莱宝分子泵泵压缩比详细介绍:
压缩比,K
对于给定气体种类,压缩比K定义为前
级真空压强pw(=涡轮分子泵前级真空
侧的压强)与高真空压强pHV(= 涡轮分
子泵高真空侧压强)之间的比:
k = k(pw) = pw / pHV = pw / PHV(PW)
压缩比很大程度上取决于气载量:在给
定前级真空压强时,气载量降低时,压
缩比增加。
零压缩比,K0
涡轮分子泵的零压缩比K0定义为这台
泵处于“零”气载量时的压缩比。
在实际应用中,绝不会出现所要求的“
零”气载量(有限的泄漏量、密封元件释
气、壁体表面解吸附)。因此,零压缩
数据需要在较低气体量时测量获得。使
用金属密封泵的零压缩比明显**使用
O形圈密封的同型号泵。
极限压强(本底压强),p极限,[mbar]
涡轮分子泵的极限压强定义为测量系统
除气后在试验腔体中48小时后
达到的压强。极限压强与使用的前级真
空泵以及高真空法兰上所用的密封类型
相关。
DIP
油扩散泵
DIP 油扩散泵是不带任何旋转部件的高真空泵,此类流体夹带泵的工作原理是基于蒸汽射流的传输能力。与其它高真空泵相比,扩散泵的抽速非常大,DIP系列扩散泵抽速为3000-50000 l/s。LEYBOJET集成了额外喷射级,以实现中真空范围内大的气载和稳定抽速。
德国莱宝DIP 20.000 油扩散真空泵维修
莱宝DIP20000油扩散泵主要技术参数:
抽速:20 000L/S
极限全压强:< 5.0 x 10-7mbar
蒸汽流真空泵的工作原理
扩散泵的运行倚赖于泵油蒸汽,其主要部件有:
- 含有进气口和排气口的冷却泵体
- 喷嘴系统
- 泵油锅
扩散泵工作时,油锅内泵油被加热至气化,油蒸汽被强迫通过泵内喷嘴系统。喷嘴的设计能将蒸汽加速至大于音速(拉瓦尔喷嘴),于是形成高速蒸汽喷射流,并被喷嘴以特定角度喷向泵体。蒸汽接触冷泵体后,冷凝成液态泵油流回油锅。扩散泵和其它类型的蒸汽流真空泵的抽气能力主要基于蒸汽喷射流对气体的传输能力。被抽气体在排气口被充分压缩后由前级泵抽出。
德国莱宝DIP 20.000 油扩散真空泵维修
油扩散泵
与其它的类型的蒸汽流真空泵相比,油锅内和蒸汽射流中的蒸汽密度是相当低的,因此气体分子几乎可以全部扩散进入蒸汽射流中,而其中的绝大部分分子会被抽出。
扩散泵的抽速(与进气口面积相关)高而恒定, 在进气压强约为10-3mbar(0.75×10-3Torr)至很低压强范围内,蒸汽射流不受真空室内压强变化的影响。
油扩散泵的工作
前级真空
在任何情况下,扩散泵都需配足够大小的前级泵(见技术数据),前级真空泵的规格和类型取决于工作条件和所抽气体量。
1.在10-4 mbar(0.75 x 10-4托)以上连续工作 — 抽大量气体。
2.在10-4 mbar(0.75 x 10-4托)以下连续工作 — 抽较少量气体。
使用扩散泵时,真空室必须通过阀(3)和粗抽线直接连到前级泵。先用前级泵
将真空室抽低至扩散泵能正常切入的压强,如扩散泵已准备完毕,可打开高真
空阀(4)开始。真空室破**,必须关闭前级真空阀(2)和高真空阀(4),扩散泵维持在备用状态。
抽速
任何一种泵的抽速都是指通过泵吸的体积流量。对于扩散泵来说对轻气体抽速比重气体抽速大。
泵油返流
某些油分子脱离蒸汽喷射流且未能被冷却的泵体捕集时,就可能发生不希望的返流现象。油分子之间的碰撞和泵体的反射,使其可能向真空室方向运动。
DIP扩散泵的返油率仅为每分钟每cm2进气口面积几μg,加水冷帽或冷阱捕集后,几乎可完全消除油返流。
扩散泵的返油率
- 无水冷帽和冷阱
约 1 x 10-2 mg x cm-2 x min-1
- 加有水冷帽
约 1 x 10-3 mg x cm-2 x min-1
- 加有冷阱
(T = 10 °C (50 °F))
约 1 x 10-5 mg x cm-2 x min-1
以上数据是在进口压强<1×10-4 mbar以及LVO500条件下测定的。
可达到的极限压强
真空系统可达到的极限压强不仅与扩散泵型号和额定抽速有关,还与泵油蒸汽压、冷阱的形状和温度、连接法兰或焊接点的泄漏以及真空室内表面状况有关。
在消除了因泄漏和腔体内壁脏造成的放气影响后,它将能达到“概述”一节所给“油扩散泵(DIP)可达到的极限压强”表中所述值。
实际上,以下组合对于实现无返油的高真空有很好的效果。
- 集成了水冷帽的扩散泵加配星形冷阱,水冷星形冷阱安装在扩散泵高真空法兰上。
密封方式
对10-8 mbar (0.75 x 10-8 Torr)的极限压强要求,烘烤温度150 °C (302 °F)已足够。须使用FPM ( FPM=氟橡胶,可耐150 °C (302 °F) 温度 ) 密封圈或铝制**级密封环。
为防止压强的变化,扩散泵与冷阱之间必须使用**级密封环。
**10-8 mbar(0.75 x 10-8 Torr)的极限压强则要求烘烤温度高达400 °C ( 752 °F )。
实际上只须将真空室烘烤到400°C (752°F),而在冷阱上维持一个温度梯度,使泵法兰不**过150 °C (302 °F)。
在这种条件下,允许使用FPM密封环或铝制**级密封环。
莱宝DIP120000、DIP20000、DIP30000莱宝扩散泵泵维修保养。莱宝扩散泵上门检漏保养。
冷却
冷却进水温度不应**过25 °C (77 °F),出水不应大于30 °C (86 °F),否则不能保证泵油充分冷凝。当串联泵和冷阱的冷却水回路时,必须使冷却水首先流过冷阱然后再流过扩散泵,因为真空室可
达到的极限压强在很大程度上取决于冷阱上泵油的冷凝温度。
DIP系列泵是为工业系统使用而开发的。的真空性能与这种泵固有的机械耐用性相结合,使莱宝的扩散泵成为高和中真空领域的可靠设备。
适合应用特点的DRYVAC版本说明
莱宝DRYVAC DV和DV S对100mbar至大气压段的抽速进行了优化。因此DV和DVS型适合快速抽空应用(如进样室),或大腔室抽空。
莱宝DRYVAC DV C型在恶劣用途可以提供较高可靠性,其优化的性能适合光电和平板显示生产工艺常用的工艺气体。莱宝DRYVAC DV C型对氢气具有高抽速,并且由于集成了吹扫气系统,对于粉尘不敏感。
莱宝DRYVAC的主要特点:设计紧凑、易于布置成水平流的泵组。莱宝DV650比市场上同级别产品的功耗低30%。
莱宝DRYVAC平台的所有版本可提供不同类型的配置:对于DRYVAC -r,泵的变频器外置,可集成于外部电气柜内;对于其他泵型,变频器集成在泵上。DRYVAC-i型配置了带有触屏显示器和软件用户界面的PLC,使得操作和配置较加简单。S-i型标配Profibus或24V I/O接口(可根据要求提供其他接口)与系统对接。另外,S-i型安置在有脚轮、高度可调地脚和Harting插座/插头的完整外壳内。
DRYVAC DV450和DV650是单台螺杆泵,DV1200则配备了两个并联运行的螺杆泵。
DRYVAC DVR5000 C-i是DRYVAC -i的版本。该工艺泵由DRYVAC DV650 C螺杆泵和RUVAC WH 2500罗茨泵组成,整体进行了集成控制。与螺杆泵一样,WH 2500也是由变频器操纵和控制(Max. 100Hz)。泵组对氮气的有效抽速约为3800立方米/小时。
莱宝DRYVAC系列干式螺杆泵设计特点
- 创新式水冷(莱宝*有),泵温低
- 完全密封的螺杆和罗茨泵,只与外部形成静密封
- 机械和电气集成简单
- 通过监视运行温度、排气压力和电流消耗提供集成保护功能
- 占地面积小
- 能耗低,归功于优化的转子线形以及符合IE2 效率等级要求的创新电机设计
- 适用电压和频率范围大:380 -480V,50/ 60Hz
- NRTL认证
- 符合RoHS德国莱宝干式螺杆真空泵DV1200维修
莱宝DRYVAC DV系列干式螺杆泵与莱宝SCREWLINE SP系列设计主要设计不同点在于莱宝DRYVAC为螺杆两端轴承支撑,SCREWLINE为单侧轴承支撑(悬臂支撑)设计
客户得益
- 紧凑的螺杆干泵,占用空间小
- 系统集成灵活性非常高
- 噪音低
- 可靠性高
- 集成的自我功能
- 无意外停机,维护要求低
莱宝DRYVAC DV系列干式螺杆泵典型应用德国莱宝干式螺杆真空泵DV1200维修
- 太阳能镀膜(SiN、ZnO、a-Si/μ-Si、CdTe、CIS/CIGS等)
- 进样室
- 拉单晶/多晶硅铸锭
- 显示器和玻璃镀膜
- 耐磨涂层镀膜
- 带钢镀膜
- 工业炉
- 冶金
- 真空干燥
工作原理
TRIVAC® C泵是油封旋片泵,驱动电机与泵主体直接用法兰连接,泵与电机的轴由弹性联轴器直接连接,在联轴器上装有风扇,通过冷却缝隙使联轴器周围即使在较端的条件下仍保持较低的温度,所有轴承均为油润滑的滑动轴承。
泵主体由用O 形圈密封的部件组装而成,所有部件均用定位销联接以便于拆卸,泵体很易卸下且不需要工具。
转子(1/2)偏心地装在泵体(1/1)内,由三个径向滑动的旋片(1/6)将泵腔分隔成数个空间,每个空间的容积随着转子的旋转而周期性地变化。
气体从进气口(1/7)被吸入,通过滤网(1/6)和开启的防返油阀(1/ 5)进入泵腔,在泵腔中,气体被传送,当处被旋片封闭后气体被传送和压缩,在(1/15 )处,油被吸入泵腔中;一方面,它起到泵壁与旋片端面间的密封与润滑作用,另一方面还起到旋片(1/16 )在转子(1/2) 中的密封与润滑作用。
DRYVAC是采用了新技术的干式螺杆真空泵,它根据具体应用可提供各种功能。DRYVAC系列在开发时考虑了光电行业、平板显示和加工工业市场的要求。泵为水冷,结构紧凑并且易于与系统组合,特别是与业经考验的RUVAC WH(U)、WS(U)和WA(U)系列罗茨泵实现组合。
DRYVAC是莱宝公司干式压缩螺杆真空泵品种中的一个新的系列,它根据具体应用可提供各种功能。莱宝DRYVAC系列在开发时考虑了光电行业、平板显示和加工工业市场的要求。所有DRYVAC泵型都采用水冷,非常紧凑的外形并且易于与系统组合,尤其是与业经考验的莱宝RUVAC WH(U)、WS(U)和WA(U)系列罗茨泵实现组合。
莱宝DRYVAC螺杆原理的优点
由于气体在螺杆泵内的气路短而简单,因此螺杆真空泵对所抽异物相当不敏感。这确保了在工业应用条件下较长的系统正常运行时间。
从泵到其排气口之间直而短的气路缩短了气体停留时间,因此减少了泵内潜在沉积物。通过采用吹扫气(例如气镇),可有效除去沉积物、颗粒和冷凝液。
与莱宝螺杆真空泵SP系列一样,DRYVAC的开发也是用于高要求的应用。此外DRYVAC的应用范围较是扩展到光电和平板显示的生产工艺。
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