3D光学轮廓仪的应用案例:
1.3C电子.蓝宝石玻璃粗糙度、手机金属壳模具瑕疵、手机油墨屏高度差;
2.半导体.抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC
3.**精密加工.光学透镜
4.精密加工.发动机叶片
5.精密加工.金字塔型金刚石磁头
6.标准样块.单刻线台阶、多刻线粗糙度
白光干涉3D轮廓仪的相关技术参数
主要性能指标
1. 仪器类型:非接触式光学轮廓仪;
2. 仪器技术:白光干涉技术;
3. Z方向扫描范围不可小于10µm;
4. XY方向扫描范围不可小于150mm;
5. 支持样品反射率在0.05%到之间变化;
6. Z方向聚焦要不小于100mm;
7. Z方向扫描速度不能小于47µm/sec;
8. Z 方向精度 < 0.01nm;
9. RMS重复性(PSI)< 0.01nm;
10. 能够提供多种FOV,从而让物镜放大倍率在5X到100X之间切换;
11. 在任何物镜倍率下都要达到亚埃级至毫米级垂直测量量程;
12. 支持高亮度的双LED光源;
13. 支持实时观测样品台X、Y、Z、轴方向上的调节;
14. 支持自动光强强度调节;
15. 全自动样品台支持150mm样品大小;
16. PC要具备多核处理器和支持64位软件;
17. 支持无缝拼接,可以把成千上万个数据拼接成一张连续的图像;
光学3D表面轮廓仪采用了高精度扫描模块和*特的内部抗振设计,可实现高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性,诠释始终如一的测量品质;直观的操作界面,让您对操作流程一目了然,自动聚焦,助您一键实现测量过程;可视化的工作流程树,一键激活的图库管理功能,所见即所得的同步分析功能,较有一键分析功能,批量测量不用愁。
东莞市蓝海精密检测设备科技有限公司光学3D表面轮廓仪不仅可用于硅晶片、光学透镜、窗口片、蓝宝石表镜、手机屏等表面粗糙度检测仪,还可对LED衬底、红外观察窗口、**精密工件、微机电系统等进行**精密检测,在军事和民用领域都有着广泛应用。
东莞市蓝海精密检测设备科技有限公司专注于精密计量仪器和精密检测设备的技术发展,自强不息、知难而上、勇于创新,不断向各种技术壁垒、技术垄断发起挑战,用现代化的技术手段大幅提高测量效率和精度,图中国仪器技术之强大,铸中国产业提升之利器。
东莞蓝海精密的三维光学轮廓仪(3D Profiling)
该仪器采用白光轴同轴色散原理(性能**白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪)对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量,测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌,台阶高度,给MEMS、半导体材料、太阳能电池、工程、制药、生物材料,光学元件、陶瓷和材料的研发和生产提供了一个的、价格合理的计量方案
仪器产品特性:
1 采用白光同轴向色散技术,可获得纳米级的分辨率
2 测量具有非破坏性,测量速度快,度高
3 测量范围广,可测透明、金属材料,半透明、高漫反射,低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…);
4 尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面
5 不受样品反射率的影响
6 不受环境光的影响
7 测量简单,样品*处理
8 Z方向大测量范围为24mm ERT在微纳米尺度上的光学表面轮廓测量技术的,生产的光学轮廓仪是目前**上用在科学研究和工业领域表面轮廓测量设备,该公司在光学设计、精密机械和科学软件算法方面,拥有长期不断发展的**技术,由于这些技术的应用,ERT为生产和质量控制的研究和发展提供精密准确的解决方案。 ERT的表面测量系统适用于研发和生产过程控制中的定性和定量测量,其**部件达到纳米尺度的创新的光学设计,其强大且友好的软件控制使所需获得的数据不仅速度快,而且精度高,并提供了多种不同的表面分析方法,与系统匹配的软件包含参数设定(如扫描尺寸、线数、步进、转换台速度、数据采样速度)和数据后处理功能(如Abbott-Firestone曲线、快速傅立叶变换、自相关功能、三维成像、二维切片成像等) ,可以定量地测量表面粗糙度及关键尺寸,诸如晶粒、膜厚、孔洞深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等,并计算关键部位的面积和体积等参数。 垂直测量范围:27mm 垂直分辨率:<2nm 扫描速度 10m/s 横向分辨率:5nm .
东莞市蓝海精密检测设备科技有限公司专业从事工业自动化生产线上高精密检测设备的研发、生产、销售、服务及产业生态圈建设维护等业务。在劳动力日益紧张的今天,我们为企业实现机器换人提供专业集成解决方案。 强大的工业制造依赖于三个领域:一是新型材料;二是精密制造;三是精密检测。中国制造2025目标的实现离不开精密检测产业的发展,我们致力于成为中国**的精密光学检测解决方案集成商,推动中国精密光学检测行业向较高较精密方向发展。白光同轴光谱共焦技术,将精密光学的在线检测精度带入纳米级领域,以满足高精度、高标准、高效率的现代化科技需求,促进工业多领域产品的迭代和改革。我们坚持以市场为导向,技术服务为**,发现并解决顾客痛点,以标准产品和个性化联合研发定制解决方案相结合的产品组合满足不同领域的客户需求。 蓝海人坚持“专注协作,知行合一”的经营理念,与中国制造一同扬帆远航,屹立于世界制造之林。 蓝海精密目前提供2D轮廓分析仪、3D轮廓检测仪、粗糙度分析仪、中板高度段差检测机、阳极膜厚度检测机、曲面盖板玻璃平整度及弧度检测机、多层镜头厚度检测机、防水层厚度检测机、后盖板平整度及内腔高度检测机、手机精密五金件检测机等多种设备