AFD-1200X单温区开启式管式炉采用双层风冷结构,炉体表面温度≤60℃,炉膛采用高纯度氧化铝微晶纤维高温真空吸附成型。内炉膛表面涂有1750℃美国进口的高温氧化铝涂层材料提高反射率及设备的加热效率和炉膛洁净度,同时延长仪器的使用寿命。进口加热电阻丝镶嵌延长炉体使用寿命,是专为高等院校﹑科研院所的实验室及工矿企业在可控多种气氛及真空状态下对金属,非金属及其它化合物进行烧结﹑熔化﹑分析而研制的理想设备。
PECVD系统 等离子体化学气相沉积系统
窗体底端
PECVD系统
PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子体增强化学气相沉积法。
本设备是借助射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。
本设备主要由管式加热炉体,真空系统,质子流量供气系统,射频等离子源,石英反应腔室等部件组成。
主要特点:
1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度较低。
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于:各种薄膜的生长,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。
供应管式炉可配高低真空系统
产品用途:主要用于稀土制备、电子照明、晶体退火、生物陶瓷、电子陶瓷、特种合金、磁性材料、精密铸造、金属热处理等行业进行真空烧结、气氛保护烧结、真空镀膜、CVD实验、物质成分测量等场合。
控制方式
模糊PID控制和自整定调节功能;智能化30段可编程控制。
密封方式不锈钢密封法兰。(包括针型阀、指针式真空压力表、软管接头)
控温精度±1℃
工作温度温度1200℃,连续工作温度≤1100℃
可充气氛氮气、氩气及其它惰性气体;通纯氢需配置自动点火装置(另购)
操作安全开门断电、**温报警、漏电保护功能
质量保证质保期1年,相关耗材除外,如加热元件易耗材等。
1200度200管径管式炉(标准/双温区/三温区)
窗体底端
设备名称 200管径管式炉(开启式)
型 号 TF1200-200 TF1200-200II TF1200-200III
基本参数 电源电压 AC 220V,50/60Hz AC 220V,50/60Hz AC 380V,50/60Hz
外形尺寸(宽*深*高)
设备重量 115Kg 135Kg 160Kg
加热系统 加热功率 6Kw 8Kw 12Kw
加 热 区 440mm 600mm(300+300) 900mm(300+300+300)
恒 温 区 150mm(±3℃) 300mm(±3℃) 600mm(±3℃)
加热区数 单温区 双温区 三温区
极限温度 1200℃ 1200℃ 1200℃
使用温度 <1100℃(大气或惰性气氛下),≤900℃(高真空条件下)
升温速率 ≤30℃/min(上限)
300℃以内:≤3-8℃/min,300℃以上:≤8-12℃/min(建议)
降温速率 700℃以上≤10℃/min
测温传感器 N型
电 热 丝 HRE合金丝
表面负荷高、电阻率高、抗氧化性能好、经久耐用
炉 膛 中日合资 1500型氧化铝多晶纤维一体成型
收缩率小,导热系数低,保温效果好,耐用节能
炉膛规格 炉膛尺寸 使用温度(℃) 功率(KW)
AFD-2-12 Φ40*1000 1100 2
AFD -4-12 Φ60*1000 1100 4
AFD -6-12 Φ80*1000 1100 6
AFD -4-14 Φ40*1000 1350 4
AFD -6-14 Φ60*1000 1350 6
AFD -8-14 Φ80*1000 1350 8
AFD -6-16 Φ40*1000 1600 6
AFD -8-16 Φ60*1000 1600 8
AFD -10-16 Φ80*1000 1600 10
管式电炉特点
1、控制精度:±1℃ 炉温均匀度:±1℃(根据加热室大小而定) 。
2、微电脑控制,操作方便,可编程,自动升温、自动保温、自动降温。
3、炉管采用刚玉99陶瓷。
4、不锈钢金属法兰密封(双胶圈)
5、炉体经精致喷塑耐腐蚀耐酸碱,炉体与炉膛隔离采用风冷炉壁温度接近室温 6、双回路保护(**温、**压、**流、段偶、断电等)
7、进口耐火材料,保温性能好,耐温高
8、真空表真空度 0至负0.1Mpa
9、电炉可通多种气体(氧气、氮气、氩气、氢气等)
10、温度类别:1000℃ 1400℃ 1600℃ 1700℃ 四种
11、本产品采用可靠的集成化电路,工作环境好,抗干扰
河南奥菲达仪器设备有限公司是一家集研制、开发、生产和销售为一体的专业生产企业,主营:马弗炉、管式炉,高温炉、真空管式炉 气氛管式炉 箱式气氛炉 陶瓷纤维马弗炉 熔块炉 非标高温炉 氧化锆烧结炉 硅碳棒烧结炉总部位于中国郑州,公司现有研发人员100多人,其中具有博士学位的5人,研究生20余人,具有中级以上职称40多人。 公司拥有专业的技术生产,高科技的设备,高素质的人才,开启了公司销售业绩一次一次的增长。在经营过程中以优良的职业道德、商业信誉、高质量的产品、完善的售后服务赢得了广大用户的信赖和支持。 公司产品遍布于大专院校、科研单位、生物/化工/制药、医疗、检验、**、食品、饮料、超市、冶金矿山、石油勘探等各行各业,产品以其**的性能,快捷周到的售后服务,物**所值的价格,**全国几十个省、市,并**世界各地,受到国内外客商的**。在生产过程中严格执行产品制造要求,建立了一套完整的质量管理体系,使产品质量具有可靠的保证。已**ISO9001:2000**质量管理体系认证。 在生产和销售过程中,我们秉承“创新、专业、高质”的质量方针,一直致力于产品的研发创新;在功能设计、能量数据、用料选择、安全性能等每一个过程都严格要求,在人员配置上,公司拥有专业的技术服务人员、工程师、售后服务人员,形成一支高素质较富团队创新精神的队伍。公司奉行“客户满意是人较大的收获”的服务观,积极研制开发新产品、结交新客户,竭诚为客户提供优质的产品和较快捷的服务。欢迎国内外新老客户光临,互利互惠、携手并进!