杭州钨钛合金靶材

以高纯度W和Ti制成的合金。常用的成分为含10%Ti的W-10Ti。......和钛粉经混合、压制和特殊的烧结工艺或用真空热压、热等静压等工艺制成。用作**大规模集成电路薄膜工艺中的溅射靶。钨钛薄膜具有良好的导电性和耐蚀性。

由于纯钨很脆，难以加工，所以钨大多数都是与其他的金属形成合金或以钨的化合物被广泛运用。

由于合金靶材的纯度关系到溅射薄膜的性能,靶材的纯度越高,碳杂质含量越低,加工工艺通常采用惰性气体保护降低碳杂质的影响。为实现高机械性能与工艺性能,需尽量提高合金的纯度,对碳元素含量的检测要求相应提高

钨钛合金薄膜具有电阻率低,导电导热性、耐腐蚀性能、化学稳定性好,热膨胀系数低等优点,满足集成电路对扩散阻挡层的性能要求,广泛应用于微电子行业

醴陵市利吉升新材料有限公司是专业生产销售高**属材料，合金材料 ， 陶瓷材料等蒸发镀膜材料以及溅射靶材.公司产品广泛应用于半导体、光电、OLED、装饰镀膜、太阳能光伏、磁记录等镀膜领域，公司拥有专业的技术研发人员，拥有经验丰富的镀膜材料生产加工技术人员，长期服务于国家科研项目及**镀膜产业。和多所高校研究所建立长期的合作关系，以较高的性价比，成功发替代了国外进口产品，颇受用户**。