湖南真空计价格 探头 392 Micro-Ion Plus

BAG051 属于电阻式脱气 (I2R) 祼电离真空计，能够测量低至 4 × 10-10 Torr 的压力。应用半导体制造设于刻蚀, CVD, PVD, ALD数据存储和OLED,LCD制造设备工业真空设备混气实验设备一般**压力测量特点涵盖从5 × 10E-10mbar至大气压的压力范围得益于紧凑设计而实现的节省空间安装复合形式的真空测量，成本效益比由于集成电子驱动单元，应用范围广泛对流增强的皮拉尼技术可在大气压下实现宽测量范围和较高的精度内置显示器的一体式主动式测量仪，2 个设**，4 个模拟输出信号和 2 个数字接口带键盘的明亮的数字 OLED 显示屏，简化设置校准和操作4 个可选的模拟输出信号（3 个用户可选，1 个默认）出厂预设模拟输出信号或通过键盘进行选择工厂预设的显示单位或通过键盘进行选择用户可编程的设**继电器（工厂根据量订单的要求预设）镀金钨丝机械强度高、坚固耐用、不易受机械冲击和振动影响各种法兰的选择合规和标准：CE、RoHS直接取代大多数 Granville-Phillips® Mini-Convectron® 模块 (GP275)6个Edwards Active真空计3个BAROCEL 7025M或7025和任意3个其他Edwards Active真空计1个BAROCEL 7045或7100，2个BAROCEL 7025或7025M，以及任意3个其他Edwards Active真空计VSH 1000到5x10-10mbar 皮拉尼/热阴极应用实例铜焊、烧结或退火需要一个无氧环境，这意味着整个过程要在真空中加入部分惰性气体的环境下完成。挑战工艺过程中需要持续监控真空状态，并使之持续维持在一个低位，以避免产品被氧化。我们一个客户需要测量其高真空管式炉靠近气体入口处的精确压力以及真空口处的精确压力。解决方案采用两个宽量程VSH真空规来测量真空炉气体入口处和真空口处的精确压力值。 这两个真空规通过RS485接口与系统PLC连接，以便两个压力值可以被直观地图形化地表示出来，以方便对真空炉管内的压力变化曲线进行监控。另外，也可增加一个VD12双通道真空计安装在面板上，实现直接观察压力读数。应用领域分析仪器镀膜对高真空和**高真空应用的控制溅射工艺工艺工程

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