如果您在半导体行业工作,通常会听到提到“ SEMI安全准则”作为行业的基本要求。
SEMI安全指南是由同名行业协会发布的:SEMI(半导体设备和材料**组织),这是微电子和纳米电子工业制造商的**网络。这些安全指南的制定旨在以合理的价格和稳定的供应来提高产品质量和可靠性。
有许多SEMI标准涵盖不同领域,例如:化学危害,设备跟踪,人机界面,传感器执行器网络;但在其中,SEMI S2是用于环境,健康和安全(EHS)的半导体制造设备中的标准。
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SEMI是否有无尘室标准?
除了SEMI F21-清洁环境中空气中分子污染物水平的分类外,SEMI没有洁净室的任何规范。
SEMI标准中引用的两个常见的无尘室规范是:
ISO 14644-洁净室和相关的受控环境*1部分:空气清洁度分类
联邦标准209E-洁净室和工作站的要求,受控环境
某些标准中仍然引用了联邦标准209E-洁净室和工作站的要求,受控环境。但是,请注意,美国总务管理局(US General Services Administration)于2001年11月发布了该文档的取消通知。该通知中包含ISO 14644*1部分(空气清洁度分类)和*2部分(测试和监视规范,以其持续符合)。尤其提到了ISO 14644-1)作为FED-STD-209E的替代。
什么是SEMI?
半导体设备和材料**组织(SEMI)是一个**性行业协会,其成员来自半导体及相关行业的所有领域。SEMI**标准部内的环境健康与安全(EHS)会制定了行业标准和准则,这些准则和准则已被**公认,以确保水平的安全和质量。
SEMI标准已经由SEMI**标准计划及其行业成员开发,审查和较新,他们致力于降造成本,发展新兴产业并保证存在开放市场。SEMI S2是SEMI安全文件群的基础指南,它定义了半导体产品所需的安全要求。符合SEMI S2有助于提高产品的适销性和效率,并提高业务利润。此外,大多数半导体和平板制造和检查工具的购买者将需要符合SEMI S2要求
除了SEMI S2准则外,还有其他SEMI安全准则,例如用于火灾风险的SEMI S14,用于加热浴的SEMI S3和用于半导体人体工程学的SEMI S8,仅举几例。
在许多情况下,客户可能在合同上要求遵守SEMI S2准则。此外,一些地方当局还使用SEMI S2指南的某些部分,以确保设备符合电气和消防安全要求。
SEMI标准中有材料(M系列)、设备(F系列)、平板显示器(D系列)、跟踪性(T系列)等, 环境、 健康、 安全(EHS)由S系列规定。SEMI认证为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则。SEMI认证适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。
有条形码的SEMI标准吗?
以下SEMI标准与条形码有关:
SEMI G71-包装材料中间容器的条形码标记规范
本规范描述了用于半导体包装的中间材料容器上印刷的机器可读标签的通用格式,内容,大小和位置。该规范提供了从现有的可追溯性和标记程序到未来所设想的全面统一系统的平稳过渡。
SEMI G83-产品包装的条形码标记规范
该规范描述了添加条形码所需的区域,条形码规范以及用于半导体包装的直接和间接材料产品包装(单位包装)的代码符号格式。以下是本规范的目标:使用计算机进行质量控制;防止人为错误造成的错误;生产现场的物料控制。以下不是本规范的目标:采购控制。
其他相关标准:
SEMI M12-晶片正面的连续字母数字标记 规范SEMI M13-硅晶片的字母数字标记规范 SEMI T8-带有二维矩阵符号的玻璃平板显示基板 的标记规范SEMI T9-标记规范二维数据矩阵符号 SEMI T11的金属引线框架条的制作-硬质表面掩模版基板的标记规范
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