上海半导体绝缘耐压派瑞林parylene涂层加工

植入式医疗器械要受到保护方可起作用。有大量的植入式医疗器械受益于聚对二甲苯涂层的应用。因聚对二甲苯薄膜保护而获得好处的医疗器械有：
脑探针
骨生长物
骨针
插管
心脏装置（CAD）
导管
耳蜗植入物
电子电路
电外科设备（ESU）仪器
注射针头
心轴
气动外科器械
假体组件
各种矫形外科装置

聚对二甲苯化学性质不活泼，表面涂层保形，而且是一种很好的聚合物绝缘层。历史上，它被用作医用涂料、植入式神经丝探针的绝缘层、层间电介质，并且在1997进入MEMS领域，成为流体互连的涂层材料。聚对二甲苯因其淀积方式(真空中)、无针孔淀积、低加工温度、透明度和微加工工艺的兼容性成为一种流行的标准MEMS材料。自其进人MEMS领域以来，已被开发成各种各样MEMS应用中的结构材料。聚对二甲苯的碳化/裂化和离子注入工艺也被应用于MEMS中作为牺牲或传感材料。聚对二甲苯结构的进一步改进已经在研究中，特别是在生物学和生物医学应用方面。

派瑞林镀膜工艺过程过程主要有三步：
1.真空130℃条件下固态派瑞林材料升华成气态。
2.真空680℃条件下，将气态双裂解成活性单体。
真空常温下，气态单体在基体上生长聚合。

聚对二甲苯是通过活性单体气相沉积聚合而制备的,单体的气相沉积与膜的形成几乎同时进行,不存在液相过渡态。
　　因在室温下成膜,这样就使得被涂件免受表面张力引起的变形危害,并且聚合物膜能在固体表面(包括锐角、裂隙和内孔表面)均匀地形成,而且极薄又无针孔,具有透明性、良好的气密性、力学性能、电学性能和化学惰性等。与常见的涂层材料相比(如环氧树脂和聚氨酯等),聚对二甲苯在力学性能、电性能和化学惰性等方面优于其它常见的涂层材料。

珂纳米科技（苏州）有限公司是专业从事派瑞林涂覆设备、工艺开发的高新技术企业，公司前身为PACO KOREA，拥有20年高质量派瑞林涂覆经验和高度可靠的涂覆系统开发能力,为广大客户提供派瑞林涂覆的加工、派瑞林材料、派瑞林气相沉积设备的开发及销售。派瑞林镀膜的方式为气相沉积CVD，其防护性能明显优于喷漆、环氧、电镀等传统三防工艺，广泛应用于电路板PCBA、线圈马达、硅橡胶制品、磁性材料、LED/OLED、传感器、电池、医疗产品等，上述产品经parylene镀膜后可起到防水、耐腐蚀、耐高压、耐盐雾的作用，可大大提高产品性能，延长使用寿命。派珂纳米在行业内的优势：拥有20多年派瑞林镀膜经验，涉及到各行各业的产品；严格按照作业标准进行操作，严格把控质量；设备独特的设计结构，使得镀膜速度快、生产效率高，从而降低涂敷成本；设备容量大，可满足批量化生产客户的要求；镀膜均匀性好，同批次均匀性＜5%；跟原料厂家合作，让客户在原料的供应上后顾无忧；拥有研发团队，可自主研发、设计、生产派瑞林沉积设备，提供量身定制的解决方案；拥有万级洁净厂房，满足对洁净度要求较高的产品的加工环境需求。