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分子泵设计理念
莱宝真空针对不同应用提供基于不同轴
承和转子技术的涡轮分子泵。如
TURBOVAC系列机械轴承标准分子
泵;TURBOVAC MAG系列磁悬浮轴承
分子泵;TURBOVAC i/iX系列半磁浮分
子泵(半磁浮分子泵仅在排气端配置脂
润滑轴承,高真空端配置免维护的永磁
轴承)。莱宝真空的分子泵均不采用油
润滑轴承可以从理论上完全避免分子泵
对腔体产生碳氢化合物污染并且保证所
有分子泵均可以任意角度安装。
(1)清洁油扩散泵。使用油扩散泵生产厂家提供的新泵或调试好的新泵可直接接入真空系统工作。但旧泵或 长期放置的新泵,在接入真空系统前,应对泵中零件进行清洁处理并换油。
①除去泵芯表面和泵壁上的机械杂质和各种油污;
②先用干净的汽油擦洗各零件和泵内壁表面后用、四氟化碳清洗这些零件和泵内壁表面,玻璃油扩散泵则用洗液清洗。然后用热风吹于,并放置在无灰尘周围清洁 的环境中
③按顺序将泵芯装入泵腔中,调整好各级喷嘴间隙,并拧紧固定喷嘴的支撑杆,大泵 还需调整好四周固定螺杆,以防止喷嘴的正确位置。然后按规定数量加足莱宝真空泵油,泵油有时可 根据经验测量油层厚度,一般约1cm深即可
④检查加热电炉的电炉丝是否烧断、短路,电炉的绝缘性能、保温性能是否良好。
⑤检查水冷管(或水冷套)是否漏水、堵塞。要求水路畅通,水量充足。
⑥将泵接人真空系统,并对系统进行检漏,要求系统漏气率在允许范围内。
(2)油扩散泵的使用规程
①油扩散泵的开泵顺序
a.接通扩股的冷却水,用机械泵抽预真空。当扩散泵压力**0.1P。时,接通 扩散夏加热电炉的电源,对扩散泵开始加热。
b.对于K-400以下的小泵,加热1h后泵可正常工作,K500以上的大泵,需要加热1 h后,泵才能正常工作,因此,在使用扩散泵系统时,应注意安排好扩散泵的启动时间 c.打开扩散泵的间门,泵即可正常工作
②油扩散泵的停止顺序
a.关闭扩散高真空阀门和真空计电源
b.切断扩散泵加热电源,机械泵继续工作
c.再工作30min(小泵)到2h(大泵)后,关闭扩散泵与机械泵之间的阀门,停止机 械泵工作,并向机械泵放入大气(如果机械泵装有电磁放气阀,在切断机械泵电源后,会因电气联钡而自动放气)。
d.当泵的油锅温度接近室温(50~60℃)后,关闭扩散泵的冷却水
c.为加快扩散泵冷却,可以卸下电炉,采用喷淋水的方法冷却。K200以下的小型泵,也可以采用装冷水的塑料盒放在泵的底部直接冷却。现代大型扩散泵都在油锅外壁设有急冷水管(或水套),泵正常工作时不通水,切断电源时通水急冷
③操作应注意事项
a.当扩散泵内油温较高时,不允许放入大气,以防泵油氧化变质,影响泵正常工作停泵时应保证泵内处于真空状态。
b.长期停泵时,水冷管(套)内的冷却水应放尽,并用压缩空气吹干
c.机械泵停止工作同时从泵放气,以免机械泵油流入扩散泵内,现代扩散泵机组都设计有电磁放气阀,停泵时自动放气。
d.扩散泵正常工作后,才能打开泵人口高真空阀,停泵时先关高真空阀,以减少泵油返流污染被抽容器。
e.应确保冷却水畅通,泵内真空度**1Pa时才能对扩散泵加热,定期检查泵油,及时加注或更换。扩散泵抽气机组的水冷却系统应装有断水自动报警器和水压继电器,确保扩散泵冷和水的畅通,一旦断水及时处理。
④油扩散泵的故障分析及处理 扩散泵在长期使用后,如果泵的工作性能逐渐变坏即极限压力升高和抽速下降),而其他情况正常,则主要是泵油氧化变质。这时将扩散泵卸 观察泵油的颜色,如果泵油颜色发黑,混着物较多,不但使泵油氧化变质,而且泵油已 黑,此时应更换新油。如果泵接入系统后,真空度抽不上去,则首先检查泵所在系统的漏 率是否**过允许值,同时检查泵电炉的供电电压是否正常,泵的冷却是否正常。如果上述方面一切均正常,则可认为是泵芯装配方面的问题,泵芯装配前未清洗干净,或者泵芯装配不正。
Leybold莱宝真空泵维修系列
SV系列旋片式真空泵
SV10B SV16B SV25B SV40B SV65B SV100B SV100 SV200/ SV300 SV300B SV630 SV630B SV1200
D系列旋片式真空泵
D8C D16C D30C D60C D40B D65B
罗茨增压泵系列
WAU150 WAU250 WAU500 WAU1001 WAU2001
WSU250 WSU1001 WSU2001 WH4200 WH4400
昆山熙日机械设备有限公司长期致力于真空泵维修保养服务,成立至今始终秉承务实的职业,拥有一支**的维修团队,同时建立完善的服务体系,为客户提供较快,较好的真空泵维修保养服务。我司主要真空泵维修范围包括:旋片式、罗茨、螺杆、爪式、机组、真空系统、涡旋等类型泵浦,服务包括:普旭,莱宝,里其乐,贝克,爱德华,爱发科,大晃,阿尔卡特,荏原,好利旺等。
DRYVAC
螺杆真空泵
DRYVAC是采用了新技术的干式螺杆真空泵,它根据具体应用可提供各种功能。DRYVAC系列在开发时考虑了光电行业、平板显示和加工工业市场的要求。泵为水冷,结构紧凑并且易于与系统组合,特别是与业经考验的RUVAC WH(U)、WS(U)和WA(U)系列罗茨泵实现组合。德国莱宝干式螺杆真空泵DV1200维修
昆山熙日机械设备有限公司是一家经营真空泵,分子泵,真空机组,负压真空系统,进口真空泵润滑油,真空泵配件,真空泵维修的授权一级经销商,主要经营的有LEYBOLD德国油封泵:双旋片泵TRIVAC B/C系列,单级旋片泵SOGEVAC B|BI|FP系列;莱宝干式真空泵:膜片泵DIVAC系列,涡旋泵SCROLLVAC系列,干式螺杆泵LEYVAC系列,干式螺杆泵SCREWLINE系列;罗茨泵:RUVAC WA/WS 和RUVACWH系列;莱宝高真空泵:莱宝油扩散泵系列、莱宝油增压泵系列、莱宝分子泵系列、莱宝低温泵系列;莱宝**高真空泵:莱宝离子泵;莱宝检漏和真空测量设备:PHOENIX4.0系列和PHOENIX L500全系列真空计和真空控制器;莱宝阀门和附件;莱宝真空泵润滑油:LVO130,LVO100,LVO108等真空泵及提供莱宝真空解决方案、真空系统真空产品。
昆山熙日机械设备有限公司是由一批长期服务于某外企的骨干精英组建而成,注册资金100万,自公司成立起一直致力于真空设备及配件的研究、生产、推广、销售、安装及维修领域。 本公司经过多年不懈的努力,已拥有一支专业的IT研发人员和全面的销售网络,所经营的产品**国内外,现已与国内外多家大型企业保持着长期的合作关系,本公司产品以质量优良、操作简单、*及周到的售后服务等广受市场好,使得公司的效益得到迅速发展,为公司的长远发展打下牢固的基础。 公司主要经营: X系列单级旋片泵、进口德国BECKER贝克、德国BUSCH普旭、德国LEYBOLD莱宝、德国RIETSCHLE伟力(里其乐)、英国爱德华、闽台凯威科、日本ORION好利旺、龙挺RVP系列等品牌真空泵及英福康(INFICON)检漏仪;并提供优惠的真空泵配件(进口):油雾分离器(排气过滤器)、叶片、碳精片、油封(轴封)、密封套件、轴套、轴承、连轴器垫(套)、连轴器、排气阀(片),视油镜、空气总成、风格(空气滤芯)、油过滤器(油格),风扇叶、风扇罩、逆止阀、气镇阀、散热器、防震脚及真空泵油; 产品广泛适用于:电光源、真空镀膜、机械、光盘、冶金、石油、化工、造纸、食品、、电子、电力、陶瓷、玻璃、电路板、引水、印染、制糖、制冷设备、工艺吸塑、科研、干燥及汽车维修等单位。 售后服务:公司拥有专业的维修技术人员及**的检测设备,并长期提供真空泵技术指导及修理、维护、保养、检测、咨询等服务;服务承诺:凡在本公司所购真空设备,均享有一年免费保修期,并终身提供技术支持。 公司坚持“以诚为本、信誉至上”为宗旨,不断创新改进,完善售后服务网络。我们以的产品,的质量,的价格,质的服务,愿同各界朋友互相合作,开拓美好的未来。