真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
泵的抽气速率单位是m3/s或l/s,是指泵装有标准试 验罩,并按规定条件工作时,从试验罩 流过的气体流量与在试验罩位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。
真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
piCOMPACT®系列真空发生器
采用紧凑型或“一体式”设计,具有集成控制装置。其可堆叠式平台特性还支持用户在同一歧管上安装多个单元—使用同一套气动和电气连接系统。这类泵不仅在研发阶段始终着眼于重要的“关键指标”,即运行可靠性和发生速率,而且还引入了一系列引人注目的新特性/功能。结合我们的COAX®真空发生管技术,产品了实现**的性能。COAX®真空发生管进气压力低,压缩空气利用率高,因此大幅降低了生产能耗,同时提高了生产效率和可靠性。与单级真空发生器相比,对50-60 -kPa的真空响应速度一般0-50%。
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