沈阳多段控温管式炉报价

PECVD系统 等离子体化学气相沉积系统
窗体底端
PECVD系统 
PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子体增强化学气相沉积法。 
本设备是借助射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。 
本设备主要由管式加热炉体，真空系统，质子流量供气系统，射频等离子源，石英反应腔室等部件组成。 
主要特点：
1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于：各种薄膜的生长，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。 
系统选型 
项 目  推荐选型 
管式加热炉体  
石英反应腔室  根据需求选择不同直径的石英管作为反应室。有Φ40，Φ60，Φ80，Φ100，Φ120，Φ150等规格可选。 
真空系统  根据需求选择不同真空效果的真空系统。有DZK10-1（极限真空0.1Pa），GZK10-3（极限真空0.001Pa），以及进口高真空机组（极限真空0.0001Pa）供选择。 
质子流量供气系统  根据需求选择多路质子流量供气系统。有两路GQ-2Z，三路GQ-2Z，四路GQ-2Z，五路GQ-2Z或更多路供选择。 
射频等离子源  根据需求选择强度不同的射频电源。有DLZ300（300W），DLZ500（500W）或更大功率的射频电源供选择。 
常见PECVD系统组合  1. 1200度60滑轨式微型管式炉，低真空系统，四路质子流量供气系统，300W射频电源 
 MXG1200-60S-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ300 
 2. 1200度60滑轨式管式炉，低真空系统，四路质子流量供气系统，500W射频电源 
 MXG1200-60-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ500 
 3. 1200度60双温区滑轨式管式炉，低真空系统，四路质子流量供气系统，500W射频电源 
 MXG1200-60II-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ500 
 4. 1200度60三温区滑轨式管式炉，低真空系统，四路质子流量供气系统，500W射频电源 
 MXG1200-60III-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ500 
 5. 1200度60微型预热炉，1200度60滑轨式管式炉，低真空系统，四路质子流量供气系统，500W射频电源 
 MXG1200-60S，MXG1200-60-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ500

1200度200管径管式炉(标准/双温区/三温区)
窗体底端
设备名称  200管径管式炉（开启式） 
型 号  TF1200-200  TF1200-200II  TF1200-200III 
基本参数  电源电压  AC 220V,50/60Hz  AC 220V,50/60Hz  AC 380V,50/60Hz 
 外形尺寸（宽*深*高）   
 设备重量  115Kg  135Kg  160Kg 
加热系统  加热功率  6Kw  8Kw  12Kw 
 加 热 区  440mm  600mm（300+300）  900mm（300+300+300） 
 恒 温 区  150mm（±3℃）  300mm（±3℃）  600mm（±3℃） 
 加热区数  单温区  双温区  三温区 
 极限温度  1200℃  1200℃  1200℃ 
 使用温度  ＜1100℃（大气或惰性气氛下），≤900℃（高真空条件下） 
 升温速率  ≤30℃/min（上限） 
  300℃以内：≤3-8℃/min，300℃以上：≤8-12℃/min（建议） 
 降温速率  700℃以上≤10℃/min 
 测温传感器  N型 
 电 热 丝  HRE合金丝 
  表面负荷高、电阻率高、抗氧化性能好、经久耐用 
 炉 膛  中日合资 1500型氧化铝多晶纤维一体成型 
  收缩率小，导热系数低，保温效果好，耐用节能 
 控温仪表  厦门宇电 AI系列仪表，模糊PID控制和自整定调节功能 
  30段可编程控制，控温精度±1℃ 
真空系统  极限真空度  若选配我司高真空系统，可达1.33*10-4Pa（空炉冷态）
 炉管及尺寸  石英管，200*1000mm  石英管，200*1200mm 石英管，200*1500mm
  高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小，能承受骤冷骤热 
 隔热管堵  2只，氧化铝材质 
 真空法兰  Φ200，一套；硅胶密封圈，内径180*5.7mm，四只 
 真空压力表  -0.1至0.15MPa 
安 全防护  超温报警、断偶提示、过流保护、漏电保护 
 当需要开启炉体观察物料或加速降温时，为保证使用人员的安 全，会自动切断电源 
升级服务  控温仪表升级为欧陆仪表，控温精度可提升至±0.1℃ 
随机资料  使用说明书1份、保修证书1份 
免费服务  免费送货(不含卸货)；免费技术支持 
质 保 期  12个月，易损件除外（如炉管、密封圈等）

电加热导热油炉和控制柜
产品特点
电加热导热油炉又称导热油电加热器，是一种“低压高温”型的节能供热设备。
1、能在较低的工作压力下（＜0.5MPa＝获得较高的工作温度（≤340℃），供热温度在 300℃时，运行压力仅为水的饱和蒸汽压的七十分之一。
2、热效率高（＞95%）。
3、可以进行稳定均匀的加热，并且能够达到的温度调控（控温 精度可在±2℃范围内）。
4、具有完备的控制系统和安全监测装置。
5、供热系统传热介质是有机热载体——导热油，该介质无味、无毒、 无环境污染、对操作工人健康无影响、对设备无腐蚀、使用寿命长。
6、油加热器可以就近水平安装在热用户（用热设备或用热环境）附近，不用打地基。
7、一般情况下，3-6 个月可以回收投资。
产品适用工作环境海拔不超过1000m；环境温度在 5-40℃范围内；环境相对湿度不大于 90%；周围没有导电尘埃、爆炸性气体以及能严重破坏金属和绝缘的腐蚀性的气体；无明显的震动。
如对产品有防爆等要求，或在其它条件下使用，用户在订货时与本厂具体协商。
附图1 系统供热循环系统示例图
附图2 导热油升温、脱水、降温曲线图

风道加热器
风道加热器是适用于风道中的空气加热，规格分低温、中温、高温三种形式，在结构上的共同之处是采用了用钢板支撑电热管以减少风机停止时电热管的振动，在接线盒中都装有超温控制装置。
另在控制方面除装有超温保护外，还在风机与加热器之间加装联运装置，以确保电加热器起动必须在风机起动之后，在加热器前后加一差压装置，以防风机故障；低温型可直接安装在风道上，而中温型、高温型由于结构上的不同，在通道外壁至加热器接线盒夹有100mm 厚的保温材料，这主要是减少整个通道的对外散热和接线腔内的温度，通道加热器加热的气体压力一般不应超过0.3Kg/cm2，如需超过以上压力，请选用循环式电加热器；低温型加热器气体加热温度不超过160℃；中温型不超过260℃；高温型不超过500℃。
风道式电加热器用于工业风道、空调风道与各行业空气通过对空气的加热，提高输出空气的温度，一般在风道横向开口插入。根据风道工作温度分低温、中温和高温;根据风道内风速分低风速、中风速和高风速。
（本产品可以更具客户要求定做，提供图纸，电压，功率，尺寸）

陕西鑫昌实验仪器设备有限公司专注于销售低温系列，高温系列，高精度系列，超声波系列，光催化系列，光解水制氢系列等实验仪器。
主营业务产品：
低温恒温槽、温冰箱、冷冻干燥机、雪花制冰机、水浴恒温摇床、低温冷却液循环泵、无菌均质器、光化学反应仪、光解水制氢系统、超声波清洗机、超声波细胞粉碎机、高/低速离心机、紫外分析仪、培养箱干燥箱系列产品等。