东莞**色散光谱共焦传感器

测量多层的光谱共焦传感器：一种非常适合光谱共焦传感器的应用是测量多层透明材料的厚度。与其他测量方法不同，光谱共焦传感器在测量这种物体时，仅需要一支探头就可以完成测量。测量被测物体**面和后端面的反射光，从而得到层厚信息。

光谱共焦传感器是区别于普通传感器的。比如说：光谱共焦的精度比普通激光位移传感器的精度要高很多，光谱共焦的基本是纳米级的精度，而普通激光的高也是微米级的。但是光谱共焦的量程却远远小于普通激光位移传感器。

光谱共焦传感器的测量光斑尺寸  共聚焦效应关键的就是将反射光聚焦到针孔上，然后光感应器件接收透过针孔的光信号解析位移测量值，整个光学原理决定着测量光斑越小，系统分辨率和精度越高。欧系传感器的测量光斑都会做到对应量程的小，而日系和国产传感器因为收光能力弱，系统稳定性差，只能刻意放大测量光斑尺寸，以至于导致传感器精度严重下降，但是从分辨率上不会明显显现，其实把传感器的测量光斑做的**大就像把传感器做成了“智障”。另外，传感器的横向分辨率是测量光斑的一半，测量光斑大小会决定了传感器的横向分辨率，比如测量一个0.1mm的边沿，测量光斑小的传感器可以轻松测量到，测量光斑过大的传感器完全无法测量微小的区域。ERT光谱共焦位移传感器测量光斑基本在10-20um

光谱共焦传感器采值是在移动平均的数值
光谱共焦技术对于位移测量的稳定性远远**传统的激光位移传感器，所以的光谱共焦位移传感器输出测量值时是不加任何的移动平均的，多数低端光谱共焦位移传感器因为自身稳定性差，都需要加1024次甚至较高的移动平均来让测量数据稳定下来。移动平均大的问题就是在运动测量中让测量数据完全偏离被测表面真实形状。ERT光谱共焦位移传感器正常模式下均采用无移动平均模式测量。

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