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氦质谱检漏仪的真空系统

氦质谱检漏仪的真空系统提供质谱室正常工作所需要的真空条件，不同型号的氦质谱检漏仪其真空系统有较大的差别。

1、检漏阀：接在质谱室和被检件之间的管道上。有些氦质谱检漏仪采用节流阀，控制流入质谱室的气体流量。

2、真空规：一般采用冷阴极磁控放电直空规(潘宁规，正压氦气质谱检漏仪价格，又称冷规)来测量质谱室中的压力。也有用电阻规或热偶规测量被检件的预抽压力和系统的前级压力的。

3、标准漏孔：一般氦质谱检漏仪内都附有标准漏孔(大多为薄膜渗氦型)，用它来校准氦质谱检漏仪的Z小可检漏率和对氦质谱检漏仪输出指示进行定标。

氦质谱检漏仪示踪气体选择

对示踪气体的要求：氦质谱检漏仪都用氦气(He)作为示踪气体，正压氦气质谱检漏仪公司，也有用氢气(H2)作为示踪气体的质谱检漏仪器。

氢和氦都是比较理想的示踪气体：空气中的含量少，质量轻，运动速度快，同等条件下，直线运动距离长。实际使用中，也相对比较容易获取，可以大量使用。但氢气在使用中有一定的安全问题，所以实际大部分检漏使用的是氦气。质谱检漏仪器示踪气体一般具有以下特点：

1、无害，不能对人体或环境造成伤害。

2、质量轻，惰性气体，能穿透微小细缝。

3、化学性质稳定，不会起化学反应。

4、Z好是只有在空气中含量尽可能少的气体，才能满足检漏灵敏度方面的要求。

氦质谱检漏仪的应用

（1）电子行业，正压氦气质谱检漏仪，微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、心脏起博器。

（2）真空行业，正压氦气质谱检漏仪品牌，仪器、仪表行业，管道、接头、阀门、波纹管、各种真空泵、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速暴光机、激光轴分离器、镀膜机、薄膜真空计。

（3）核工业，铀分离装置、存储装置、核发电装置。

（4）制冷行业，冰箱、空调、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、压缩机、低温储槽。

（5）不锈钢保温器皿，真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。

（6）核工业、航空工业、航天工业、船舶工业、军事电子六大类。

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