云南探头 泰兴真空计 275 Mini-Convectron

SKY? CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar
INFICON SKY CDG160D 高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG160D 真空计温度控制在 160 °C，具有的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICON 电容式压力计采用**纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性较佳、从大气恢复的速度较快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质，较具成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
特点
电子模块与规头合并在一起，降低了系统成本并节省了宝贵的机架空间
低输出阻抗和集成的法拉*屏蔽提供别的抗扰性，并允许使用长电缆（长可达 100 m）
低磁场型 XL 适用于敏感性应用，例如质谱分析和电子显微镜。
可更换的管体允许快速更换管件而*预校准
已获 CSA C/US 认证

AIM冷阴极真空计
Edwards AIM倒磁控管冷阴极真空计，在一个紧凑的装置中包含规头和控制器。从科学仪器到工业制程的多种应用场合，均已证明AIM真空计坚固可靠。标准AIM真空计具有线性输出，nAIM支持RS232和RS485信号输出，易于与计算机或 PLC 结合使用。

特点
测量范围5 x 10-4至1000 mbar (3.8 x 10-4至750 Torr)
钨丝或铂丝的选项
*
0至+40℃温度补偿
恒定灯丝温度

特点
测量范围宽，为 1333 至 3 x 10-4 mbar（1000 至 2.3 x 10-4 Torr）
对流技术的使用可确保测量精度一致（通常为 ±15%）并且可重复 (±5%)，达到该领域水平
低运行成本
提供可更换的管件

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VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要精确测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规监控，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被精确地测量。VSR快速的响应时间以及精确的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎*维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试

昆山熙日机械设备有限公司是由一批长期服务于某外企的骨干精英组建而成，注册资金100万，自公司成立起一直致力于真空设备及配件的研究、生产、推广、销售、安装及维修领域。 本公司经过多年不懈的努力，已拥有一支专业的IT研发人员和全面的销售网络，所经营的产品**国内外，现已与国内外多家大型企业保持着长期的合作关系，本公司产品以质量优良、操作简单、*及周到的售后服务等广受市场好，使得公司的效益得到迅速发展，为公司的长远发展打下牢固的基础。 公司主要经营： X系列单级旋片泵、进口德国BECKER贝克、德国BUSCH普旭、德国LEYBOLD莱宝、德国RIETSCHLE伟力(里其乐)、英国爱德华、闽台凯威科、日本ORION好利旺、龙挺RVP系列等品牌真空泵及英福康(INFICON)检漏仪；并提供优惠的真空泵配件（进口）：油雾分离器（排气过滤器）、叶片、碳精片、油封（轴封）、密封套件、轴套、轴承、连轴器垫（套）、连轴器、排气阀（片），视油镜、空气总成、风格（空气滤芯）、油过滤器（油格），风扇叶、风扇罩、逆止阀、气镇阀、散热器、防震脚及真空泵油； 产品广泛适用于：电光源、真空镀膜、机械、光盘、冶金、石油、化工、造纸、食品、、电子、电力、陶瓷、玻璃、电路板、引水、印染、制糖、制冷设备、工艺吸塑、科研、干燥及汽车维修等单位。 售后服务：公司拥有专业的维修技术人员及**的检测设备，并长期提供真空泵技术指导及修理、维护、保养、检测、咨询等服务；服务承诺：凡在本公司所购真空设备，均享有一年免费保修期，并终身提供技术支持。 公司坚持“以诚为本、信誉至上”为宗旨，不断创新改进，完善售后服务网络。我们以的产品，的质量，的价格，质的服务，愿同各界朋友互相合作，开拓美好的未来。