ULVAC分子泵维修
UTM系列:UTM-50、UTM-150、UTM-300、UTM-500、UTM300B
UTM-FH系列:UTM-6300FH、UTM-3303FH、UTM-1001FH、UTM-800FH、UTM-480FH、UTM-350FH、UTM3302FH
UTM-FW系列:UTM-3301FW、UTM-2300FW、UTM-1400FW、UTM-1001FW、UTM-800FW、UTM-480FW、UTM-350FW
YTP系列:YTP- 50M/SA、YTP- 150M/SA、YTP- 300M/SA、YTP- 500M/SA
NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
特长
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外,尤其适用于希望提高流量,缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理,降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
? 活性气体(CVD、刻蚀等)。
? 排出非活性气体(溅射镀膜、 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等)。
? 用于产生粉尘工艺中的排气(Si单晶炉等)
? 作为前级泵使用(涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵)。
? 冷冻干燥等水蒸气排气。
ULVAC干泵维修
LR系列:LR60、LR90、LR180、LR421、LR421-T、LR300、LR600、LR1200、LR1800、LR3601、LR3601-TT、LR3601-TTR
HR系列:HR60、HR90、HR300、HR600、HR1200
UR系列:UR90、UR421-T、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT
CR系列:CR16B、CR30B、CR60B、CR300B
GR系列:GR60A、GR90A、GR180A
PDR-C系列:PDR-012、PDR-060C、PDR-090CH、PDR-090CHN、PDR-090CLN、PDR-180CN、PDR-180C
VPT系列:VPT-030、VPT-6000
YM-RL系列罗茨泵机组
组成
YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、消音器等组合而成,用于生产、研究设备的真空排气机组。
用途
冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。
优点
? 无油、干燥、清洁。
? 在低温领域的均热化。
? 大抽速,可以缩短排气时间。
? 优良的耐腐蚀性。
? 低噪音、低震动。
昆山熙日机械设备有限公司是由一批长期服务于某外企的骨干精英组建而成,注册资金100万,自公司成立起一直致力于真空设备及配件的研究、生产、推广、销售、安装及维修领域。 本公司经过多年不懈的努力,已拥有一支专业的IT研发人员和全面的销售网络,所经营的产品**国内外,现已与国内外多家大型企业保持着长期的合作关系,本公司产品以质量优良、操作简单、*及周到的售后服务等广受市场好,使得公司的效益得到迅速发展,为公司的长远发展打下牢固的基础。 公司主要经营: X系列单级旋片泵、进口德国BECKER贝克、德国BUSCH普旭、德国LEYBOLD莱宝、德国RIETSCHLE伟力(里其乐)、英国爱德华、闽台凯威科、日本ORION好利旺、龙挺RVP系列等品牌真空泵及英福康(INFICON)检漏仪;并提供优惠的真空泵配件(进口):油雾分离器(排气过滤器)、叶片、碳精片、油封(轴封)、密封套件、轴套、轴承、连轴器垫(套)、连轴器、排气阀(片),视油镜、空气总成、风格(空气滤芯)、油过滤器(油格),风扇叶、风扇罩、逆止阀、气镇阀、散热器、防震脚及真空泵油; 产品广泛适用于:电光源、真空镀膜、机械、光盘、冶金、石油、化工、造纸、食品、、电子、电力、陶瓷、玻璃、电路板、引水、印染、制糖、制冷设备、工艺吸塑、科研、干燥及汽车维修等单位。 售后服务:公司拥有专业的维修技术人员及**的检测设备,并长期提供真空泵技术指导及修理、维护、保养、检测、咨询等服务;服务承诺:凡在本公司所购真空设备,均享有一年免费保修期,并终身提供技术支持。 公司坚持“以诚为本、信誉至上”为宗旨,不断创新改进,完善售后服务网络。我们以的产品,的质量,的价格,质的服务,愿同各界朋友互相合作,开拓美好的未来。