氮化钽贮存
1、通常对水是不危害的,若无许可,勿将材料排入周围环境。
2、常温常压下稳定避免的物料 氧化物。
3、常温密闭,阴凉通风干燥处
氮化钽靶材合成
1、将金属钽粉用氮气或氨气在1100℃左右直接氮化制得;
2、以金属钽和氮气为原料制备氮化钽,反应式如下:2Ta+N2=2TaN。
用作超硬质材料添加剂,可制备纯的五氯化钽:用于喷涂,增加变压器、集成线路、二极管的电稳定性
利用磁控反应溅射技术制备了氮化钽薄膜,利用TEM、XRD技术研究了薄膜的微观结构。研究结果表明:薄膜中多相共存;薄膜晶粒细小(16nm左右);同时还发现,在一定工作压力下,随着氮分压的提高,氮化物晶粒形成的取向改变,即平行于基体表面生长的晶面会有改变。
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