黔西南探头价格 宝应真空计 392 Micro-Ion Plus

BCG450 大气压至**高真空三合一真空计
INFICON Bayard-Alpert Pirani 电容式隔膜真空计 (Triple-Gauge?) BCG450 将三大不同技术的优势融合在一个体积小、价格低的规管中，可以测量从 5×10-10 至 1500 mbar（3.75×10-10 至 1125 Torr）的过程压力和基本压。BCG450 的设计旨在替代三个传感器（热电离、加强对流 Prani 和真空开关），因而节省了成本和宝贵的工具空间。
运用薄膜传感器技术，该产品可以提供近大气端的精确的绝压测量并能提供大气端真空腔室内精准的相对压力指示。*有的传感器设计消除了在高压力下影响热损失传感器特性的热效应。这种小型模块复合了全部四种传感器及控制电子器件于一个紧凑的一体化设计中，减少了腔室真空规管的需求数量并小化所占空间。全量程压力测量可以通过单一模拟量信号或可选的串行RS485或DeviceNet数字协议输出。RS485和DeviceNet版本产品可以多选择三个设**继电器用于工艺控制，可以在真空压力测量范围内设定任意压力值或者*相对压力值。

应用
半导体：负载锁定,PVD, CVD，蚀刻
高能物理：光束线、加速器、激光疏散、系统
分析：质谱仪和电子显微镜
标准：基准真空，压力控制
工业：涂料系统、熔炉、灭菌、食品加工、氧化

Conevctron热损失传感器提供从1X10-4托至大气压力跨越7个数量级的真空压力测量。膜片传感器技术测量真空空间内部和外部环境之间的差压，并在到达所设定的压差值时由设**继电器激活开始工作。

B-A规的测量下限由这类型规管的X射线极限决定。X射线极限因不同规管设计而不同。阴极**的电子与栅较及其支撑网碰撞产生X射线。由于BA规的几何结构原因，仅有一小部分**的X射线会被收集较收集。当X射线碰撞收集较丝时，收集较上会有光电子**。X射线电流限制了压力测量范围，使其等效压力下限到10-10或10-11Torr范围，取决于规管型号。早期的规管在栅较外有个柱状收集较，这种规管的X射线极限大约在10-8Torr。当气体非常稀薄且规管所获得的电流输出几乎全部都来源于X射线光电**时，X射线极限就决定了规管小压力测量值。
VSM 1000到5x10-9 mbar 皮拉尼/ 冷阴极
应用实例
在给激光谐振器的镜片做光学镀膜时，通常工艺过程中的压力需要**2x10-3mbar。
挑战
一个合适的真空规需要满足既能够监控镀膜过程中的压力又能测量真空腔体中能达到的小压力10-6mbar。
我们的一个客户曾经使用一个皮拉尼/冷阴极复合的真空规，冷阴极用来监控小压力和工艺过程中的真空度。但由于其频繁地在1x10-3mbar之上进行操作,导致传感器快速退化。
解决方案
在VSM真空规中一个有延展范围的皮拉尼可以让冷阴极在一个非常低的压力之下运行。此外两个传感器之间的转换可以按照应用的要求而配置。现在整个镀膜过程都在皮拉尼的监控之下，而冷阴极就可以被节省下来了，因为它只在整个系统压力达到小压力时才会被启动。镀膜的可用性因而得到显着提高。如果想要直接在测试点检查压力值，还可以用集成了LCD显示屏的VSM。
应用领域
分析仪器
镀膜设备
工艺工程
高真空到**高真空应用的控制
溅射工艺
真空炉

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