洁净厂房也叫无尘车间、洁净室(Clean Room),是指将一定空间范围之内空气中的微粒子、有害空气、等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在的空气条件如何变化,其室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性
根据气流的流动状态分,主要有以下三种气流分布的洁净室 [1] :
(1) 非单向流洁净室:以前常称为乱流型洁净室,室内的气流并不都按单一方向流动。非单向流洁净室有几个共同的特点:终端过滤器(高效或亚高效)尽量接近洁净室,它可以就是送风口或直接连送风口,也可以接到房间的送风静压箱上;回风口均设在洁净室的下部,目的是避免出现“扬灰”现象。非单向流洁净室中都有涡流存在,不适宜用于高洁净度的洁净室中,宜用于6~9级的洁净室中。
(2) 单向流洁净室:单向流洁净室气流的特征是流线平行,以单一方向流动,并且在断截面上风速一致,有垂直单向洁净室,准垂直单向流,水平单向流洁净室等。
(3) 矢量洁净室:在房间的侧上角送风,采用扇形高效过滤器,也可以用普通高效过滤器配扇形送风口,在另一侧的下部设回风口,房间的高长比一般在0.5~1之间为宜。这种洁净室也可以达到5级(100级)洁净度。
洁净室的流型基本上是上述三种类型,但是实际应用时可演变出很多形式。洁净室可以是单向流和非单向流组合在一起的混合流型,以在局部区域(单向流部分)实现别的洁净室。例如,在洁净室中设水平单向流的“隧道”(一侧敞开),洁净室的其余部分是涡流的单向流流型,从而实现“隧道”部分达到5级以上洁净度,工作台就设在“隧道内”。
按受控粒子的性质划分
(1)工业洁净室:受控粒子为尘埃等非生物粒子的洁净室。
(2)生物洁净室:受控粒子为生物粒子的洁净室。
岩棉夹芯彩钢板
是由天然的岩石,高炉铁矿渣等经高温熔化成丝,再经过固化成型。它具有600℃的耐火性能,耐火等级达到A级。它的芯材是不可以燃烧的岩棉。如有防腐、防锈工程,其表面材料可改用不锈钢板面。
洁净室的发展与现代工业、技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%,64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍
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