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洁净空调系统一般分为三大类:
1、集中式洁净空调系统 :在系统内单个或多个洁净室所需的净化空调设备都集中在机房内,用送风管道将洁净空气配给各个洁净室。
对于一些生产工艺单一,洁净室分散,不能或不宜合为一个系统,或各个洁净室无法布置输送系统和机房等场合,应采用分散式洁净空调系统 [3] ,在该系统中把机房、输送系统和洁净室结合在一起,自成系统。在分散式洁净空调系统中,在各个洁净室或邻室内就地安装净化和空调设备或净化空调设备。 净化空调设备可以是一个定型机组产品,它具有净化功能,但处理的风量较少,往往不能满足较高洁净度的洁净室所需风量,系统处理过程往往是一次回风系统。
空调机组实际上是一个小型空调系统,它的冷源通常采用压缩式制冷机组,热源在容量不大和要求灵活性大时可采用电热。空气处理设备主要是制冷机的蒸发器,电加湿器及电加热器。当洁净室温度,湿度全年的控制精度要求较高,可采用恒温恒湿机组,它能自动调节空气温湿度,以维持室内一定温度,湿度。当洁净室仅要求夏季舒适性空调,即仅在夏季降温去湿,可采用冷风机组。它与恒温恒温机组主要区别在于没有自动控制(采用手动控制),电加湿器和电加热器。如果是容量小的空调机组(冷量小于7kW,风量小于1200m 3/h)可做成窗台式。容量大的(冷量小于70kW,风量小于20000m3/h)为立柜式。
集中式洁净空调系统适用于工艺生产连续、洁净室面积较大、位置集中,噪声和振动控制要求严格的洁净厂房。一般有如下三种形式:
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