合肥真空计价格 泰兴真空计 274 Bayard-Alpert

MPG40x 大气压至**高真空真空计INFICON 倒泵控管 Pirani 真空计 MPG400 和 MPG401 测量范围为 5 x 10-9 mbar 至大气压力（3.8 x 10-9 Torr 至大气压力）。将多项技术融入带有一个对数模拟输出信号的单个紧凑型装置中，显著降低了安装、设置和集成的复杂性。特点测量范围5 x 10-4至1000 mbar (3.8 x 10-4至750 Torr)钨丝或铂丝的选项*0至+40℃温度补偿恒定灯丝温度应用ASG隔膜真空计是在需要对接近大气压的压力进行与气体无关的精确测量时的出色选择，十分适合于负载锁定这样的应用中。它可用作独立的传感器，便于 OEM 和系统承建商开发灵活的低成本解决方案，满足其真空设备的需求。另外，它还可以连接到 TIC 仪器控制器，与其他很多类型的传感器结合使用，提供全面的真空仪器解决方案INFICON CDG025D电容膜片真空计是高精度温度补偿型真空计设计用于在严酷的制造工具环境中具有稳定的性能. **的数字电子学提高真空计的性能和提供容易操作的特点如一键调零的功能和设点调整. 抗腐蚀的**纯陶瓷传感器提供的零点稳定性, 以及引起能达到数百万次压力循环包括大气冲击的长的使用寿命.*特的传感器屏蔽保护真空计防止过程污染. 经久耐用的机械结构和数字电子学提高EMC兼容性, 长期稳定性和温度补偿能力。应用半导体制造设于刻蚀, CVD, PVD, ALD数据存储和OLED,LCD制造设备工业真空设备混气实验设备一般高精度压力测量VSP 1000到1x10-4mbar 皮拉尼应用实例塑料元件经常被加以金属镀膜，这抑或出于美观考虑，抑或为了屏蔽敏感元件免受干扰。挑战金属镀膜是在一个PVD镀膜系统中进行。它首先由一个旋片泵通过旁路抽至10-2mbar。然后由涡轮分子泵进一步抽至10-5 mbar。镀膜工艺通常在2x10-4 mbar下进行，此时需要连续地监控真空状态，以确保镀膜工艺持续不断地高质量运行。为了避免涡轮分子泵**负荷，例如在不恰当的系统压力下切换到分子泵等，旁路中的压力以及涡轮分子泵的前级真空都需要被监控。解决方案用一个VSP 皮拉尼真空规控制旁路中的真空是否足以切换到涡轮分子泵。另一个VSP直接在涡轮分子泵处监控分子泵所需要的前级真空。一个VSM宽量空规测量系统内的极限真空度以及在镀膜过程中的压力。一台VD10多通路真空计用来做控制模块。应用领域分析仪器真空炉镀膜设备前级真空控制真空系统中的安全开关

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