PGE050 大气压至中真空真空计
INFICON 皮拉尼仪表增强型 050 (PGE050) 是主动对流增强型皮拉尼仪表 PGE300 和 PGE500 的被动版本。PEG050 采用相同的传感器技术,与 VGC031 和 VGC083 被动仪表控制器装置结合,可在 100 至 1000 mbar 的测量范围内获得相同的高准确度读数。由于测量范围较广且准确度较高(尤其是在低压条件下),因此 PGE050 是替代真空系统中的热电偶仪表时的。坚固的仪表和传感器设计使 PGE050 成为高/低拥有成本的选择,并且使该仪表适合众多需要低真空度**真空度范围的经济型真空测量功能的应用。
自动识别 INFICON 主动式真空计
0-10V可编程图表记录器输出,具有对数/线性特性,既适用于单个真空计,也适用于真空计组(仅 VGC502 和 VGC503)
技术规格
BAG050,EB-除气**高压裸电离真空规,能够测量:2×10E-11至10E-3Torr。
BAG051,电阻式脱气(I2R)裸电离真空规,能够测量:4×10E-10至10E-3Torr。
BAG052和BAG053,电阻式脱气(I2R)玻璃电离真空规,能够测量:4×10E-10至10E-3Torr。
特点
可靠,经典的规管设计
宽范围的**电流(100μA至10mA)
可与单/双钇丝-涂层铱和双钨丝阴极组件
所有型号都可以使用EB(电子轰击)除气。
INFICON MPG500倒置磁控管真空计是所有真空测量应用明智的选择。MPG500将两个传感器系统整合在一个小装置中,测量范围从大气压至 1x10E–9毫巴。获得**的**低杂散磁场设计为全新的应用领域开启了大门。*特的可互换式双室传感器单元不用清洗并减少了维护,这使MPG500成为同类产品中很坚固和非常经济的真空计。MPG500冷阴极和组合真空计配备了完全集成的数字电子设备,使系统集成具有很强的灵活性。冷阴极和皮拉尼组合选项提供了跨越多个应用领域的无缝转换、可靠性、实用性和灵活性。
VSC43 1400到1 mbar Piezo 压阻规
应用实例
晶元键合是半导体技术中的一个程序步骤,是将两片晶片合到一起。在某些如封装等特定应用中该操作需要在真空环境中完成。
挑战
当低真空泵通过旁路将腔体抽到预定真空度时,系统需要非常平滑地切换到高真空泵。这样键合过程就可以在高真空环境下进行了。在抽真空过程中,需要准确地控制旁路中的压力,以避免对高真空环境产生破坏。在晶元键合过程中,腔体内的真空也需要被精确监控以确保工艺要求。
解决方案
选用一款VSC43低真空规来控制旁路循环。它的陶瓷传感器可以按要求的精度测量压力,而且产品几乎不需要维护。作为选项,也可以选用VD12真空计在测量现场直接显示测量的压力。
应用领域
设备安装工程
技术
真空泵运行控制
包装机械
工程机械
化工工艺
真空炉
昆山熙日机械设备有限公司是由一批长期服务于某外企的骨干精英组建而成,注册资金100万,自公司成立起一直致力于真空设备及配件的研究、生产、推广、销售、安装及维修领域。 本公司经过多年不懈的努力,已拥有一支专业的IT研发人员和全面的销售网络,所经营的产品**国内外,现已与国内外多家大型企业保持着长期的合作关系,本公司产品以质量优良、操作简单、*及周到的售后服务等广受市场好,使得公司的效益得到迅速发展,为公司的长远发展打下牢固的基础。 公司主要经营: X系列单级旋片泵、进口德国BECKER贝克、德国BUSCH普旭、德国LEYBOLD莱宝、德国RIETSCHLE伟力(里其乐)、英国爱德华、闽台凯威科、日本ORION好利旺、龙挺RVP系列等品牌真空泵及英福康(INFICON)检漏仪;并提供优惠的真空泵配件(进口):油雾分离器(排气过滤器)、叶片、碳精片、油封(轴封)、密封套件、轴套、轴承、连轴器垫(套)、连轴器、排气阀(片),视油镜、空气总成、风格(空气滤芯)、油过滤器(油格),风扇叶、风扇罩、逆止阀、气镇阀、散热器、防震脚及真空泵油; 产品广泛适用于:电光源、真空镀膜、机械、光盘、冶金、石油、化工、造纸、食品、、电子、电力、陶瓷、玻璃、电路板、引水、印染、制糖、制冷设备、工艺吸塑、科研、干燥及汽车维修等单位。 售后服务:公司拥有专业的维修技术人员及**的检测设备,并长期提供真空泵技术指导及修理、维护、保养、检测、咨询等服务;服务承诺:凡在本公司所购真空设备,均享有一年免费保修期,并终身提供技术支持。 公司坚持“以诚为本、信誉至上”为宗旨,不断创新改进,完善售后服务网络。我们以的产品,的质量,的价格,质的服务,愿同各界朋友互相合作,开拓美好的未来。