福州真空规价格 真空规管 275 Mini-Convectron

VSC150A 开关，被动
INFICON 真空开关 VSC150 是一个压力开关，带有 0.5 - 2000 mbar 的可调节电气开关触点。其机械设计允许出现 3000 mbar 的短时高温过载现象，而不会危及 ± 0.1 mbar 的开关准确度。INFICON 可为压力开关提供客户特定调节功能。
皮拉尼电容膜片复合真空计
INFICON 皮拉尼电容膜片式真空计 (PCG550系列) 将皮拉尼技术与电容膜片传感器的优点复合在单一产品中。在 10 mbar 和大气压力之间的测量范围内，电容隔膜技术不受气体类型限制，能够提供高度的可靠压力测量值。

特点
可靠，经典的规管设计
宽范围的**电流（100μA至10mA）
可与单/双钇丝-涂层铱和双钨丝阴极组件
所有型号都可以使用EB（电子轰击）除气。

应用
研究设施
分析设备
研究和生产涂料设施
泄漏检测系统
半导体开发和生产

特点
压力测量范围从10-10托到10-2托
单校准的仪表提供10%的精度
模拟输出和RS-485通信
用于过程控制的两个设定值继电器
USB接口的设置和诊断
VSP 1000到1x10-4mbar 皮拉尼
应用实例
塑料元件经常被加以金属镀膜，这抑或出于美观考虑，抑或为了屏蔽敏感元件免受干扰。
挑战
金属镀膜是在一个PVD镀膜系统中进行。它首先由一个旋片泵通过旁路抽至10-2mbar。然后由涡轮分子泵进一步抽至10-5 mbar。镀膜工艺通常在2x10-4 mbar下进行，此时需要连续地真空状态，以确保镀膜工艺持续不断地高质量运行。为了避免涡轮分子泵**负荷，例如在不恰当的系统压力下切换到分子泵等，旁路中的压力以及涡轮分子泵的前级真空都需要被。
解决方案
用一个VSP 皮拉尼真空规控制旁路中的真空是否足以切换到涡轮分子泵。另一个VSP直接在涡轮分子泵处分子泵所需要的前级真空。一个VSM宽量空规测量系统内的极限真空度以及在镀膜过程中的压力。一台VD10多通路真空计用来做控制模块。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
前级真空控制
真空系统中的安全开关

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