三维轮廓仪在优化光路结构基础上,采用高精度的调整平台来解决这一问题,其调节精度达到亚微米量级,有效调节被测件的三维倾斜和轴向位移,为干涉成像提供保证。 (2) 干涉条纹定域区间优选和移相精度校准 由于干涉波列长度的减小,不仅使成像面干涉条纹数减少,还使干涉条纹对比度随光程差而迅速衰减,这就给从干涉条纹变化中解调相位信息带来了困难。
三维轮廓仪
ERT作为三维表面测量与测量业界的不断探索者,提供从微观到航空发动机内腔各部件等不同大小样品的非接触式测量分析。历经数多年的努力,在原有*特技术的基础上,不断积累创新,来保证面对各种应用环境时三维测量所需的高灵敏度和稳定性;而这一挑战往往是其他测量技术或测量系统难以克服的。ERT能够提供工业上功能强大新型的图形用户界面。智能便捷的操作架构,直观的可视化工作流和广泛的用户定义的自动化能力的结合,使得用户能够快速有效的收集和分析数据。可自动生成用户需要的的结果报告。这些新特性让的表面测量报告与广泛的行业标准相兼容。
ERT测量系统在业界一直以服务着称,在性能稳定性上一贯口碑良好。从研究型实验室到生产型车间和半导体无尘间,数以几千计的系统被广泛使用。作为为质量控制和研发设计的测量仪器,可用于精密加工制造类应用的测量,在手机、汽车、航空航天、太阳能、半导体和器械领域,ERT总有一款适合您应用和与预算的光学测量系统。
ERT的表面测量与检测
便携式三维轮廓测量仪
仪器设备的基本技术参数
● 型号:MS100
● XY轴行程:100mm x 100mm
● Z轴行程:100mm
● Z轴量程:4mm(可选配50nm-24mm)
● 光斑直径:8um(可根据光笔不同型号选择,小可小于2um)
● XY轴分辨率:50nm
● XY轴平面度:<2um
● XY轴重复定位精度:0.5um
● Z轴线性度:0.01%F.S
● Z轴分辨率:0.13um(根据不同型号光笔小为14nm)
● XY轴大扫描速度:20mm/s
● 样品可测大倾角:漫反射表面大87度
● 适用范围:任何材质表面,尤其对玻璃、镜面、高光表面均可进行稳定测试
功能与应用
● 产品表面段差、高度、宽度、平面度测量
● 多层透明体厚度测量
● 2D轮廓/3D微观形貌扫描分析
● 2D/3D粗糙度测量
● 可配合产线定制非标自动化检测方案等
三维轮廓仪的应用领域:
工业精密制造领域:
• 食品安全在线检测
• 微电子集成电路表面形貌在线检测
• 印刷电路板品质检测
• 零件器件表面划痕损伤检测
• 微机械精加工质量控制,如钟表,微机械器件等
• 电子产品零件在线,如手机,笔记本电脑,平板等
• 微流体器件三维形貌检测
航空航天精密部件的检测精密管控测量
• 在线检测设备集成
• 防伪,安检科研:
• MEMS器件
• 微机械零件表面形貌观察和测量
• 微光学器件(太赫兹、红外、微波、天线阵列)三维形貌表征
• 生命科学:生物组织/生物体的 三维形貌测量
• 侦查取证:表面划痕观察,微小证据三维形貌快速表征
三维轮廓仪具体研究成果体现在以下几个方面: (1) 短相干光干涉条纹的定位技术 LED短相干光与激光相比具有较短的干涉波列长度,消除了干涉显微系统中难以避免的激光散斑干扰,提高了成像质量。但干涉波列长度的减短导致获取干涉条纹遇到困难,要求被测表面的定位精度必须接近1微米。
东莞市蓝海精密检测设备科技有限公司专业从事工业自动化生产线上高精密检测设备的研发、生产、销售、服务及产业生态圈建设维护等业务。在劳动力日益紧张的今天,我们为企业实现机器换人提供专业集成解决方案。 强大的工业制造依赖于三个领域:一是新型材料;二是精密制造;三是精密检测。中国制造2025目标的实现离不开精密检测产业的发展,我们致力于成为中国**的精密光学检测解决方案集成商,推动中国精密光学检测行业向较高较精密方向发展。白光同轴光谱共焦技术,将精密光学的在线检测精度带入纳米级领域,以满足高精度、高标准、高效率的现代化科技需求,促进工业多领域产品的迭代和改革。我们坚持以市场为导向,技术服务为**,发现并解决顾客痛点,以标准产品和个性化联合研发定制解决方案相结合的产品组合满足不同领域的客户需求。 蓝海人坚持“专注协作,知行合一”的经营理念,与中国制造一同扬帆远航,屹立于世界制造之林。 蓝海精密目前提供2D轮廓分析仪、3D轮廓检测仪、粗糙度分析仪、中板高度段差检测机、阳极膜厚度检测机、曲面盖板玻璃平整度及弧度检测机、多层镜头厚度检测机、防水层厚度检测机、后盖板平整度及内腔高度检测机、手机精密五金件检测机等多种设备