的空气洁净度等级。通常所指的空气污染物质主要有以下三类;悬浮在空气中的固态、液态粒子,包含附着在粒子上的分子污染物;霉菌、等悬浮在空气中的微生物;各种对人体或生产产品有害的气体。目前洁净室对送入空气的净化方法,重要和使用广泛的方式是空气过滤法,送入洁净室的清洁空气,主要是靠在送风系统的各部位设置不同性能的空气过滤器,用以除去空气中的悬浮粒子和微生物。
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对于洁净厂房来说,有空气洁净度要求的生产房间(区)往往仅为部分工序或者部分部件的生产区,即便是全部产品生产区要求具有不同等级的洁净室(区),但洁净厂房内还有生产用房、公用动力和净化空调机房等为一般环境,所以洁净厂房内部往往兼有洁净生产环境和一般生产环境;各类产品生产用洁净室要求的空气洁净度等级是决定洁净生产区平面布置的主要因素,在进行综合性厂房的平面布局时,一般应将洁净室(区)与一般生产环境的房间分区集中布置,以有利于、物流的安排和防止污染和交叉污染,也有利于净化空调系统及其管线的布置和减少建筑面积等。对兼有洁净生产和一般生产的综合性厂房,在考虑其平面布局和构造处理时,应合理组织、物流运输及消防疏散线路,避免一般生产对洁净生产区带来不利的影响。当*方面与洁净生产要求有冲突时,应采取措施,在保证消防安全的前提下,减少对洁净生产区的不利影响。
各类机房主要借管道线路同洁净生产区相联系,因此他们既能同所服务的洁净室组合建在一幢厂房内,也可单见识;组合建在一幢厂房内时,可以缩短管道长度,减少管道接头和相应的渗漏污染机会,降低能源消耗,并且节约用地,减少室外工程和外墙材料消耗,当机房位于洁净室的时,还可减少洁净室的外墙面积,减低洁净室维护结构的散热量。但在一些技术改造工程中为了利用原有房屋,或者受到条件限制,单建造净化空调机房,并同洁净厂房保持一定距离。此外,若工程对于防微振有要求时,也可将机房与厂房脱开布置。当净化空调机房位于洁净厂房内时,应根据各洁净室的空气洁净度等级、面积、生产工艺特点、防止污染或交叉污染的要求与运行时间、班次等因素,考虑系统的合理划分,确定相应的机房布局。
厂房面积较大或者洁净生产区过于分散,集中设置机房使机房布置困难,在经过技术经济比较落后,也可分设几处机房;在技术改造过程中,往往因原有房屋空间条件有限,需将净化空调设备分散设置在各洁净室附近,分散设置方式的风管短,布置灵活,较能适应和利用原有空间,但在实际应用时应充分考虑噪声与振动对产品生产可能带来的影响。在某些工程中,既使用集中式净化空调机房供大部分洁净生产区安装的净化空调装置,又对特定局部空间使用分散式的净化空调装置,满足生产工艺的需要,它有集中式与分散式的特点,较加经济灵活,适应产品生产的要求。
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