Edge CDG025D2 with EtherCAT 0.1 … 1000 托 / 毫巴
带有 EtherCAT 的 INFICON 温度补偿型 Edge CDG025D2 电容膜片式真空计是专为恶劣制造环境设计的较其准确的真空测量仪表。
成熟的温度补偿、防腐蚀、**纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性,而且具有**的零位稳定性。Edge 随附 INFICON 已获**的*特传感器屏蔽,用于保护真空计,使其免受不需要的过程副产品的影响。**的电子元件能为所有应用提供范围广泛的可配置信号调节,另外还配有 EtherCAT 现场总线接口。
Barocel 7045/7100
使用与7025相同的测量单元,Barocel 7045、7100仪表集成了加热器来保持仪表的固定温度。应用于有严重气体凝结可能导致问题的应用。可以加热到45℃(7045)或100℃(7100)的稳定温度时,仪表中的冷凝物不会危害到控制系统。
TIC仪表控制器(D39702000)提供全面的控制和显示多达6个兼容的Edwards真空计。下面是使用单个控制器运行的各种配置
自动识别 INFICON 主动式真空计
0-10V可编程图表记录器输出,具有对数/线性特性,既适用于单个真空计,也适用于真空计组(仅 VGC502 和 VGC503)
APG100系列结构紧凑,便于安装,提供线性输出,传感器管可以更换。可以连接 Edwards 的 TIC 、ADC仪器控制器以及其他真空计控制器和显示器。还获得了 CSA, C/US 认证,因为其结构中不含铅,因此安全也符合 RoHS认证。
B-A规的测量下限由这类型规管的X射线极限决定。X射线极限因不同规管设计而不同。阴极**的电子与栅较及其支撑网碰撞产生X射线。由于BA规的几何结构原因,仅有一小部分**的X射线会被收集较收集。当X射线碰撞收集较丝时,收集较上会有光电子**。X射线电流限制了压力测量范围,使其等效压力下限到10-10或10-11Torr范围,取决于规管型号。早期的规管在栅较外有个柱状收集较,这种规管的X射线极限大约在10-8Torr。当气体非常稀薄且规管所获得的电流输出几乎全部都来源于X射线光电**时,X射线极限就决定了规管小压力测量值。
VSH 1000到5x10-10mbar 皮拉尼/热阴极
应用实例
铜焊、烧结或退火需要一个无氧环境,这意味着整个过程要在真空中加入部分惰性气体的环境下完成。
挑战
工艺过程中需要持续监控真空状态,并使之持续维持在一个低位,以避免产品被氧化。我们一个客户需要测量其高真空管式炉靠近气体入口处的精确压力以及真空口处的精确压力。
解决方案
采用两个宽量程VSH真空规来测量真空炉气体入口处和真空口处的精确压力值。 这两个真空规通过RS485接口与系统PLC连接,以便两个压力值可以被直观地图形化地表示出来,以方便对真空炉管内的压力变化曲线进行监控。另外,也可增加一个VD12双通道真空计安装在面板上,实现直接观察压力读数。
应用领域
分析仪器
镀膜
对高真空和**高真空应用的控制
溅射工艺
工艺工程
昆山熙日机械设备有限公司是由一批长期服务于某外企的骨干精英组建而成,注册资金100万,自公司成立起一直致力于真空设备及配件的研究、生产、推广、销售、安装及维修领域。 本公司经过多年不懈的努力,已拥有一支专业的IT研发人员和全面的销售网络,所经营的产品**国内外,现已与国内外多家大型企业保持着长期的合作关系,本公司产品以质量优良、操作简单、*及周到的售后服务等广受市场好,使得公司的效益得到迅速发展,为公司的长远发展打下牢固的基础。 公司主要经营: X系列单级旋片泵、进口德国BECKER贝克、德国BUSCH普旭、德国LEYBOLD莱宝、德国RIETSCHLE伟力(里其乐)、英国爱德华、闽台凯威科、日本ORION好利旺、龙挺RVP系列等品牌真空泵及英福康(INFICON)检漏仪;并提供优惠的真空泵配件(进口):油雾分离器(排气过滤器)、叶片、碳精片、油封(轴封)、密封套件、轴套、轴承、连轴器垫(套)、连轴器、排气阀(片),视油镜、空气总成、风格(空气滤芯)、油过滤器(油格),风扇叶、风扇罩、逆止阀、气镇阀、散热器、防震脚及真空泵油; 产品广泛适用于:电光源、真空镀膜、机械、光盘、冶金、石油、化工、造纸、食品、、电子、电力、陶瓷、玻璃、电路板、引水、印染、制糖、制冷设备、工艺吸塑、科研、干燥及汽车维修等单位。 售后服务:公司拥有专业的维修技术人员及**的检测设备,并长期提供真空泵技术指导及修理、维护、保养、检测、咨询等服务;服务承诺:凡在本公司所购真空设备,均享有一年免费保修期,并终身提供技术支持。 公司坚持“以诚为本、信誉至上”为宗旨,不断创新改进,完善售后服务网络。我们以的产品,的质量,的价格,质的服务,愿同各界朋友互相合作,开拓美好的未来。