BAG302 中到**高真空真空计
INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG302 涵盖从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar(1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr)的广泛测量范围。紧凑型一体化热电离真空计 BAG302 能够轻松地更换双丝较传感器、内置 OLED 显示器、设**继电器和对数线性模拟输出以及集成 RS485 数字接口,提高了集成灵活性。这些功能配以坚固的设计,使 BAG302 为其自身的基本压力测量仪器带来经济且可重复的过程,并提供高/低拥有成本的选择。
Edwards新的Passive gauge真空规和控制器,专门补充目前Edwards Active真空计和控制器。这些真空计提供了一种广泛应用的压力测量解决方案,从**高真空系统到加工工业,或者在不可能使用Active真空计(如回旋加速器)的地方。
Edwards Passive系列真空规包括皮拉尼规,潘宁规和两个Bayard-Alpert离子计和Extractor离子测量计,可以测量大气至10-12 mbar**宽的压力范围。它们与被动式真空计计控制器(PGC)一起使用,显示压力,并为用户提供直观的界面,以及远程控制的能力。Edwards将提供2个控制器,PGC201支持测量从10-9至1000 mbar的压力范围,连接皮拉尼和潘宁真空规;以及范围较广的PGC202,测量10-12至1000mbar,连接皮拉尼和离子测量计。
275 Mini-Convectron
应用
前级真空测量(低真空测量)
真空系统回路
电离真空计连锁应用
测真空的一般应用
特点
压力范围测量宽:从大气压至10-4Torr(10-4mbar,10-2Pa)
在大气压端可进行精确和可重复的相对压力设定
结构紧凑、坚固耐用、抗射频和噪音模块符合CE认证
RS-485和DeviceNet机型包括一个可选的本地显示器
VSC43 1400到1 mbar Piezo 压阻规
应用实例
晶元键合是半导体技术中的一个程序步骤,是将两片晶片合到一起。在某些如封装等特定应用中该操作需要在真空环境中完成。
挑战
当低真空泵通过旁路将腔体抽到预定真空度时,系统需要非常平滑地切换到高真空泵。这样键合过程就可以在高真空环境下进行了。在抽真空过程中,需要准确地控制旁路中的压力,以避免对高真空环境产生破坏。在晶元键合过程中,腔体内的真空也需要被精确监控以确保工艺要求。
解决方案
选用一款VSC43低真空规来控制旁路循环。它的陶瓷传感器可以按要求的精度测量压力,而且产品几乎不需要维护。作为选项,也可以选用VD12真空计在测量现场直接显示测量的压力。
应用领域
设备安装工程
技术
真空泵运行控制
包装机械
工程机械
化工工艺
真空炉
昆山熙日机械设备有限公司是由一批长期服务于某外企的骨干精英组建而成,注册资金100万,自公司成立起一直致力于真空设备及配件的研究、生产、推广、销售、安装及维修领域。 本公司经过多年不懈的努力,已拥有一支专业的IT研发人员和全面的销售网络,所经营的产品**国内外,现已与国内外多家大型企业保持着长期的合作关系,本公司产品以质量优良、操作简单、*及周到的售后服务等广受市场好,使得公司的效益得到迅速发展,为公司的长远发展打下牢固的基础。 公司主要经营: X系列单级旋片泵、进口德国BECKER贝克、德国BUSCH普旭、德国LEYBOLD莱宝、德国RIETSCHLE伟力(里其乐)、英国爱德华、闽台凯威科、日本ORION好利旺、龙挺RVP系列等品牌真空泵及英福康(INFICON)检漏仪;并提供优惠的真空泵配件(进口):油雾分离器(排气过滤器)、叶片、碳精片、油封(轴封)、密封套件、轴套、轴承、连轴器垫(套)、连轴器、排气阀(片),视油镜、空气总成、风格(空气滤芯)、油过滤器(油格),风扇叶、风扇罩、逆止阀、气镇阀、散热器、防震脚及真空泵油; 产品广泛适用于:电光源、真空镀膜、机械、光盘、冶金、石油、化工、造纸、食品、、电子、电力、陶瓷、玻璃、电路板、引水、印染、制糖、制冷设备、工艺吸塑、科研、干燥及汽车维修等单位。 售后服务:公司拥有专业的维修技术人员及**的检测设备,并长期提供真空泵技术指导及修理、维护、保养、检测、咨询等服务;服务承诺:凡在本公司所购真空设备,均享有一年免费保修期,并终身提供技术支持。 公司坚持“以诚为本、信誉至上”为宗旨,不断创新改进,完善售后服务网络。我们以的产品,的质量,的价格,质的服务,愿同各界朋友互相合作,开拓美好的未来。