2"蓝宝石晶片的指标 Crystal Materials (材料) High Purity, Monocrystalline Al2O3 Grade(加工等级) Prime,Epi-ready Orientation(晶体定向) C-axis [0001] off to M-plane[1-100] 0.2°±0.05° Diameter(直径) 50.8mm± 0.1 Thickness(厚度) 430um+/-10um Primary Flat(主定位边) A-axis[11-20] ± 0.25° Major Flat Length (定位边长) 16.0mm± 1mm Minor (*二定位边) N / A Surface Finish(表面处理) Front side(正面): Epi-ready polished,Ra≤0.2nm ; Backside(背面):Fine ground ,Ra=0.4~1.2 TTV/BOW/Warp(平整度) TTV ≤10um; BOW ≤10um; Warp ≤10um Laser Mark(激光标记) Upon Customer's Request Packaging(包装) 百级洁净室,氮气保护,真空包装 Vacuum packed, in a class 100 clean room, under a nitrogen atmosphere
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