氮化钛属于间隙化合物,具有美丽的金光泽,化学稳定性好,熔点高达3000℃,维氏显微硬度为20GPa左右。氮化钛以面心立方的-TiN和体心四方的Ti2N两种相存在Ti2N的Ti/N比变化范围很窄,而的N/Ti比的变化范围则很宽。
TiN有着诱人的金、熔点高、硬度大、化学稳定性好、与金属的润湿小的结构材料、并具有较高的导电性和**导性,可应用于高温结构材料和**导材料
此外,氮化钛膜还可用作耐腐蚀镀层、微电子器件的扩散障碍层、光学反射层等
氮化钛靶材---氮化钛膜是指由钛氮化合物组成的薄膜。氮化钛属于间隙化合物,具有美丽的金光泽,化学稳定性好,熔点高达3000℃,维氏显微硬度为20GPa左右。
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