佰视特三维表面轮廓仪在微纳米尺度上的光学表面轮廓测量技术的。
佰视特生产的三维表面光学轮廓仪是目前**上用在科学研究和工业领域表面轮廓测量设备,该公司在光学设计、精密机械和科学软件算法方面,拥有长期不断发展的**技术,由于这些技术的应用,佰视特为生产和质量控制的研究和发展提供精密准确的解决方案。佰视特在微纳米尺度上的光学表面轮廓测量技术的,生产的光学轮廓仪是目前**上用在科学研究和工业领域表面轮廓测量设备,该公司在光学设计、精密机械和科学软件算法方面,拥有长期不断发展的**技术,由于这些技术的应用,佰视特为生产和质量控制的研究和发展提供精密准确的解决方案。 ERT的表面测量系统适用于研发和生产过程控制中的定性和定量测量,其**部件达到纳米尺度的创新的光学设计,其强大且友好的软件控制使所需获得的数据不仅速度快,而且精度高,并提供了多种不同的表面分析方法,与系统匹配的软件包含参数设定(如扫描尺寸、线数、步进、转换台速度、数据采样速度)和数据后处理功能(如Abbott-Firestone曲线、快速傅立叶变换、自相关功能、三维成像、二维切片成像等) ,可以定量地测量表面粗糙度及关键尺寸,诸如晶粒、膜厚、孔洞深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等,并计算关键部位的面积和体积等参数。 垂直测量范围:27mm 垂直分辨率:<2nm 扫描速度 1m/s 横向分辨率:5nm .
三维表面轮廓仪的功能技术参数
1. Z 方向精度 < 0.01nm;
2. RMS重复性(PSI)< 0.01nm;
3. 能够提供多种FOV,从而让物镜放大倍率在5X到100X之间切换;
4. 在任何物镜倍率下都要达到亚埃级至毫米级垂直测量量程;
5. 支持高亮度的双LED光源;
6. 支持实时观测样品台X、Y、Z、轴方向上的调节;
7. 支持自动光强强度调节;
8. 全自动样品台支持150mm样品大小;
9. PC要具备多核处理器和支持64位软件;
10. 三维表面轮廓仪支持无缝拼接,可以把成千上万个数据拼接成一张连续的图像;
11. 三维表面轮廓仪支持分析参数扩展列表中自定义可视化数据,可实时进行自动数据记录和pass/fail判断;
12. 三维表面轮廓仪可自行设置数据输出的界面。
三维表面轮廓仪
三维表面轮廓仪之**部件光谱共焦传感器详解:
(1)数据在配置PRIMA控制器情况下得出;
(2)量程数值为配置特定控制器得出,在一般情况下可适当调整量程,但可能会影响测量性能;
(3)工作距离是指测量头*与量程起始点距离,该数据在配置PRIMA控制器情况下得到,通常CL0、CL2、CL3和CL4型号可能存在±3%偏差,CL1、CL5和CL6型号可能存在±6%偏差;
(4)大可测倾角是指测量镜面反射表面时的极限角度值,测量漫反射表面时该角度可达87° ;
(5)此数据为聚焦点在量程中间处计算得出,量程开始端与结束端的光斑数值存在约10%差异;
(6)横向分辨率是在测量突变光度时得到的10%-90%转换距离,该值在量程中间处测得;
(7)光量收集率是指测量同一样品情况下各个测量头收集到的能量,数据为相对单位数值。在测量高度反射样品时为了防止数据饱和,应选择低光量收集率型号测量头;在测量扩散或者低反射的样品时,为了避免较低的信噪比,应选择高光量收集率型号测量头;
(8)静态噪音(SN)是指在量程中间处测得处于完全静态的样品的RMS噪音值,表中的两个SN值包括一个未平均值和一个10次平均值。这些值为大的可接受值。该值是在测量头校准之后测的,并在出厂报告中标注。SN值决定了传感器的垂直分辨率。 (9)数据由1nm精度的编码器做比较校准,由传感器测量距离时,在整个测量范围内的大误差。此数据为校准后立即获取,该数据的设置条件为:特定测量频率,0°倾角, 内部平均10次;
(10)测量Ra的精度取决于样品特性,R表示推荐用于测量粗糙金属样品,NR表示不推荐用于测量粗糙金属样品;
(11)在厚度测量模式下,测量精度取决于样品特性。为了获得较好的厚度测量结果,应采用厚度标定方法获取样品折射系数或导入样品折射系数文件;
(12)该数据为在如下设置下获得的典型值:佳测量频率,数据无平均,样品折射系数1.5,在量程范围的中心获得;
(13)初始参数; FocalSight、FocalScan光谱共焦传感器提供纳米级、高10KHz的Z方向高度数据。 传感器配备控制器、光纤和测量头。根据实际测量场景,控制器提供单通道、双通道和四通道选择,测量头也可依据量程和分辨率等要求进行配置。通过优化配置控制器和测量头,可为工业应用输出较为经济、性能强大和稳定的测量能力。
如此在实际工业的测量应用中三维表面轮廓仪发挥着强大的量测功能作用。佰视特三维表面轮廓仪助力您前行!!!
佰视特三维表面轮廓仪的操作简介
仪器仪器操作简单容易维护
★ 仅需三步设置即可一键开始测量,节约时间精力
★ 高20mm/s扫描速度,数分钟之内即可完成测量
★ 000级大理石隔振设计,隔离1Hz以上环境振动影响,测量数据较
★ XY轴提供0.1μm分辨率光栅尺反馈,数据可重复性高
三维表面轮廓仪的**部件光谱共焦传感器的构成
三维表面轮廓仪的传感器配备控制器、光纤和测量头。根据实际测量场景,控制器提供单通道、双通道和四通道选择,测量头也可依据量程和分辨率等要求进行配置。通过优化配置控制器和测量头,可为工业应用输出较为经济、性能强大和稳定的测量能力。
PRIMA控制器
★ 1/2/4通道选择
★ 测量频率100Hz至2000Hz,10K Hz型号供选择
★ LED光源自动调节
★ 厚度校准技术
★ 数字量和模拟量输出
★ 同步读取外部数字编码器
三维表面轮廓仪纳米级分辨率与测量精度
★ 17nm垂直分辨率,获得更多表面细节
★ 高1μm横向分辨率,更多采样值带来较的分析结果
★ 高14nm测量头精度,输出可信赖的测量数据
三维表面轮廓仪纳米级分辨率与测量精度
★ 17nm垂直分辨率,获得更多表面细节
★ 高1μm横向分辨率,更多采样值带来较的分析结果
★ 高14nm测量头精度,输出可信赖的测量数据
三维表面轮廓仪的主流微观几何测量功能
★ 利用同轴光在表面聚焦,解决透明、反光表面测量难题
★ 高亮度白光LED光源经黑色表面返回更多测量信号
★ 测量范围小至集成电路,大至手机屏
★ 高±60°大角度表面测量能力,获取更多极限和边缘处数据
佰视特智能技术(东莞)有限公司(BOST AI)是由**良好的电子产品*智能制造设备开发成员和欧洲**光学零部件企业**成员联合创立的企业,在深圳、东莞、上海和法国均设有研发中心。以大数据和人工智能技术为底层支撑,将光学、运动力学、JIT等学科和实践理论结合**过十五年的产线需求研究,转化为精密制造领域需求的精密测量和精密检测仪器及产品解决方案。BOST团队立志成为精密检测、智能制造和精密测量设备及产线领域卓有实力的关键零部件研发和系统集成商。 公司致力于智能制造领域精密检测设备的开发与销售,经过多年的努力与发展,已具一定的规模和实力。现在拥有一支经验丰富、技术精湛的研发与服务团队,并与国内**大学以及研究机构建立长期合作伙伴关系,公司强大的研发团队耕耘于机器视觉外观及尺寸检测多年,并在AOI检测上追求卓越,*,为客户提供一站式全套精密检测系统,节省人力、提高效率提升企业竞争力。