磁控溅射工艺具备以下特点: 1、沉积速率大。由于采用高速磁控电极,可获得的离子流很大,有效提高了此工艺镀膜过程的沉积速率和溅射速率。与其它溅射镀膜工艺相比,磁控溅射的产能高、产量大、于各类工业生产中得到普遍应用。 2、功率效率高。磁控溅射靶一般选择200V-1000V范围之内的电压,通常为600V,因为600V的电压刚好处在功率效率的较高有效范围之内。 3、溅射能量低。磁控靶电压施加较低,磁场将等离子体约束在阴极附近,可防止较高能量的带电粒子入射到基材上。 4、基片温度低。可利用阳极导走放电时产生的电子,而不必借助基材支架接地来完成,可以有效减少电子轰击基材,因而基材的温度较低,淮安磁控镀膜机生产厂家,非常适合一些不太耐高温的塑料基材镀膜。膜层的附着力、重复性,淮安磁控镀膜机生产厂家、致密度,淮安磁控镀膜机生产厂家、均匀性好,具有产量大,产品良率高等特点。淮安磁控镀膜机生产厂家
中优良的设备特点,设备稳定性一定要好,选用的配件一定要可靠,镀膜机本身是一个复杂的系统,包括真空,自动化,机械等多个系统,任何一个部件的不可靠,都会造成系统的不稳定,会给生产带来不便,所以,一台稳定的设备,要保证选用的每一个部件都是可靠的,很多人在购买镀膜机时,很自然的会比较,一台100万的镀膜机和一台200万的镀膜机在基本配置上可能不会有非常大的区别,可是正是对一些微小的细节的掌握,才成就了一台性能稳定的镀膜机,较简单的一句话:一分钱一分货。看看同行业的有名的公司都在选用哪个公司的镀膜机,这无疑是风险较小的一种选择方式,除了有名的公司,也包括一些质量非常稳定,声誉很好的中小型公司,通过朋友,了解一下他们都在用哪个公司的设备,如果你要和这些公司竞争,选择一台至少不能比他差的镀膜机,这是基本,然后聘用有经验的镀膜师傅,这样你的产品就会很快的打开销路。安徽磁控镀膜机排名溅射出来的原子具有一定的能量,它们可以重新沉积凝聚在固体基片表面上形成薄膜,称为溅射镀膜。
镀制好的基片从真空室内输送到大气中后, 一般还要经过清洗及检测。清洗的要求没有前处理那么严格。目的是使膜层的缺陷更容易暴露出来, 以便在后续的检测中被发现。较简单的检测就是目测, 为便于观察, 基片的底部分布有光源, 可以发现针洞的存在和数量, 有无放电的痕迹。出线端的透过率检测仪可以指出膜层之后的透过率。也可以在基片范围内布置多道探头, 采集数据由计算机处理来评估膜层的纵向和横向的均匀性及有无异常。对于特殊用途的光学薄膜出线后即进入净化室, 覆上一层保护用的带胶薄膜后存放。
磁控溅射镀膜的适用范围: 1、建材及民用工业中 2、在铝合金制品装饰中的应用 3、优良产品零/部件表面的装饰镀中的应用 4、在不锈钢刀片涂层技术中的应用 5、在玻璃深加工产业中的应用 磁控溅射镀膜注意事项: 1、辐射:有些镀膜要用到射频电源,如功率大,需做好屏蔽处理。另外,欧洲标准在单室镀膜机门框四周嵌装金属线屏蔽辐射; 2、金属污染:镀膜材料有些(如铬、铟、铝)是对人体有害的,特别要注意真空室清理过程中出现的粉尘污染; 3、噪音污染:如特别是一些大的镀膜设备,机械真空泵噪音很大,可以把泵隔离在墙外; 4、光污染:离子镀膜过程中,气体电离发出强光,不宜透过观察窗久看。由于采用高速磁控电极,可获得的离子流很大,有效提高了此工艺镀膜过程的沉积速率和溅射速率。
间冷式的适合于气密性较差的靶材, 功率要小一些。靶内磁体目前更多采用的是钕铁硼永磁体, 只要保证磁场的均匀, 再在工作气体的布气装置上采用合理的方式, 在整个靶面的区域内, 实践证明均能获得均匀的溅射刻蚀。这是膜层横向均匀性的重要保证。考虑到靶的两端所产生的边缘效应, 为使基片的两端也获得与中间部分相同的膜厚, 靶的两端要伸出基片边缘足够的长度。高真空的背景是溅射沉积的必要条件, 所以溅射室对称设置有高真空机组。目前采用的大多是扩散泵机组。进口设备中, 配置涡轮分子泵的, 但维修麻烦, 更换轴承需由厂家进行;配置扩散泵的还加有液氮冷阱, 这样有更好的挡油效果, 但维持费用高。这种泵用于进片室可以免油蒸汽对基片的污染, 并可防止活性气体周期性的混入镀膜室内。磁控溅射工艺包括了光学设计、彩色膜、耐磨涂层、纳米层压板、超晶格镀膜、绝缘膜等。淮安磁控镀膜机生产厂家
如眼镜、手表、手机配件、电子产品、水晶玻璃等。淮安磁控镀膜机生产厂家
磁控溅射镀膜的产品特点: 1、磁控溅射所利用的环状磁场迫使二次电子跳栏式地沿着环状磁场转圈。相应地,环状磁场控制的区域是等离子体密度较高的部位。在磁控溅射时,可以看见溅射气体——氩气在这部位发出强烈的淡蓝色辉光,形成一个光环。处于光环下的靶材是被离子轰击较严重的部位,会溅射出一条环状的沟槽。环状磁场是电子运动的轨道,环状的辉光和沟槽将其形象地表现了出来。磁控溅射靶的溅射沟槽一旦穿透靶材,就会导致整块靶材报废,所以靶材的利用率不高,一般低于40%; 2、等离子体不稳定; 3、不能实现强磁性材料的低温高速溅射,因为几乎所有的磁通都通不过磁性靶子,所以在靶面附近不能加外加强磁场。淮安磁控镀膜机生产厂家
无锡光润真空科技有限公司致力于机械及行业设备,以科技创新实现高品质管理的追求。公司自创立以来,投身于真空镀膜机,PVD设备,卷绕镀膜机,磁控镀膜机,是机械及行业设备的主力军。光润真空致力于把技术上的创新展现成对用户产品上的贴心,为用户带来良好体验。光润真空创始人詹大光,始终关注客户,创新科技,竭诚为客户提供良好的服务。
无锡光润真空科技有限公司(简称“光润真空”)是从事研发、设计、销售、制造、服务真空镀膜设备于一体的综合性科技公司。 光润真空技术团队具有20多年从事真空技术应用设备研制、工艺开发的深厚资历,在与国际国内外一等研发机构合作的基础上,公司开发的硬质镀膜设备、卷绕镀膜设备以及光学镀膜设备等在国内处于水平。公司产品覆盖蒸发镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、多弧离子真空镀膜设备、DLC和硬质膜层设备等。相关产品在国内有很强的市场影响力,也出口巴基斯坦、越南、印度、印尼、韩国、泰国、法国、土耳其、巴西等地。 光润真空建立有镀膜膜层研究实验室,具有各种类型装饰膜层以及功能性膜层应用领域的研发能力。研究实验室拥有膜层应用领域实验设备及各种技术性能参数检测设备,是国内为数不多的能包工艺的真空镀膜制造生产公司。 光润真空拥有完善的生产制造体系,在完成产品设计后,从零件的生产制造到全套设备的总装、调试,产品生产的每一个环节均受到公司质量管理系统的监控,从而保证了产品的整体高质量。 公司坚持“表面处理整体解决供应商”的经营战略,推行“诚信、创新、环保”的经