许昌三维轮廓仪

表面三维微观形貌测量意义
      在生产中，表面三维微观形貌对工程零件的许多技术性能的评价具有直接的影响，而且表面三维评定参数由于能较全面、较真实地反映零件表面的特征及衡量表面的质量而越来越受到重视，因此表面三维微观形貌的测量就越显重要。通过对三维形貌的测量可以比较全面地评定表面质量的优劣，进而确认加工方法的好坏及设计要求的合理性，这样就可以反过来通过加工、优化加工工艺以加工出高质量的表面，确保零件使用功能的实现。
 
       表面三维微观形貌的测量方法非常丰富，通常可分为接触式和非接触式两种，其中以非接触式测量方法为主。
下面介绍其中一种近年来**上研究比较多的、发展也相对比较成熟的技术：扫描白光干涉法测量表面三维微观形貌技术。


白光干涉扫描原理


      在利用白光干涉测量表面三维形貌的过程中，对于被测表面上某一点来说，为了定位其零光程差位置，必须采用某种扫描方式改变参考镜或者被测表面的位置，以此来获得该点光强变化的离散数据，然后依据白光干涉的典型特征来判别并提取佳干涉位置。因此称这种方法为扫描白光干涉测量法。


      光学系统可采用基本的Michelson式干涉仪结构，只是在参考镜后安装有微驱动装置．而被测表面代替了另一个反射镜。测量时通过计算机控制徽驱动装置的进给带动参考镜的进给，这样被测样本表面的不同高度平面就会逐渐进入干涉区，如果在充足的扫描范围内进给，被测样本表面的整个高度范围都可以通过佳干涉位置。将每步的干涉图样由图像传感器(CCD摄像头)采集，视频信号通过图像采集卡转换成数字信号并存储于计算机内存中，利用与被测面对应的各像素点相关的干涉数据，基于白光干涉的典型特征，通过采用某种佳干涉位置识别算法对干涉图样数据进行分析处理，提取出特征点位置（佳干涉位置J，进而就很容易得到各像素点的相对高度，这样便实现了对三维形貌的测量。

蓝海精密*的三维表面轮廓仪的表面测量系统适用于研发和生产过程控制中的定性和定量测量，其**部件达到纳米尺度的创新的光学设计，其强大且友好的软件控制使所需获得的数据不仅速度快，而且精度高，并提供了多种不同的表面分析方法，与系统匹配的软件包含参数设定(如扫描尺寸、线数、步进、转换台速度、数据采样速度)和数据后处理功能(如Abbott-Firestone曲线、快速傅立叶变换、自相关功能、三维成像、二维切片成像等) ，可以定量地测量表面粗糙度及关键尺寸，诸如晶粒、膜厚、孔洞深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等，并计算关键部位的面积和体积等参数。 
该仪器采用白光轴向色差原理（性能**白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪）对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量，测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌，台阶高度，给MEMS、半导体材料、太阳能电池、膜厚、光学元件、陶瓷和材料的研发和生产提供了一个的、价格合理的计量方案。

三维轮廓仪背测式载物台设计和两种测量模式的开发 在应用光机电算集成化技术的基础上，本作品的载物台采用背测式结构，即载物台位于被测表面与物镜之间，物镜通过载物台通光孔检测样品表面形貌信息。同类仪器采用试件非工作面定位测量方式，这种方式存在重复性差、稳定性低的难题。本作品不仅克服了以上难题，而且打破了对被测样品横向尺寸的限制。采用正置测量模式时，完成小口径元件的检测；采用倒置模式时，完成大口径元件的检测。

三维轮廓仪移相算法的优化和软件系统的开发 本作品采用重叠平均移相干涉算法，保证了亚纳米量级的测量精度；采用自主开发的软件，完成对PZT相移系统和CCD采集系统的控制，以及检测数据的分析处理；优化软件控制系统，使每次检测时间压缩到10秒钟以内，同时完善的数据评价系统为用户评价产品面形质量提供了方便。

东莞市蓝海精密检测设备科技有限公司专业从事工业自动化生产线上高精密检测设备的研发、生产、销售、服务及产业生态圈建设维护等业务。在劳动力日益紧张的今天，我们为企业实现机器换人提供专业集成解决方案。 强大的工业制造依赖于三个领域：一是新型材料；二是精密制造；三是精密检测。中国制造2025目标的实现离不开精密检测产业的发展，我们致力于成为中国**的精密光学检测解决方案集成商，推动中国精密光学检测行业向较高较精密方向发展。白光同轴光谱共焦技术，将精密光学的在线检测精度带入纳米级领域，以满足高精度、高标准、高效率的现代化科技需求，促进工业多领域产品的迭代和改革。我们坚持以市场为导向，技术服务为**，发现并解决顾客痛点，以标准产品和个性化联合研发定制解决方案相结合的产品组合满足不同领域的客户需求。 蓝海人坚持“专注协作，知行合一”的经营理念，与中国制造一同扬帆远航，屹立于世界制造之林。 蓝海精密目前提供2D轮廓分析仪、3D轮廓检测仪、粗糙度分析仪、中板高度段差检测机、阳极膜厚度检测机、曲面盖板玻璃平整度及弧度检测机、多层镜头厚度检测机、防水层厚度检测机、后盖板平整度及内腔高度检测机、手机精密五金件检测机等多种设备