六二硅氮烷 简 称 HMDS 别 名 六二硅胺烷 | 双(三硅)胺烷 外文名 HEXAMETHYLDISILAZANE 分子式 (CH3)3SiNHSi(CH3)3 分子量 161.39 CAS号 999-97-3 EINECS 213-668-5 密 度 0.770—0.780 折光率 1.408±0.002 闪 点 27℃ 沸 点 126℃ 色 度 ≤10 性 状 无色透明液体、略带胺味