目前,市场上存在大量已经溅射过的废旧高纯镍铬合金靶材,为了变废为宝,地利用现有资源,将废旧镍铬合金靶材作为原材料全返回真空冶炼,可大大降低生产成本,增强产品的竞争力
在长度,横截面积一定时,温度越低,镍铬合金的电阻越大,这与一般的规律是相反的
Ni-Cr系合金的微观组织和微区成分对热处理工艺较为敏感,在1000~1200℃的范围内,BCC相中Ni元素的原子含量从5%变为30%。提出了适宜的均匀化热处理工艺,以便获得组织和成分比较均匀的高品质Ni-Cr系合金靶材。
当Ni元素的原子含量在20%70%时,均匀化热处理在1200-1300℃之间比较适宜,而均匀化退火时间随退火温度的选取高低而不同,在2~24h的范围内变动。基于随机级联碰撞理论和蒙特卡洛方法,对离子束溅射中入射离子与M-Cr系合金靶材固体之间的相互作用进行模拟的结果表明,由于Ni和Cr的原子表面能较为接近,M-Cr系合金靶材的溅射产物成分与靶材成分不发生明显偏差,有利于靶材成分的选择和薄膜成分的控制
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