河南霖硕空气净化设备有限公司当您准备创建净化车间的生产工艺环境时,当您希望拥有节能、环保、性价比高的洁净车间工程时,只有、全面的系统解决方案和配套才会给您带来安全可靠的**。
集成电路无尘车间设计施工要求
集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型:循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用,对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
*二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求,但运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。
*三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都能很好地满足半导体制造的需求,因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为主要的净化设计方案。
FFU循环系统的特点是:整个洁净室由静压层、工艺层、工艺层和回风通道组成,由FFU提供循环空气的动力,将新风、循环风混合后通过**过滤器送入工艺层和工艺层,静压层相对于工艺层为负压。此外,还有生产区为集成电路制造厂务设备区域,包括电力供应、气体和化学品供应、**纯水供应等。
集成电路制造对无尘车间环境的控制有较为严格的要求。不同的工艺制程对洁净度的要求也各不相同,例如光刻要求在1级的微环境下,而化学机械研磨则只要求1000级的环境即可。
另外,集成电路制造洁净厂房对噪声、微振、照度等都有相关的规定和要求,尤其是振动的控制,在洁净室的建筑结构设计上就要有所要求。
好的洁净车间设计不仅能节省能源、降低运行成本、降低人力投入,而且可以给生产提供安全可靠的保证。在3种洁净系统中,FFU循环系统运行成本,洁净度安全性,因此集成电路洁净厂房多采用FFU循环系统。而洁净度要求越高,温湿度控制精度越高则洁净室投资和运行成本越高,因此在大环境洁净度或温湿度要求相对较低的情况下,将一些关键的工艺设备布置在较高洁净度或温湿度控制区域内是集成电路制造洁净厂房的设计趋势。
集成电路制造是高能耗的产业,而洁净空调系统的能耗则占其中的30%以上,因此节能安全的洁净室设计和各种热能回收设计将是未来的发展方向。
随着集成电路制造技术的不断升级,主流大厂已经进入了纳米时代,集成电路制造洁净厂房的设计建造和节能创新也需要不断提升,为制程产品生产提供**。
洁净车间如何有效防患微粒子污染?
净化车间内该如何防止微粒子污染呢?应遵守下列四项基本原则:
一、不携入
在洁净车间内不携入微粒子的方法有:
1)作业员进入洁净车间前,机台、零件携入前应进行清洁处理;
2)进入洁净车间者在较衣室要穿着不发尘、不产生静电的具导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。
3)通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后,才能进入洁净车间。
4)机器及材料带进洁净车间前,应尽可能在密封状态下带进洁净车间前室保养后用**纯水擦拭,经风淋室吹淋后才进入洁净车间。
5)洁净车间中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。
二、不制造
在控制污染源--人在净化车间内的微粒子发尘量的同时,也应控制*污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时,所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘,而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到小限度应采取以下对策:
1)减少接触剥离发尘的动作形态;
2)采用磨耗发尘小的材质;
3)采用发尘小的润滑油;
4)机台应用空压浮上的非接触化工作原理。
三、不储备
若能彻底实施“不携入”技术,洁净室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动,在广大的洁净车间内要有完全洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起,增加了重大微粒子污染的危险性。
在等级的洁净车间中从天花板到地面,完全除去微粒子的空气须在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流动。这是在约10秒内将室内空气和完全过滤空气完全交换所计算出来的数值。同时,空气的流向也必须要有的控制才行。特别要保证气流的流通路径畅通无阻,因为在流通路径中有障碍物的话,容易产生空气空气涡流而形成空气的滞留区域,使得附近已发生的微粒子无法快速排除而长时间漂流在洁净车间内,而一部分会附着在周边机器设备的表面而引起污染。
控制气流可防止微粒子累积,但对于带电表面的微粒累积就无法防止。
洁净车间内的浮游微粒子浓度,使用**的过滤器即可容易达到零水平,实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等,在制造品周边扬起了少许的微粒子,因而造成了元件清洁面的粒子污染。
四、排除/除去
在无法避免大量微粒子发生的机台中,为了不让洁净车间内产生微粒子,因此直接做对外排气的动作,即所谓的局部排气。针对排气的对策如下:由于导入同量的外气是必要的,但会伴随大量的能源消耗。所以无法说是理想的对策。因此尽可能地在压缩排气量的同时,不仅仅是向洁净室外排气,而应采用将除去粒子后的空气再回流到洁净车间内之对策。
GMP无尘车间洁净度不合格的原因及改造措施
我国行业的《生产质量管理规范》(GMP)自从1992年颁布以来,已经逐步为生产企业所认识,接受并实施。尤其是在2001年,国家监督管理局将制药企业完成GMP认证时间提前至2004年6月30,GMP对于企业是一项国家强制执行的政策,限期达不到要求的企业将停产。
GMP认证的**内容就是生产质量全面管理控制。其内容概括为软件管理和硬件设施两大部分。硬件设施中洁净厂房是资金投入的部分之一,洁净厂房建成后,能否达到设计目的,是否符合GMP的要求,终要通过检测来确认。在检测洁净厂房过程中,有部分洁净度检测不合格,有的是厂房局部,也有整个工程。如果检测不合格,虽然甲乙双方通过整改、调试、清沽等。终达到了要求,但往往浪费了大量的人力和物力,耽误了工期,延误了GMP认证的进程。有些原因和缺陷在检测前是完全可以避免的。我们在检测工作中发现,造成洁净度不合格的主要原因有:
1.工程设计不合理
这种现象比较少见,主要是在一些小型的净化级别要求不太高的洁净室建造上。现在净化的竞争比较激烈,一些施工单位为了得到工程,在投标中给出了较低的报价。在后期施工中,利用一些单位不太懂行的情况,偷工减料,使用功率较低的空调通风压缩机组,使送风功率与净化面积不匹配,导致洁净度不合格。还有另外一个原因,是使用单位在设计施工开始后,又增加了新的要求和净化面积,这也会使原先的设计不能达到要求。这种先天性的缺陷是难以改进的,要在工程设计阶段避免。笔者也发现个别施工单位在验收时,预先堵塞部分送风口,以图蒙混过关。
2.用低档产品替代产品
在洁净室过滤器的应用上,国家规定在洁净度10万级或**10万级以上的空气净化处理,应采用初效、中效、过滤器的过滤。而笔者在验证过程中,曾发现某大型净化工程在l万级的净化级别上采用亚空气过滤器代替空气过滤器,从而造成了洁净度不合格。终更换了过滤器才符合了GMP认证的要求。
洁净室
3.送风管或过滤器密封不好
这种现象是施工粗糙造成的,在验收时会表现出在同一系统中某个房间或局部不合格,改进的方法是,送风管采用漏光试验法检漏,过滤器用粒子计数器对过滤器的断面、封胶、安装框架进行扫描,找出泄露位置,精心密封。
4.回风管道或回风口设计、调试不好
在设计方面的原因,有时因空间所限未能采用“**送侧回”或者回风口数量不够,在设计方面的原因排除后,回风口的调试也是重要的工工环节。如果调试不好,回风口阻力过大,回风量小于送风量,也会造成洁净度不合格。另外在施工中,回风口离地面的高度对洁净度也有影响。
5.检测时净化空调系统自净时闻不够
国家标准规定,应在净化空调系统正常运行30min后开始测试工作。如果运行时间太短,也会造成洁净度不合格。这种情况下,适当延长空调净化系统运行时间日即可。
6.净化空调系统没有清扫干净
在施工过程中,整个净化空调系统,尤其是送、回风管道都不是一次完成,施工人员和工环境都会造成通风管道和过滤器的污染。如不清洁干净,将直接影响检测结果。改进措施是,边施工边清洁,面**段管道安装完成彻底清洁后,可用塑料薄膜密封,避免环境等造成的污染。
7.洁净厂房清涪不彻底
毋庸置疑,洁净厂房在检测前必须彻底全面清扫,才能进行检测。要求后的擦拭人员,身着洁净工作服进行清扫,以排除清扫人员人体造成的污染。清洗剂可以选用自来水、纯水、、中性洗涤剂等。有防静电要求的,后用沾有防静电液的抹布全面擦拭一遍。
影响洁净实验室改造项目的关键因素
成功的洁净实验室建设和改造具有一定的共性,包括选择适当的参与人。保持参与人员的连续性。具备一套清晰、详细而周全的流程,以及相关人员具有与该事务相关的广博知识,总结起来有以下四个关键因素。
一、实用的设计
1.的设计者
的设计者应该是在实验室的成功设计和建设方有丰富的经验和阅历的。这是成功设计的基础。一般设计师往往只具有普通办公建筑、民用建筑的设计知识和经验,很少涉足实验室领域;而了解实验室功能的通常是一些实验台、通风柜的设计者,而他们并不了解建筑设计的知识,因此他们画出的设计图,施工方看不懂。鉴于上述情况,应该组成一个设计协作组,把建筑设计者和实验室功能设计者组织起来,共同协作.才能圆满地完成设计。
2.不可忽视的初步设计
初步设计相对来说施工意义不大,仅对招投标公平,但在设计阶段是非常重要的,因为在该阶段是对设计方案及整体结构确定的阶段;在国外初步设计在整个设计时间中占了很大的比例,等到方案成熟之后,才进人施工设计分阶段,而在我国因为各种原因的限制程序却是相反的,所以在设计中容易反复,会出现很多同题。
3.设计与施工的关系
设计与施工是相辅相成的,设计的好坏直接关系到施工成本和施工的难易程度,同时,施工又反作用于设计,如果施工上不可行,将会否定这个设计方案。相反,将施工中出现的问题逐一解决,会使得设汁较为完善。施工设计是对初步设计的细化,对基础数据完整的采集,如果中间环节出现任何问题,都会影响设计质量。设计是施工的,施工也反过来在一定程度上约束设计。设计与施工的关系具体如下:
(1)设计决定了施工的具体内容、模式、方向。
(2)设计只是用它自己的语言描述了工程实体,而施工是完成实体的具体过程。
(3)施工的客观技术条件约束设计。
(4)施工的主观能动性影响设计的结果实现。
二、详尽实用的流程说明
从开展项目的前设计到后建设阶段,应该有一个阐述清晰的流程说明文件。这一环节非常重要,但经常被忽视。作为实验室的使用方代表,可以通过审阅这个流程说明了解一些关键控制点的实施过程t提前发现问题,避免较大疏漏。同时还可以作为施工过程中间控制的依据。
这个流程说明有别于施工组织设计,施工组织设计可以作为其中的一部分。施工组织设计文件是一个项目的招投标括动中实验室取舍投标单位的重要依据,同时也是中标后组织施工的基本指南。
该流程说明应该涵盖整个过程的每一步骤中各有关方应该关注的重点、需要解决的问题、各方之间必须进行的沟通;应该是一份实验室的使用者可以看懂的文件,应该由实验室代表组织人士(如设计者、监理、施工方等实验室方认为合适的人选)来编制,编制人必须能够自始至终参与整个项目、了解相关、对实验室的设计和建设具备相当的知识和经验,做好这个流程说明,可以明确关键点、各工序合理进场时间以及相互配合,同时还可以据此做出相应的材料进场时间安排。这程说明相当于实际工程的纸上演练,应该由各方认真研究讨论,这样做可以将一些问题提前解决,并能大大提高工程效率。
三、尽职尽责的项目经理
项目经理是施工总包的代表,他必须给予客户高度信任,并自始至终参与整个项目,他所肩负的责任就是现场所有施工队伍准时、地完成全部工作。项目经理是项目计划工作的主要负责人,是项目的组织者、协调者、沟通者,处于整个项目的中心位置,要沟通和协调各方关系,及时解决各种矛盾,事先发现问题隐患并及时排除,保证项目的全面实施需要获得足够的人力、物力和财力资源,并合理地分配项目任务,使项目得以顺利进行。
四、良好的沟通协作
在整个过程中,所有参与者要保持协调一致,同时与机构保持良好的沟通。如实验室代表必须在一些关键问题上如实向实验室的汇报,充分了解的意图,并予以贯彻实施;实验室代表必须与实验室以及分管保持沟通,及时将需求通知实验室代表,设计方、施工方、监理方,并能确保实验室需求付诸实现。
本公司技术力量雄厚;净化工程(产品)质量优良,服务完善。本公司专注于空气净化工程领域多年,因为,所以可靠;因为诚信,所以发展。给我一个空间,还您一洁净的世界。让我们携手,一起成长!
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