VSD200 差动开关
INFICON 真空开关设计用于准确而可靠地测量压力。这些坚固的电子开关可用于所有真空,包括压力联锁。开关有两种版本:绝压型(基准为真空)或差压型(基准为环境)。
Edwards新的Passive gauge真空规和控制器,补充目前Edwards Active真空计和控制器。这些真空计提供了一种广泛应用的压力测量解决方案,从**高真空系统到加工工业,或者在不可能使用Active真空计(如回旋加速器)的地方。
Edwards Passive系列真空规包括皮拉尼规,潘宁规和两个Bayard-Alpert离子计和Extractor离子测量计,可以测量大气至10-12 mbar**宽的压力范围。它们与被动式真空计计控制器(PGC)一起使用,显示压力,并为用户提供直观的界面,以及远程控制的能力。Edwards将提供2个控制器,PGC201支持测量从10-9至1000 mbar的压力范围,连接皮拉尼和潘宁真空规;以及范围较广的PGC202,测量10-12至1000mbar,连接皮拉尼和离子测量计。
VD81 1600到1mbar 陶瓷薄膜传感器
应用实例
真装可以增加食物的保存时间3到5倍。包装过程是先抽真空然后再密封。
挑战
包装机器是否运转正常需要定期检测。只有当包装中的真空度足够时,食物的质量、新鲜度、营养成分、和口感才可以得到地保存。
解决方案
为了检查包装的性能,可以定期地将一个由电池驱动的VD81替代食物进行真空密封。在包装过程中,VD81存储其获得的小压力值,当它被拿出包装设备后,可以显示该小压力以便检测。
应用领域
真空设备的安装和检测
分析仪器
化工工程
作为机械和压力计的替代品
真空炉
应用
半导体制造设于刻蚀, CVD, PVD, ALD
数据存储和OLED,LCD制造设备
工业真空设备
混气实验设备
一般**压力测量
INFICON反磁控管皮拉尼复合真空计,MPG400 和 MPG401,测量范围为 5 x 10-9 mbar 至大气压力(3.8 x 10-9 Torr 至大气压力)。将多项技术融入带有一个对数模拟输出信号的单个紧凑型装置中,显著降低了安装、设置和集成的复杂性。
VSM 1000到5x10-9 mbar 皮拉尼/ 冷阴极
应用实例
在给激光谐振器的镜片做光学镀膜时,通常工艺过程中的压力需要**2x10-3mbar。
挑战
一个合适的真空规需要满足既能够镀膜过程中的压力又能测量真空腔体中能达到的小压力10-6mbar。
我们的一个客户曾经使用一个皮拉尼/冷阴极复合的真空规,冷阴极用来小压力和工艺过程中的真空度。但由于其频繁地在1x10-3mbar之上进行操作,导致传感器快速退化。
解决方案
在VSM真空规中一个有延展范围的皮拉尼可以让冷阴极在一个非常低的压力之下运行。此外两个传感器之间的转换可以按照应用的要求而配置。现在整个镀膜过程都在皮拉尼的之下,而冷阴极就可以被节省下来了,因为它只在整个系统压力达到小压力时才会被启动。镀膜的可用性因而得到显著提高。如果想要直接在测试点检查压力值,还可以用集成了LCD显示屏的VSM。
应用领域
分析仪器
镀膜设备
工艺工程
高真空到**高真空应用的控制
溅射工艺
真空炉
昆山熙日机械设备有限公司是由一批长期服务于某外企的骨干精英组建而成,注册资金100万,自公司成立起一直致力于真空设备及配件的研究、生产、推广、销售、安装及维修领域。 本公司经过多年不懈的努力,已拥有一支专业的IT研发人员和全面的销售网络,所经营的产品**国内外,现已与国内外多家大型企业保持着长期的合作关系,本公司产品以质量优良、操作简单、*及周到的售后服务等广受市场好,使得公司的效益得到迅速发展,为公司的长远发展打下牢固的基础。 公司主要经营: X系列单级旋片泵、进口德国BECKER贝克、德国BUSCH普旭、德国LEYBOLD莱宝、德国RIETSCHLE伟力(里其乐)、英国爱德华、闽台凯威科、日本ORION好利旺、龙挺RVP系列等品牌真空泵及英福康(INFICON)检漏仪;并提供优惠的真空泵配件(进口):油雾分离器(排气过滤器)、叶片、碳精片、油封(轴封)、密封套件、轴套、轴承、连轴器垫(套)、连轴器、排气阀(片),视油镜、空气总成、风格(空气滤芯)、油过滤器(油格),风扇叶、风扇罩、逆止阀、气镇阀、散热器、防震脚及真空泵油; 产品广泛适用于:电光源、真空镀膜、机械、光盘、冶金、石油、化工、造纸、食品、、电子、电力、陶瓷、玻璃、电路板、引水、印染、制糖、制冷设备、工艺吸塑、科研、干燥及汽车维修等单位。 售后服务:公司拥有专业的维修技术人员及**的检测设备,并长期提供真空泵技术指导及修理、维护、保养、检测、咨询等服务;服务承诺:凡在本公司所购真空设备,均享有一年免费保修期,并终身提供技术支持。 公司坚持“以诚为本、信誉至上”为宗旨,不断创新改进,完善售后服务网络。我们以的产品,的质量,的价格,质的服务,愿同各界朋友互相合作,开拓美好的未来。