光谱共焦传感器与激光位移传感器的对比:
激光三角反射法位移传感器光谱共焦位移传感器(光谱共焦传感器)遮挡阴影的影响
高度变化映射到传感器像位移,根据三角函数计算出高度距离。图中阴影部分是测量盲区。
光线是从四面八方照射过来的,即使大部分的光线被阻挡,只要有一小部分返回,照样可以测量,甚至能测量其它方法无法测量的小孔和槽底部。一个光谱共焦传感器可以起4个从不同方向照射的激光位移传感器的作用。透明体和镜面被测物的影响几乎没有。这就是光谱共焦传感器的特点。
光谱共焦传感器在设计色散镜头时,除了要考虑其轴向色差外,还要考虑如下因素:
1)物方数值孔径可以提高分辨率;
2)像方数值孔可以提高光源利用率;
3)减小系统球差可以提**;
4)光谱共焦传感器的·系统结构要易于装配和调整。 以上这些因素是相互制约的,数值孔径的同时系统球差也随之变大,如果要校正球差系统,结构就会变得复杂,所以色散镜头设计的目的是用少的透镜达到理想的效果。光谱共焦传感器的光学系统可以看成两个部分,一部分是消色差场镜,它的焦点在光源处,把点光源准直成平行光,另一部分为色散物镜,它的作用是把不同波长的平行光聚焦在轴上的不同位置,形成光谱色散,而消色差透镜和非球面透镜正好可以起到这样的作用。
由于光谱共焦传感器的系统要分析反射回光纤的光谱光强分布情况,所以对共焦过程进行了模拟,在仿真过程中,将平面镜置于焦面处,使通过光学系统的光经过平面镜反射后又回到光学系统,并成像在光源位置。通过观察像面处的点列图发现,当平面镜设置在不同波长的焦面处时,聚焦波长在像面处的弥散斑较小,而其他波长的弥散斑较大。平面镜设置在 550 nm 波长焦面处时像面上的点列图,其中 550 nm 波长的弥散斑直径为41.4 μm,小于光纤纤芯直径,而 400 nm 波长的弥散斑直径为 2 311.46 μm,远大于光纤纤芯直径。为了较准确地分析光纤纤芯直径对共焦系统的滤光情况,将光纤端面离散为间距 1 nm 的均匀分布点光源,并假设弥散斑与光纤纤芯重叠的部分为可以进入光纤的光。
光谱共焦传感器具有的测量能力,可以稳定的测量任何材质(如,镜面、玻璃、不锈钢、白色陶瓷、高光金属、基板等)无论什么表面均可在1μm内稳定测量。即使多种材质存在,用同一安装方式也可以稳定测量。
光谱共焦传感器具有的角度特性,可测倾角87°,由于其同轴共焦原理,所以无像差干扰问题,即使被测物有过大倾角也不会影响测量精度。
镜面、透明、半透明体表面也可以有的角度特性,使用光谱共焦传感器,*严格的角度调整就可以进行**测量。即使被测物在运动过程中的跳动也不会对测量造成过大的影响。
对于透明体内测激光切割的定位,光谱共焦位移传感起可一通过单点定位到对应的位置。
光谱共焦大角度传感器的优势
当镜面被测物边沿有很大倾斜角度时(如手机3D玻璃边沿),激光三角反射法位移传感器的回光可能发生很大角度的反射,导致侧向收光器回光很少,无法测量。
在比较大的弯曲或倾斜角度内,只要有一小部分光返回,就可以完成测量任务。不需要倾斜安装或使用镜面反射型号位移传感器,光谱共焦传感器减少了传感器品种数和安装难度,大大提高使用效率。光斑大小等等的影响。光谱共焦传感器大角度可以解决工业测量过程中的大多数问题。
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