在可见和近红外区有高的透过率和反射率 ,已应用于增透膜、激光器、光通讯、太阳能电池等元器件上。五氧化二钽膜层又具有高介电常数 ,也是制造薄膜电容器的重要材料
Ta2O5(氧化钽)薄膜的光谱透过波段为0.3~10um,是可见光到近红外波段重要的高折射率材料之一。
五氧化二钽靶材------ InChI=1/5O.2Ta/rO5Ta2/c1-6(2)5-7(3)4五氧化二钽(Ta2O5)为白色无色结晶粉末,是钽常见的氧化物,也是钽在空气中燃烧生成的终产物。主要用作拉钽酸锂单晶和制造高折射低色散特种光学玻璃用,化工中可作催化剂
Ta2O5薄膜具有较高的折射率和热稳定性、低吸收、无定形微结构和耐化学腐蚀等优点,广泛应用于制备多种光学元件的减反膜、高反膜、分光膜和干涉滤光膜
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