淮安真空规价格 探头 真空计维修

VSA100A 环境压差
INFICON 真空开关 VSA100A 作为安全开关广泛应用于真空系统中。例如，在使用压力**大气压 6 mbar 的吹扫气体对真空系统排气时，该压力开关可自动中断气体供应。当差压为 6 mbar 且返回切换压力比大气压低 3 mbar 时，弹性膜片将激活转换接点，而该接点又可用来直接切换任何设备。
特点
真空压力测量至10E-9Torr
双灯丝增加设备的正常运行时间
**洁净结构在抽气过程中实现快速响应
坚固耐用的金属结构，抗射频和噪音符合CE标准
可选本地显示器有助于设置和诊断
数字接口可用于计算机控制系统

特点
电子模块与规头合并在一起，简化了系统设计并节省了宝贵的机架空间
范围广泛、符合标准的内部电源供给使用 +12 到 +32 V 的标准直流电，可承受电压波动
标准的模拟输出为 0 到 10 V 直流电，方便连接到计算机或 PLC
高精度和稳定性。精度为 ±0.2 全刻度，稳定性为 0.1% 全刻度
防腐蚀，设计坚固，暴露于真空中的材料是不锈钢 316 L 和哈氏合金 C276
机箱分级为 IP65
压力测量与气体类型完全无关，使这种真空计十分适合于使用氮气以外的气体的应用
出色的高压分辨能力，即使在接近大气压力时也能够分辨 1 mbar 的系统压力变化，使之十分适合于监控大型的慢抽速系统

特点
从 5 x 10E-10mbar至大气压（3.8 x 10E-10Torr至大气压）的很宽广的测量范围
10E-8至10-2 mbar压力范围内，±5%的重复性
BCG450 10Torr以上压力测量无关气体组分
皮拉尼联锁保护Bayard-Alpert系统在高压操作下丝较过早烧毁和过度污染
长使用寿命氧化钇铱丝
备有可选的图形显示器和现场总线接口
高真空/皮拉尼自动调节
符合 RoHS 标准

特点
测量范围宽，为 1333 至 3 x 10-4 mbar（1000 至 2.3 x 10-4 Torr）
对流技术的使用可确保测量精度一致（通常为 ±15%）并且可重复 (±5%)，达到该领域水平
低运行成本
提供可更换的管件

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VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要精确测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规监控，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被精确地测量。VSR快速的响应时间以及精确的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎*维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试

昆山熙日机械设备有限公司是由一批长期服务于某外企的骨干精英组建而成，注册资金100万，自公司成立起一直致力于真空设备及配件的研究、生产、推广、销售、安装及维修领域。 本公司经过多年不懈的努力，已拥有一支专业的IT研发人员和全面的销售网络，所经营的产品**国内外，现已与国内外多家大型企业保持着长期的合作关系，本公司产品以质量优良、操作简单、*及周到的售后服务等广受市场好，使得公司的效益得到迅速发展，为公司的长远发展打下牢固的基础。 公司主要经营： X系列单级旋片泵、进口德国BECKER贝克、德国BUSCH普旭、德国LEYBOLD莱宝、德国RIETSCHLE伟力(里其乐)、英国爱德华、闽台凯威科、日本ORION好利旺、龙挺RVP系列等品牌真空泵及英福康(INFICON)检漏仪；并提供优惠的真空泵配件（进口）：油雾分离器（排气过滤器）、叶片、碳精片、油封（轴封）、密封套件、轴套、轴承、连轴器垫（套）、连轴器、排气阀（片），视油镜、空气总成、风格（空气滤芯）、油过滤器（油格），风扇叶、风扇罩、逆止阀、气镇阀、散热器、防震脚及真空泵油； 产品广泛适用于：电光源、真空镀膜、机械、光盘、冶金、石油、化工、造纸、食品、、电子、电力、陶瓷、玻璃、电路板、引水、印染、制糖、制冷设备、工艺吸塑、科研、干燥及汽车维修等单位。 售后服务：公司拥有专业的维修技术人员及**的检测设备，并长期提供真空泵技术指导及修理、维护、保养、检测、咨询等服务；服务承诺：凡在本公司所购真空设备，均享有一年免费保修期，并终身提供技术支持。 公司坚持“以诚为本、信誉至上”为宗旨，不断创新改进，完善售后服务网络。我们以的产品，的质量，的价格，质的服务，愿同各界朋友互相合作，开拓美好的未来。