真空钼丝炉 VMSF系列 钼丝炉
用途:
本设备适用于各种金属材料及其合金、非金属材料在高真空,高温条件下进行烧结、退火、钎焊、除气处理。也适用于对烧结环境有洁净要求的材料的热处理,例如石英材料的脱羟处理。本电炉蕞高温度可达1600℃。
结构:
根据客户要求及加热区尺寸不同,本公司生产的真空钼丝炉有立式,卧式,底装式等不同结构。钼丝为加热元件,全金属隔热反射屏保温。主要由炉身,炉盖,发热隔热屏,真空系统和电器控制柜等组成。炉身与炉盖均为水冷夹层结构。内壁为不锈钢,外壁为碳钢,炉身上装有热电偶测温孔。炉盖的升降采用凸轮偏转机构,炉衬采用金属隔热屏结构。炉盖顶部开有观察孔,可观察炉内工作情况。发热体用钼丝加工成之字形钼笼,周围由钼片或不锈钢片组成隔热屏的整体进行隔热。真空系统由油扩散泵,机械泵及真空阀门和管道等组成。电器控制系统由可控硅调压器,大电流变压器,温控仪表及相关电器元件组成。
特点:
1. 独有的加热元件布置结构,炉温均匀好,寿命长。
2. 独有的保温结构,节能性,长寿命。
3. 独有的一体化水、电联接结构,具有故障低,调试快。维护方便的特点。电路设有断水、过流、炉内超温及冷却水超温报警及保护功能。
4. 炉内设有充气超压防爆系统。
5. 人性化设计,合理配置。模拟操作界面及PLC适应生产需要,故障低,自动化程度高,是连续生产产品品质的保证。
VMSF系列 真空钼丝烧结炉
设备型号 VMSF15-16 VMSF30-16 VMSF25-16 VMSF40-16 VMSF50-16 VMSF80-16 VMSF100-16 VMSF150-16
加热尺寸 φ90×120 φ160×160 φ150×200 φ200×300 φ300×400 φ350×600 φ500×500 φ600×600
冷态真空 0.005 Pa 0.005 Pa 0.005 Pa 0.005 Pa 0.005 Pa 0.005 Pa 0.005 Pa 0.005 Pa
热态真空 0.05 Pa 0.05 Pa 0.05 Pa 0.05 Pa 0.05 Pa 0.05 Pa 0.05 Pa 0.05 Pa
蕞高温度 1600℃ 1600℃ 1600℃ 1600℃ 1600℃ 1600℃ 1600℃ 1600℃
使用温度 1550℃ 1550℃ 1550℃ 1550℃ 1550℃ 1550℃ 1550℃ 1550℃
功 率 15KW 30KW 25KW 40KW 50KW 80KW 100KW 150KW
电 压 三相380V 三相380V 三相380V 三相380V 三相380V 三相380V 三相380V 三相380V
加热元件 钼丝 钼丝 钼丝 钼丝 钼丝 钼丝 钼丝 钼丝
测温元件 铂铑热电偶 铂铑热电偶 铂铑热电偶 铂铑热电偶 铂铑热电偶 铂铑热电偶 铂铑热电偶 铂铑热电偶
压升率 ≤2Pa/h ≤2Pa/h ≤2Pa/h ≤2Pa/h ≤2Pa/h ≤2Pa/h ≤2Pa/h ≤2Pa/h
PECVD系统 等离子体化学气相沉积系统
窗体底端
PECVD系统
PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子体增强化学气相沉积法。
本设备是借助射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。
本设备主要由管式加热炉体,真空系统,质子流量供气系统,射频等离子源,石英反应腔室等部件组成。
主要特点:
1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于:各种薄膜的生长,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。
系统选型
项 目 推荐选型
管式加热炉体
石英反应腔室 根据需求选择不同直径的石英管作为反应室。有Φ40,Φ60,Φ80,Φ100,Φ120,Φ150等规格可选。
真空系统 根据需求选择不同真空效果的真空系统。有DZK10-1(极限真空0.1Pa),GZK10-3(极限真空0.001Pa),以及进口高真空机组(极限真空0.0001Pa)供选择。
质子流量供气系统 根据需求选择多路质子流量供气系统。有两路GQ-2Z,三路GQ-2Z,四路GQ-2Z,五路GQ-2Z或更多路供选择。
射频等离子源 根据需求选择强度不同的射频电源。有DLZ300(300W),DLZ500(500W)或更大功率的射频电源供选择。
常见PECVD系统组合 1. 1200度60滑轨式微型管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,300W射频电源
MXG1200-60S-SL,DZK10-1,GQ-4Z,DLZ300
2. 1200度60滑轨式管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,500W射频电源
MXG1200-60-SL,DZK10-1,GQ-4Z,DLZ500
3. 1200度60双温区滑轨式管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,500W射频电源
MXG1200-60II-SL,DZK10-1,GQ-4Z,DLZ500
4. 1200度60三温区滑轨式管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,500W射频电源
MXG1200-60III-SL,DZK10-1,GQ-4Z,DLZ500
5. 1200度60微型预热炉,1200度60滑轨式管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,500W射频电源
MXG1200-60S,MXG1200-60-SL,DZK10-1,GQ-4Z,DLZ500
卧式管道加热器
一、应用领域:
空气加热器主要是用来将所需要的空气流从初始温度加热到所需要的空气温度,可达850℃。已被广泛的应用到航空航天、兵器工业、化工工业和高等院校等许多科研生产试验室。特别适合于自动控温和大流量高温联合系统和附件试验。空气电加热器使用的范围宽:可以对任何气体加热,产生的热空气干燥无水份、不导电、不燃烧、不爆炸、无化学腐蚀性、无污染、安全可靠、被加热空间升温快(可控)。
二、技术特点:
1、能使空气加热到很高的的温度,可达850℃,壳体温度只有50℃左右。
2、效率高:可达0.9以上。
3、升温和降温速率块,可达10℃/S,调节快而稳定。不会出现所控空气温度超前和滞后现象而使温度控制漂移不定,很适合自动控制。
4、机械性能好:因为它的发热体为特制合金材料,所以在高压空气流的冲击下,它比任何发热体的机械性能和强度都好,这对于需要长时间连续不断对空气加温的系统和附件试验更具有优越性。
5、在不违反使用规程时,经久耐用,使用寿命长达十年。
6、空气洁净,体积小。
7、可根据用户的需要,设计多类型的空气电加热器。
三、规格型号:
单台功率从2KW~10000KW系列
(本产品可以更具客户要求定做,提供图纸,电压,功率,尺寸)
燃气导热油炉
燃气导热油炉的原理是是以重油.轻油或可燃液体为燃料.导热油为热载体.利用循环油泵强制液相循环.将热能输送给用热设备后.继而返回重新加热的直流式特种工业炉.可用于 ≤ 350oC 焙烘、蒸化、定型、溶融、干燥 。
陕西鑫昌实验仪器设备有限公司专注于销售低温系列,高温系列,高精度系列,超声波系列,光催化系列,光解水制氢系列等实验仪器。 主营业务产品: 低温恒温槽、温冰箱、冷冻干燥机、雪花制冰机、水浴恒温摇床、低温冷却液循环泵、无菌均质器、光化学反应仪、光解水制氢系统、超声波清洗机、超声波细胞粉碎机、高/低速离心机、紫外分析仪、培养箱干燥箱系列产品等。