管式炉主要运用于冶金,玻璃,热处理,锂电正负极材料,新能源,磨具等行业,测定材料在一定气温条件下的设备。炉型结构简单,操作容易,便于控制,能连续生产。
管式炉均系采用**技术研制开发的**高节能的新型电炉,有、双管、卧式、可开启式、立式、单温区、双温区、三温区等多种管式炉型。主要应用于大专院校、科研院所、工矿企业等实验和小批量生产之用。具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可选配气氛、抽真空炉型等。
炉体结构:
1.采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使表面温度**70℃(参考值,详情请点击)
2.设备中配有2个氧化铝管堵,设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端(保证恒温区和密封圈的密封性)(点击图片查看详细资料)
3.高纯氧化铝纤维作为炉膛材料(表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率延长炉膛使用寿命)
4.该炉可作为退火或扩散炉,大可用于8”晶片放在对应石英舟中
加热元件:掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层,可以较大程度延长使用寿命)
是一种实验室设备,适用于金属,纳米,单晶硅,多晶硅,电池等的扩散焊接以及真空下的气体保护下,在真空或气氛状态下烧结各种新材料样品。采用**技术,开发研制的节能环保电炉,管式炉有单管、双管、卧式、可开启式管式实验电炉。如要通各种气体也可以也可配备气体控制柜。
管式炉适用于工矿企业、大专院校,科研院所及实验室作真空或气氛状态下烧结各种新材料样品用。
PECVD系统 等离子体化学气相沉积系统
窗体底端
PECVD系统
PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子体增强化学气相沉积法。
本设备是借助射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。
本设备主要由管式加热炉体,真空系统,质子流量供气系统,射频等离子源,石英反应腔室等部件组成。
主要特点:
1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度较低。
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于:各种薄膜的生长,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。
供应管式炉可配高低真空系统
产品用途:主要用于稀土制备、电子照明、晶体退火、生物陶瓷、电子陶瓷、特种合金、磁性材料、精密铸造、金属热处理等行业进行真空烧结、气氛保护烧结、真空镀膜、CVD实验、物质成分测量等场合。
控制方式
模糊PID控制和自整定调节功能;智能化30段可编程控制。
密封方式不锈钢密封法兰。(包括针型阀、指针式真空压力表、软管接头)
控温精度±1℃
工作温度温度1200℃,连续工作温度≤1100℃
可充气氛氮气、氩气及其它惰性气体;通纯氢需配置自动点火装置(另购)
操作安全开门断电、**温报警、漏电保护功能
质量保证质保期1年,相关耗材除外,如加热元件易耗材等。
管式电炉特点
1、控制精度:±1℃ 炉温均匀度:±1℃(根据加热室大小而定) 。
2、微电脑控制,操作方便,可编程,自动升温、自动保温、自动降温。
3、炉管采用刚玉99陶瓷。
4、不锈钢金属法兰密封(双胶圈)
5、炉体经精致喷塑耐腐蚀耐酸碱,炉体与炉膛隔离采用风冷炉壁温度接近室温 6、双回路保护(**温、**压、**流、段偶、断电等)
7、进口耐火材料,保温性能好,耐温高
8、真空表真空度 0至负0.1Mpa
9、电炉可通多种气体(氧气、氮气、氩气、氢气等)
10、温度类别:1000℃ 1400℃ 1600℃ 1700℃ 四种
11、本产品采用可靠的集成化电路,工作环境好,抗干扰
河南奥菲达仪器设备有限公司是一家集研制、开发、生产和销售为一体的专业生产企业,主营:马弗炉、管式炉,高温炉、真空管式炉 气氛管式炉 箱式气氛炉 陶瓷纤维马弗炉 熔块炉 非标高温炉 氧化锆烧结炉 硅碳棒烧结炉总部位于中国郑州,公司现有研发人员100多人,其中具有博士学位的5人,研究生20余人,具有中级以上职称40多人。 公司拥有专业的技术生产,高科技的设备,高素质的人才,开启了公司销售业绩一次一次的增长。在经营过程中以优良的职业道德、商业信誉、高质量的产品、完善的售后服务赢得了广大用户的信赖和支持。 公司产品遍布于大专院校、科研单位、生物/化工/制药、医疗、检验、**、食品、饮料、超市、冶金矿山、石油勘探等各行各业,产品以其**的性能,快捷周到的售后服务,物**所值的价格,**全国几十个省、市,并**世界各地,受到国内外客商的**。在生产过程中严格执行产品制造要求,建立了一套完整的质量管理体系,使产品质量具有可靠的保证。已**ISO9001:2000**质量管理体系认证。 在生产和销售过程中,我们秉承“创新、专业、高质”的质量方针,一直致力于产品的研发创新;在功能设计、能量数据、用料选择、安全性能等每一个过程都严格要求,在人员配置上,公司拥有专业的技术服务人员、工程师、售后服务人员,形成一支高素质较富团队创新精神的队伍。公司奉行“客户满意是人较大的收获”的服务观,积极研制开发新产品、结交新客户,竭诚为客户提供优质的产品和较快捷的服务。欢迎国内外新老客户光临,互利互惠、携手并进!