晶振片 真空镀膜机 买过的人都**

当粗抽泵连续工作一个月，需更换新油。
普发(PFEIFFER)分子泵系列：TMH063、TMH064、TMH071，TMH260，TMH261，TMH300，TMH301，TPH170
莱宝分子泵系列：TW70，TW250S，Turbovac 360,Turbovac 361.
ALCATEL ADIXEN分子泵系列ATP150 、 ATP100 、 ATP80 、 ATP400 、 ATP900
Ion Beam Drive : ID-3500,ID-3501,IT-2500,IT-3500 DC(直流系列) :
MDX Series: MDX500，MDX 5KW,MDX 10KW, MDX13KW，MDX II 15KW, MDX II 30KW ,MDX 1K,MDX 1.5K ,MDX Delta MDX II Series: MDX II 15kw，MDX II 18P
PINNACLE Series: Pinnacle 6KW,Pinnacle 12KW,Pinnacle 10KW,Pinnacle 20KW,Pinnacle 8KW,Pinnacle 15KW
PINNACLE 3000 PINNACLE PLUS+:Pinnacle Plus+ 5KW,Pinnacle Plus+ Dual output 5KW,Pinnacle Plus+ 10KW
DIAMOND Series: Pinnacle Diamond 8KW,Pinnacle Diamond 10KW,Pinnacle Diamond 15KW
MDX-L Series: MDX-L6,MDX-L 6kW HALO,MDX-L12,MDX-L 12M,MDX-L 12M 650,MDX-L18
SPARC Series: Sparc-le 20,Sparc-le V,Sparc VSE'Wave DC Pulsing Accessoires : DC PULSAR

3、扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。方法是：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。

并且大大简化了控制系统。液压控制系统的简化，对于日后的工作来说，具有非常重要的作用。应用变频调速替代比例调速，不仅仅在低速稳定的问题上具有较高的可信性，同时在响应的快速性，也展现出了非常高的水准。在过去，由于长期应用比例调速，因此相关器件的过载能力有限，在**过50%的时候，就只能运行一分钟，严重影响了加速性能。自从在液压系统中应用变频调速以后，形成了一个全新的调速系统，不仅充分利用变频调速液压控制系统调速范围大的特点，同时节能效果特别显着，在此基础上，又保留了阀控缸或者阀控马达响应快的优点。通过以上的表述，充分说明了采用变频调速不仅可以简化液压控制系统，另外在很多问题的处理上，也都应用非常简便的方式。

非常符合目前的发展状态。液压控制系统在未来的发展中，仍然会占**械设备的主要控制地位，并且对相关领域的影响将会进一步扩大，简化系统不仅意味着会节能降耗，同时还会降低运营成本，在充分利用能源的基础上，获得较大的效益。比例调速在原来的应用当中，由于时代的限制以及技术的不成熟，因此耗费了大量的成本，在经济效益和社会效益方面，都没有达到一个理想的标准。应用变频调速，不仅可以节能降耗，同时对简化系统也有莫大的好处。到目前为止，很多的地区都在采用变频调速的方式，并且技术的完善速度很快，在成本方面。应先检测周围环境的温度及湿度，温度过高会导致变频器过热报警，严重时会直接导致变频器功率器件损坏、电路短路;空气过于潮湿会导致变频器内部直接短路。

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